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柔性膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺 被引量：2
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作者 苏宇锋 陈文元 +2 位作者 陈晓梅 张卫平 王伟 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2005年第12期10-12,共3页
主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由 Parylene 振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。对平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变进行了分析,并对其关键尺寸进行优化。采用电镀工... 主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由 Parylene 振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。对平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变进行了分析,并对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈,在 Parylene 薄膜上电镀 NiFe 合金阵列,采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构。 展开更多
关键词 PARYLENE 制作工艺 柔性膜微型电磁驱动器 NiFe合金阵列
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