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真空环境下电容薄膜规测量偏差的原因分析 被引量：3
1
作者 杜春林 常冬林 +1 位作者 许忠旭 李培印 《真空》 CAS 2013年第4期58-60,共3页
在某大型航天器的调试试验中,需使用电容薄膜规(以下简称薄膜规)进行密封舱内真空度测量,结果发现薄膜规测量数据出现了较大的偏差。本文即对这一问题进行原因分析,提出在真空环境下,薄膜本底偏移量是产生偏差的最重要原因,并有针对性... 在某大型航天器的调试试验中,需使用电容薄膜规(以下简称薄膜规)进行密封舱内真空度测量,结果发现薄膜规测量数据出现了较大的偏差。本文即对这一问题进行原因分析,提出在真空环境下,薄膜本底偏移量是产生偏差的最重要原因,并有针对性地采取解决措施。 展开更多
关键词 薄膜规 本底偏移量 真空 偏差
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