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满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪 被引量:6
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作者 赵静 王承钢 +3 位作者 杨自本 汪德宝 牛立新 崔岩梅 《航空计测技术》 2002年第5期20-24,共5页
最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度 ,其长度测量不确定度达到 ( 0 .0 2 +0 .2 L )μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析 。
关键词 量块 检定 接触式激光量块干涉仪 工作原理
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