利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数 被引量：14

1

作者 袁方园 陆文琪 林国强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期509-512,共4页

本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断。双探针具有收集电流小的优点(小于离子饱和电流),可以避免探针在高密度电弧离子镀等离子体中被烧坏。利用离散傅里叶变换(DFT)对测量曲线进行平滑,有效地克服了电弧离子镀等离子... 本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断。双探针具有收集电流小的优点(小于离子饱和电流),可以避免探针在高密度电弧离子镀等离子体中被烧坏。利用离散傅里叶变换(DFT)对测量曲线进行平滑,有效地克服了电弧离子镀等离子体放电所固有的强烈波动。探针端部设计能够避免由薄膜沉积造成的探针与支撑杆短路问题。实验结果表明,等离子体密度随着弧电流和气压的增加而增加,而电子温度随着弧电流和气压变化不明显。另外,使用双靶放电等离子体密度和电子温度高于单靶放电。这些结果提供了电弧离子镀等离子体的基本参数,对于材料涂层工艺研究具有积极意义。 展开更多

关键词 朗缪尔双探针 电弧离子镀 等离子体

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容性耦合等离子体的均匀性研究 被引量：7

2

作者 唐优青 丁可 +1 位作者 郭颖 赵建钢 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期984-990,共7页

使用朗缪尔双探针诊断方法,研究放电极板配置和放电参数对13.56 MHz容性耦合等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度分布的影响。其中极板配置包括圆孔极板、极板数量和极板间距,放电参数包括放电功率和放电气压。实验结果表明:极... 使用朗缪尔双探针诊断方法,研究放电极板配置和放电参数对13.56 MHz容性耦合等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度分布的影响。其中极板配置包括圆孔极板、极板数量和极板间距,放电参数包括放电功率和放电气压。实验结果表明:极板配置和放电参数不仅影响等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度,而且影响等离子分布的均匀性;两对放电极板和接地圆孔极板均提高了等离子体的均匀性,但降低了等离子体的电子密度和电子能量密度,其中两对放电极板可将电子密度的均匀性由77.9%提高至93.5%,而圆孔极板则可将电子密度的均匀性由77.9%提高至96.4%;高功率可获得高电子密度、高电子能量密度但低均匀性的等离子体。 展开更多

关键词 容性耦合等离子体 朗缪尔双探针 等离子体均匀性 圆孔极板

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He-Ar潘宁过程对表面波等离子体的影响 被引量：6

3

作者 王坤 李建 +4 位作者 王世庆 郦文忠 柳建 徐灵飞 孙乃峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期264-267,共4页

潘宁过程可以有效地降低直流、低频放电中的放电起始电压。关于射频放电,特别是表面波等离子体中的潘宁过程的研究,目前还很少有报道。本文介绍了一种由Ro-box装置激发的SWP源,通过实验方式研究了此装置产生的表面波等离子体柱中的He-A... 潘宁过程可以有效地降低直流、低频放电中的放电起始电压。关于射频放电,特别是表面波等离子体中的潘宁过程的研究,目前还很少有报道。本文介绍了一种由Ro-box装置激发的SWP源,通过实验方式研究了此装置产生的表面波等离子体柱中的He-Ar潘宁过程对其物理性质的影响。结果表明,合适配比的潘宁气体对于表面波等离子体柱特性有很大影响,它可以有效地降低放电起始功率和放电维持功率,延长等离子体柱长度,提高等离子体密度等;在此过程中电子温度略降低。本研究为在表面波等离子体应用中获取合适的等离子体参量提供了新的途径。 展开更多

关键词 表面波等离子体 潘宁效应 朗缪尔双探针

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微波电子回旋共振等离子体放电特性研究 被引量：3

4

作者 张洪宾 陈俊芳 +3 位作者 符斯列 郭超峰 李炜 黄孟祥 《华南师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2009年第2期48-52,共5页

为了深刻理解微波电子回旋共振(ECR)等离子体的物理机制、瞬态过程以及空间分布特性,首先利用光栅光谱仪对ECR氮等离子体发射光谱进行了研究,然后利用朗缪尔双探针测量了装置反应室内等离子体密度的空间分布,并分析了放电气压对等离子... 为了深刻理解微波电子回旋共振(ECR)等离子体的物理机制、瞬态过程以及空间分布特性,首先利用光栅光谱仪对ECR氮等离子体发射光谱进行了研究,然后利用朗缪尔双探针测量了装置反应室内等离子体密度的空间分布,并分析了放电气压对等离子体空间分布的影响.结果表明:ECR氮等离子体中主要发生的是碰撞激发、碰撞电离和碰撞离解等微观过程,且等离子体的主要成分是激发态的N2+;受磁场梯度影响的反应室上游区,等离子体分布不均匀,受等离子体密度梯度影响的下游区,等离子体则具有良好的均匀性;对于特定的微波功率(PW=400 W),放电气压存在一个最佳值(P=0.07 Pa). 展开更多

关键词 ECR等离子体 发射光谱 空间分布 朗缪尔双探针

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离子源辅助法制备TiN及等离子体特性研究 被引量：1

5

作者 张茂平 陈俊芳 +3 位作者 蒙高庆 向鹏飞 史磊 赖秀琼 《华南师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2006年第3期59-64,共6页

采用TCP等离子体辅助电子束蒸发沉积技术,在室温条件下的玻璃基片上制备了纳米结构的氮化钛薄膜.运用X衍射技术对该薄膜进行表征.利用朗缪尔静电双探针诊断了蒸发镀膜装置反应室内等离子体密度及分析其分布规律,并分析了气压和功率对等... 采用TCP等离子体辅助电子束蒸发沉积技术,在室温条件下的玻璃基片上制备了纳米结构的氮化钛薄膜.运用X衍射技术对该薄膜进行表征.利用朗缪尔静电双探针诊断了蒸发镀膜装置反应室内等离子体密度及分析其分布规律,并分析了气压和功率对等离子体分布的影响.结果表明:离子源源口等离子体密度较大且分布不均匀;反应室内等离子体迅速扩散,密度变小且分布趋于均匀. 展开更多

关键词 氮化钛 顶部感应耦合等离子体源 朗缪尔双探针 电子束蒸发镀膜

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介质管等离子体物理特性自动测量系统设计 被引量：1

6

作者 徐灵飞 李晓芳 李健 《测控技术》 CSCD 北大核心 2011年第9期8-12,共5页

根据朗缪尔双探针诊断方法,设计了一个等离子体特性自动测量系统,给出了系统设计的原理和实现过程。系统由电源电路、ARM控制器、FPGA、FIFO、高速ADC及USB控制器构成,可以提供等离子体测量所需的特定工作电压、实现对等离子体I-V特性... 根据朗缪尔双探针诊断方法,设计了一个等离子体特性自动测量系统,给出了系统设计的原理和实现过程。系统由电源电路、ARM控制器、FPGA、FIFO、高速ADC及USB控制器构成,可以提供等离子体测量所需的特定工作电压、实现对等离子体I-V特性数据的同步测量,并可以对测量数据进行准确的高速传输。分析系统所采集数据得到了准确的等离子体I-V特性、等离子体电子温度和离子密度。 展开更多

关键词 等离子体 朗缪尔双探针 数据采集

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高真空磁场条件下辉光放电特性的实验研究 被引量：1

7

作者 苏小雪 张爱东 杨坤 《水电与新能源》 2018年第2期33-36,62,共5页

利用朗缪尔双探针对磁场条件下辉光放电等离子体特性进行的实验研究,获得了在磁场作用下直流辉光放电区探针的伏安特性曲线,其变化特性和没有磁场条件下的大致相同;经对探针伏安特性曲线进行分析和处理,可得到在磁场条件下直流辉光等离... 利用朗缪尔双探针对磁场条件下辉光放电等离子体特性进行的实验研究,获得了在磁场作用下直流辉光放电区探针的伏安特性曲线,其变化特性和没有磁场条件下的大致相同;经对探针伏安特性曲线进行分析和处理,可得到在磁场条件下直流辉光等离子体的电子密度;通过在不同的气压和辉光电流下的实验,得到了磁场条件的伏安特性曲线随气压和辉光电流的变化趋势。 展开更多

关键词 磁场 辉光放电 等离子体 朗缪尔双探针

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低温氮等离子体朗缪尔双探针诊断

8

作者 李青 李茹 +1 位作者 梁煜 桑田 《当代化工》 CAS 2020年第4期514-517,共4页

采用朗缪尔双探针法对低温氮等离子体进行了诊断分析,得到了氮等离子体的电子密度和电子温度。通过朗缪尔双探针研究了不同射频功率、放电压强、轴向距离对等离子体参数的影响。研究表明,放电压强和轴向距离一定时,电子温度在20~160 W... 采用朗缪尔双探针法对低温氮等离子体进行了诊断分析,得到了氮等离子体的电子密度和电子温度。通过朗缪尔双探针研究了不同射频功率、放电压强、轴向距离对等离子体参数的影响。研究表明,放电压强和轴向距离一定时,电子温度在20~160 W之间随射频功率的增加而减小;射频功率和轴向距离一定时,电子温度在10~45 Pa之间随放电压强的增大而增大;射频功率和放电压强一定时,电子温度在轴向距离0~20 cm之间随轴向距离的增大而增大,在20~50cm之间随轴向距离的增大而增大。电子密度则是正好与之相反,随射频功率的增大而增大,随放电压强的增大而减小,随轴向距离的增大而减小。 展开更多

关键词 低温氮等离子体 朗缪尔双探针 电子温度 电子密度

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极板类型及极性对容性耦合等离子体均匀性的影响

9

作者 詹泽红 郭颖 赵建钢 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期898-905,共8页

使用朗缪尔双探针诊断方法,研究了圆孔刻槽极板和极性电极(相位差Δφ=00和Δφ=1800)在不同条件下对13.56 MHz容性耦合等离子体均匀性的影响。同时提到了点亮问题对等离子体分布的影响。实验结果表明:圆孔刻槽极板和极性电极均可避免... 使用朗缪尔双探针诊断方法,研究了圆孔刻槽极板和极性电极(相位差Δφ=00和Δφ=1800)在不同条件下对13.56 MHz容性耦合等离子体均匀性的影响。同时提到了点亮问题对等离子体分布的影响。实验结果表明:圆孔刻槽极板和极性电极均可避免点亮问题,提高等离子的均匀性。圆孔刻槽极板将电子密度的均匀性由85.6%提高到93.7%(功率为50W),由63.6%提高到84.6%(功率为300 W);反相位极性电极的电子密度的均匀性可达到90%以上(功率为50 W)和80%以上(功率为300 W)。 展开更多

关键词 朗缪尔双探针 圆孔刻槽极板 极性电极 等离子体均匀性 点亮问题

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低温等离子辅助蒸发纳米铝膜微结构及光学特性研究

10

作者 陈兴来 陈俊芳 +3 位作者 刘振兴 李烨 马俊辉 李东珂 《光散射学报》 北大核心 2014年第4期420-426,共7页

采用低温等离子体辅助气相沉积技术在低压常温条件下制备稳定的纳米铝膜。利用发射光谱和Langmuir双探针法分析射频感应耦合Ar等离子体成分及分布密度特性,结果显示在衬底附近等离子体密度衰减趋于平缓且均匀,浮动电位0.329V;随着功率... 采用低温等离子体辅助气相沉积技术在低压常温条件下制备稳定的纳米铝膜。利用发射光谱和Langmuir双探针法分析射频感应耦合Ar等离子体成分及分布密度特性,结果显示在衬底附近等离子体密度衰减趋于平缓且均匀,浮动电位0.329V;随着功率的增加,Ar+对成膜起主要影响。再结合铝膜的原子力显微结构,研究了不同的等离子环境条件对成膜质量及其紫外可见光谱的光学性质影响。结果表明射频离子源的加入,薄膜微结构发生较明显变化;随功率增加,膜反射率出现峰值;微结构特性对其光学性能影响较大,随着表面粗糙度的增加,紫外及可见光的透射率先减小后增大。 展开更多

关键词 金属薄膜 表面粗糙度 朗缪尔双探针 发射光谱 紫外可见

原文传递

40.68MHz激发的N_2容性耦合等离子体径向不均匀性研究

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作者 张杰 徐海朋 +1 位作者 陆文琪 辛煜 《苏州大学学报（自然科学版）》 CAS 2011年第3期54-60,共7页

通过使用扫描发射光谱仪和朗缪尔双探针的测量方法研究了40.68MHz的射频驱动的N2容性耦合等离子体的不均匀性。发现在高气压和高输入功率的条件下,容性放电中的中心峰值是由驻波效应造成的,而在靠近径向边缘的峰值是由感应电场造成的,... 通过使用扫描发射光谱仪和朗缪尔双探针的测量方法研究了40.68MHz的射频驱动的N2容性耦合等离子体的不均匀性。发现在高气压和高输入功率的条件下,容性放电中的中心峰值是由驻波效应造成的,而在靠近径向边缘的峰值是由感应电场造成的,这些引起了发射光谱在电极表面超过20%的不均匀性。然而,N2容性放电的振-转动温度展示了低于10%的不均匀性,这可能是由有较大的径向弛豫时间的和高密度的亚稳态粒子的主导碰撞造成的. 展开更多

关键词 不均匀性 N2容性耦合等离子体 射频 扫描发射光谱仪 朗缪尔双探针 振-转动温度

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