快速点磨削周边磨削层模型及参数 被引量：19

1

作者 修世超 蔡光起 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期197-201,共5页

为深入研究快速点磨削机理及工艺,根据快速点磨削的技术与几何学特征,建立点磨削周边接触层及参数的数学模型,对砂轮和工件的等效速度和直径、磨削参数进行理论分析。在已建立快速点磨削接触层及参数的理论模型基础上,推证计及点磨削变... 为深入研究快速点磨削机理及工艺,根据快速点磨削的技术与几何学特征,建立点磨削周边接触层及参数的数学模型,对砂轮和工件的等效速度和直径、磨削参数进行理论分析。在已建立快速点磨削接触层及参数的理论模型基础上,推证计及点磨削变量角度和磨削深度的砂轮周边理论接触宽度的计算公式,并对超薄快速点磨削砂轮周边理论接触宽度和表面粗糙度进行数值仿真。结果表明：与普通外圆磨削不同,砂轮周边与工件实际接触宽度并不恒等于砂轮宽度,点磨削变量角度和磨削深度显著影响砂轮周边的实际接触宽度与工件表面粗糙度数值。 展开更多

关键词 快速点磨削 砂轮 周边接触宽度 接触层 模型

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计及塑性接触层的法向接触刚度等效方法 被引量：7

2

作者 刘意 刘恒 +1 位作者 易均 王为民 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2013年第7期43-47,共5页

采用典型粗糙体—刚性面接触模型,针对完全弹性与理想弹塑性两种材料,分析法向接触刚度等效方法是否准确。发现一般方法在处理弹塑性接触时存在较大差并揭示其本质原因。通过引入界面接触层,提出接触界面等效新方法并验证其准确性,实现... 采用典型粗糙体—刚性面接触模型,针对完全弹性与理想弹塑性两种材料,分析法向接触刚度等效方法是否准确。发现一般方法在处理弹塑性接触时存在较大差并揭示其本质原因。通过引入界面接触层,提出接触界面等效新方法并验证其准确性,实现对原系统准确动力等效。采用两种等效方法通过实例对比分析对动力系统振动特性影响,为工程实际中含接触界面系统动力学研究提供参考。 展开更多

关键词 法向接触刚度 等效方法 接触层 振动特性

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浅析混凝土的强度机理 被引量：1

3

作者 毛文宫 《福建建筑》 2003年第3期57-58,共2页

从宏观和微观角度分析混凝土的强度机理 。

关键词 混凝土 水泥石 骨料 接触层 水泥凝胶

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混凝土强度机理浅析 被引量：1

4

作者 宋春生 《山西建筑》 2005年第22期143-144,共2页

从宏观和微观角度分析了混凝土的强度机理,论述了影响混凝土强度的若干因素,指出通过改变水泥石、水泥石一骨料的界面及骨料强度就可以改变混凝土整体强度。

关键词 水泥石 骨料 接触层

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从APRION技术透视喷印市场前景

5

作者 邓文雷 《网印工业》 2003年第Z2期52-54,共3页

在Drupa展会首次亮相两年之后,APRION公司着手推出他们的喷墨产品。其中,值得关注的是其推出的喷墨打印头,它的速度为每秒钟每个喷头喷射25000个墨点。 1992年,赛天使公司以2.5万美元酬金邀请一位发明家,尝试开发一台世界上速度最快的... 在Drupa展会首次亮相两年之后,APRION公司着手推出他们的喷墨产品。其中,值得关注的是其推出的喷墨打印头,它的速度为每秒钟每个喷头喷射25000个墨点。 1992年,赛天使公司以2.5万美元酬金邀请一位发明家,尝试开发一台世界上速度最快的传真机。 展开更多

关键词 市场前景 喷墨打印头 喷印 DRUPA 网印工业 技术开发 赛天使 子部件 电驱动 接触层

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90nm技术中接触层Cu扩散缺陷分析与解决方案

6

作者 阎海滨 程秀兰 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第10期866-868,共3页

在90 nm工艺时代,接触孔工艺问题对于提升90 nm产品的成品率具有重要意义。基于在90 nm工艺中接触孔四周存在的较为严重的Cu扩散问题,通过失效分析,确定引起Cu扩散问题的主要原因是由于光刻胶残留造成的。通过合理的设计,优化了光刻胶... 在90 nm工艺时代,接触孔工艺问题对于提升90 nm产品的成品率具有重要意义。基于在90 nm工艺中接触孔四周存在的较为严重的Cu扩散问题,通过失效分析,确定引起Cu扩散问题的主要原因是由于光刻胶残留造成的。通过合理的设计,优化了光刻胶清洗流程,最终达到成品率提升的目的。 展开更多

关键词 半导体制造 接触层 铜扩散 缺陷

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发光二极管

7

《中国照明电器光源灯具文摘》 2007年第3期52-53,共2页

2901073氮化物LED制造【专利】／璨圆光电HCN1622345A。一种氮化物发光二极管的结构及其制造方法。首先，提供一成长基板，然后，在基板上形成-氮化镓系半导体磊晶层，此氮化镓系半导体磊晶层次依次层叠有-N型氮化镓系局银层、-发光层... 2901073氮化物LED制造【专利】／璨圆光电HCN1622345A。一种氮化物发光二极管的结构及其制造方法。首先，提供一成长基板，然后，在基板上形成-氮化镓系半导体磊晶层，此氮化镓系半导体磊晶层次依次层叠有-N型氮化镓系局银层、-发光层及-P型氮化镓系接触层，在P型氮化镓系局限层上形成一数码穿透层。接着，再以干蚀刻法依次蚀刻数码穿透层、 展开更多

关键词 发光二极管 N型氮化镓 制造方法 氮化物 半导体 蚀刻法 LED 接触层

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Amazing何家超

8

作者 田原 韩湛宁 《广告大观（综合版）》 2002年第1期104-109,共6页

韩湛宁:何家超,你好!很高兴能够访问你。何家超:这是我第一次接受内地有关设计的访问,是我所期待的。一直我都很想和内地有更多这方面的交流。韩湛宁:首先我想问你是如何界定自己,比如我一直搞不清楚你到底是一个平面设计师呢,还是一个... 韩湛宁:何家超,你好!很高兴能够访问你。何家超:这是我第一次接受内地有关设计的访问,是我所期待的。一直我都很想和内地有更多这方面的交流。韩湛宁:首先我想问你是如何界定自己,比如我一直搞不清楚你到底是一个平面设计师呢,还是一个漫画家,你是在平面上的工作多一点呢,还是漫画上的工作多一点呢? 何家超:界定自己这个题目,我想还是别人做比自己做更适合。总括而言,我是个爱绘画、爱构思有意思内容的创作,又喜欢平面设计的人。随着生活和工作的接触层面增加,可能爱上的创作媒体会更多,因此我是无意去界定自己的。至于别人对我的界定,其实我并不太在意呢!大同一点来看,我是个喜欢美术创作的人。工作方面,平面和漫画的比例随不同阶段而变。现在的阶段是想多向漫画、动画、角色design的方面发展。 展开更多

关键词 平面设计 设计工作室 创作动机 漫画家 界定 接触层 角色 访问 设计师 设计公司

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碲化锌复合背接触层对碲化镉太阳电池性能的影响 被引量：24

9

作者 冯良桓 蔡伟 +6 位作者 郑家贵 蔡亚平 黎兵 张静全 武莉莉 朱居木 邵烨 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期401-408,共8页

碲化镉太阳电池的流行结构为n CdS p CdTe。通过对其能带结构的分析 ,采用ZnTe :Cu作背接触层 ,再在p CdTe和ZnTe :Cu之间引入不掺杂的ZnTe作过渡层 ,以改进这种电池的结特性和载流子收集。从实验上对三种结构的CdTe太阳电池进行了对比... 碲化镉太阳电池的流行结构为n CdS p CdTe。通过对其能带结构的分析 ,采用ZnTe :Cu作背接触层 ,再在p CdTe和ZnTe :Cu之间引入不掺杂的ZnTe作过渡层 ,以改进这种电池的结特性和载流子收集。从实验上对三种结构的CdTe太阳电池进行了对比研究 ,结果表明复合的ZnTe ZnTe :Cu背接触层 ,的确能大幅度提高CdTe太阳电池的转换效率。这种结构的电池经电子 2 0 5计量站测试 ,转换效率已达 11 6 %。 展开更多

关键词 碲化锌背接触层 碲化镉 太阳能电池 性能

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CdTe太阳电池的不同背电极和背接触层的特性研究 被引量：8

10

作者 宋慧瑾 郑家贵 +8 位作者 冯良桓 蔡伟 蔡亚萍 张静全 李卫 黎兵 武莉莉 雷智 鄢强 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期1655-1661,共7页

用Ni替代Au来作为CdTe太阳电池的背电极,比较了Ni,Ni/Au,Au/Ni及Au背电极对电池性能的影响.发现Ni作为背电极和ZnTe/ZnTe:Cu复合层接触,电池的开路电压Voc略有降低,填充因子FF有增有减,变化幅度不大,但因短路电流Isc有较大的提高,转换... 用Ni替代Au来作为CdTe太阳电池的背电极,比较了Ni,Ni/Au,Au/Ni及Au背电极对电池性能的影响.发现Ni作为背电极和ZnTe/ZnTe:Cu复合层接触,电池的开路电压Voc略有降低,填充因子FF有增有减,变化幅度不大,但因短路电流Isc有较大的提高,转换效率η平均增长4%.测试了不同背电极的CdTe太阳电池的暗I-V和C-V特性,对背电极剥离后的样品进行了XPS测试分析.结果表明,Ni扩散到ZnTe/ZnTe:Cu复合层的深度比Au多,且大多呈离子态,与ZnTe/ZnTe:Cu复合层中的富Te离子形成NixTe,提高了掺杂浓度,使电池性能获得改善. 展开更多

关键词 金属背电极 复合背接触层 转换效率 CDTE太阳电池

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稀土掺杂CdTe太阳电池背接触层ZnTe的第一性原理研究 被引量：7

11

作者 夏中秋 李蓉萍 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期440-445,共6页

结合CdS/CdTe太阳电池背接触层的制备要求考虑,利用基于密度泛函理论平面波超软赝势方法和广义梯度近似,计算了未掺杂ZnTe、稀土Y、Gd掺杂ZnTe的能带和电子态密度,得到了不同体系下系统总能和晶格常数.研究表明,稀土Y和Gd掺杂后ZnTe结... 结合CdS/CdTe太阳电池背接触层的制备要求考虑,利用基于密度泛函理论平面波超软赝势方法和广义梯度近似,计算了未掺杂ZnTe、稀土Y、Gd掺杂ZnTe的能带和电子态密度,得到了不同体系下系统总能和晶格常数.研究表明,稀土Y和Gd掺杂后ZnTe结构的稳定性均提高,掺杂Y使ZnTe与CdTe的晶格匹配更好.计算表明,掺杂可使载流子发生简并,掺Y比掺Gd电子有效质量小,掺Y与掺Gd的载流子浓度数量级相同.根据计算结果分析了稀土掺杂对ZnTe背接触层的影响. 展开更多

关键词 ZNTE 稀土掺杂 第一性原理 太阳电池背接触层

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CdTe薄膜太阳电池背接触的研究 被引量：5

12

作者 贺剑雄 郑家贵 +8 位作者 李卫 冯良桓 蔡伟 蔡亚平 张静全 黎兵 雷智 武莉莉 王文武 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期5548-5553,共6页

用近空间升华法制备了CdTe多晶薄膜,用硝酸-磷酸(NP)混合液对薄膜表面进行了腐蚀.经SEM观测,腐蚀后的CdTe薄膜晶界变宽,XRD测试发现,经NP腐蚀后,在CdTe薄膜表面生成了一层高电导的富Te层.在腐蚀后的CdTe薄膜上分别制备了Cu,Cu/ZnTe:Cu,Z... 用近空间升华法制备了CdTe多晶薄膜,用硝酸-磷酸(NP)混合液对薄膜表面进行了腐蚀.经SEM观测,腐蚀后的CdTe薄膜晶界变宽,XRD测试发现,经NP腐蚀后,在CdTe薄膜表面生成了一层高电导的富Te层.在腐蚀后的CdTe薄膜上分别制备了Cu,Cu/ZnTe:Cu,ZnTe:Cu,ZnTe/ZnTe:Cu四种背接触层,比较了它们对太阳电池性能的影响.结果表明,用ZnTe/ZnTe:Cu复合层作为背接触层的效果较好,获得了面积为0.5cm2,转换效率为13.38%的CdTe多晶薄膜太阳电池. 展开更多

关键词 硝磷酸腐蚀 背接触层 CDTE太阳电池

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导电(Cu,Mn)_(3)O_(4)接触层在SOEC阳极侧的应用

13

作者 黄旭锐 余喻天 +7 位作者 雷金勇 郝敬轩 俞传鑫 潘军 杨怡萍 廖梓豪 关成志 王建强 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期68-71,共4页

固体氧化物电解池(SOEC)中铁素体不锈钢合金连接体和电解池阳极之间存在界面接触、连接体表面氧化以及氧电极“铬毒化”等问题,是导致电解堆性能衰减的重要影响因素之一。本工作利用反应烧结工艺在连接体与阳极之间制备了多孔的(Cu,Mn)_... 固体氧化物电解池(SOEC)中铁素体不锈钢合金连接体和电解池阳极之间存在界面接触、连接体表面氧化以及氧电极“铬毒化”等问题,是导致电解堆性能衰减的重要影响因素之一。本工作利用反应烧结工艺在连接体与阳极之间制备了多孔的(Cu,Mn)_(3)O_(4)导电接触层,形成了粘结强度高的连接体/接触层/电解池界面结构。所得试样在750℃下表现出优异的电性能,整个500 h测试过程半电池的面比电阻(ASR)值稳定保持在20.13~20.32 mΩ·cm^(2)。通过微观结构表征技术证实,多孔(Cu,Mn)_(3)O_(4)接触层与相邻的电解堆部件具有良好的兼容性,并可以抑制连接体表面的氧化薄膜增长,同时阻止铬元素的迁移。(Cu,Mn)_(3)O_(4)接触层也降低了电解池与集流体之间的接触电阻,提高了电池电化学输出性能。 展开更多

关键词 固体氧化物电解池 阳极接触层 (Cu Mn)_(3)O_(4)尖晶石 反应烧结 面比电阻(ASR)

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拉杆转子预紧力建模及其诱发振动局部化研究 被引量：1

14

作者 王奇 贾睿东 +2 位作者 杨树华 孟继纲 张家忠 《航空动力学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期3020-3030,共11页

为探究拉杆转子在考虑接触面力学特性下预紧力失谐诱发振动的机理,从弹塑性理论及接触面微观角度,详细分析了单个微凸体在接触过程中的变形规律和力学特性,并通过高斯分布得到接触面宏观的力学接触模型。结合接触面力学特性,建立了一种... 为探究拉杆转子在考虑接触面力学特性下预紧力失谐诱发振动的机理,从弹塑性理论及接触面微观角度,详细分析了单个微凸体在接触过程中的变形规律和力学特性,并通过高斯分布得到接触面宏观的力学接触模型。结合接触面力学特性,建立了一种保证其原始模型主要特征参数不变且能够确定其厚度的等效接触层;进一步通过这种等效接触层模型分析了拉杆预紧力降低和周向失谐时临界转速和固有频率的变化规律;利用波的传递揭示了预紧力周向失谐诱发拉杆转子振动模态局部化的机理。结果表明:预紧力减弱后,等效接触层刚度减小,临界转速和固有频率降低;随着预紧力失谐拉杆数量的增加,转子的临界转速和固有频率降低。当外部激励的频率处于拉杆转子的频率禁带时,振动能量无法传遍整体结构而积聚在局部区域,从而诱发了振动局部化现象。论文研究结果能够为复杂拉杆转子的动力学分析和优化设计提供参考方法。 展开更多

关键词 拉杆转子 等效接触层 临界转速 预紧力失谐 振动模态局部化

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软聚硅酮伤口接触层敷料在婴幼儿尿道下裂术后创面康复中的应用价值 被引量：3

15

作者 黄慧双 郑双利 金蜜蜜 《中国妇幼保健》 CAS 2022年第3期459-462,共4页

目的探讨软聚硅酮伤口接触层敷料在婴幼儿尿道下裂术后创面康复中的应用价值。方法选取2016年12月—2020年12月在温州医科大学附属第二医院行尿道成形术治疗的尿道下裂婴幼儿100例为研究对象,随机分为对照组和观察组,每组各50例,对照组... 目的探讨软聚硅酮伤口接触层敷料在婴幼儿尿道下裂术后创面康复中的应用价值。方法选取2016年12月—2020年12月在温州医科大学附属第二医院行尿道成形术治疗的尿道下裂婴幼儿100例为研究对象,随机分为对照组和观察组,每组各50例,对照组患儿术后创面采用传统方式包扎,观察组患儿术后创面采用软聚硅酮伤口接触层敷料包扎,两组患儿均常规定期换药,观察两组患儿创面愈合时间、术后住院时间,采用面部表情量表(FRS-R)对患儿术后3 d、5 d及7 d时静息和换药状态下的创面疼痛程度进行评估,观察两组患儿术后并发症发生情况。采用Frankl治疗依从性量表对患儿术后3 d、5 d、7 d时创面换药操作的依从性进行评估,调查患儿家长的满意度。结果观察组患儿创面愈合时间和术后住院时间[(6.10±1.17)d、(7.51±1.67)d]均短于对照组[(7.32±2.13)d、(9.14±2.55)d],差异均有统计学意义(t=3.550、3.781,均P<0.05)。观察组患儿术后3 d、5 d及7 d时静息和换药状态下FRS-R评分均低于对照组,差异均有统计学意义(均P<0.05)。观察组术后并发发生率(14.00%)低于对照组(36.00%),差异有统计学意义(χ^(2)=6.453,P<0.05)。观察组患儿术后3 d、5 d及7 d时创面换药依从性评分[(2.87±0.50)分、(3.13±0.35)分及(3.62±0.23)分]高于对照组[(2.13±0.47)分、(2.84±0.37)分及(3.11±0.35)分],差异均有统计学意义(t=7.625、4.026及8.611,均P<0.05)。观察组患儿家长对治疗操作技术的满意度(96.00%)高于对照组(84.00%),差异有统计学意义(χ^(2)=4.000,P<0.05);两组患儿家长对治疗操作态度的满意度比较(98.00%、90.00%),差异无统计学意义(P>0.05)。结论软聚硅酮伤口接触层敷料应用于婴幼儿尿道下裂术后创面的康复之中可促进创面愈合,减轻术后疼痛感,降低术后并发症发生率,提高治疗操作依从性和患儿家长满意度,具有推广价值。 展开更多

关键词 软聚硅酮伤口接触层敷料 尿道下裂 婴幼儿 尿道成形术 创面 康复

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复合背接触层与背电极的匹配对CdTe太阳电池性能的影响 被引量：3

16

作者 鄢强 冯良桓 +6 位作者 宋慧瑾 郑家贵 武莉莉 张静全 黎兵 李卫 雷智 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期133-137,共5页

本文研究Ni和Au两种背电极在有、无ZnTe/ZnTe:Cu背接触层时对碲化镉太阳电池性能的影响及其机理。试验结果表明,在没有ZnTe/ZnTe:Cu复合背接触层时,Ni和Au相比,输入特性的填充因子(FF)较差,短路电流密度(Jsc)较大,转换效率(η)较低;在有... 本文研究Ni和Au两种背电极在有、无ZnTe/ZnTe:Cu背接触层时对碲化镉太阳电池性能的影响及其机理。试验结果表明,在没有ZnTe/ZnTe:Cu复合背接触层时,Ni和Au相比,输入特性的填充因子(FF)较差,短路电流密度(Jsc)较大,转换效率(η)较低;在有ZnTe复合背接触层时,Ni和Au相比,FF相差较小,而η因Jsc较大而较高。通过暗特性的测试,可以看到,在有了ZnTe复合背接触层以后,Ni作背电极的碲化镉太阳电池,其二极管因子(A)、暗饱和电流(J0)和旁路电阻(Rsh)等三个参数降低的幅度都比Au作背电极的大。这和ZnTe复合背接触层使Ni背电极碲化镉太阳电池效率有更大提高是吻合的。分析表明,这主要是由于光生电流的增大导致了Jsc的增大。这样用Ni代替Au作背电极会带来降低成本和效率提高的双重改进。 展开更多

关键词 复合背接触层 金属背电极 短路电流密度 转换效率 CDTE太阳电池

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快速点磨削侧边接触层模型及CBN砂轮磨损特性 被引量：1

17

作者 修世超 蔡光起 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期187-192,共6页

根据点磨削原理和技术特征,讨论薄层CBN砂轮侧边实际接触区在材料去除过程中的作用,建立快速点磨削侧边接触区几何模型,对侧边接触区工件等效直径、几何与动态接触弧长、单颗磨粒切削深度、平均切屑断面积等接触层参数进行数学建模与解... 根据点磨削原理和技术特征,讨论薄层CBN砂轮侧边实际接触区在材料去除过程中的作用,建立快速点磨削侧边接触区几何模型,对侧边接触区工件等效直径、几何与动态接触弧长、单颗磨粒切削深度、平均切屑断面积等接触层参数进行数学建模与解析。结合快速点磨削加工试验研究结果,分析侧边接触层参数对快速点磨削过程的影响机理及薄层CBN点磨削砂轮的磨损特征及规律。结果表明,点磨削过程中材料的去除主要是在侧边接触区内完成,薄层CBN点磨削砂轮的最大磨损速率发生在砂轮侧边最大直径处。 展开更多

关键词 快速点磨削 侧边接触层 模型 磨削试验 砂轮磨损

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全固态电位传感器的研究进展 被引量：2

18

作者 王真真 汤婉鑫 +1 位作者 张帆 何品刚 《应用技术学报》 2018年第4期283-290,共8页

全固态电位传感器因为不含内充液,极易微型化、阵列化和制备成一次性的纸基电极和塑料柔性电极,得到快速的发展。全固态电位传感技术已在环境监测、床边护理和可穿戴设备等领域取得初步应用。介绍了近几年作为全固态电位传感器固体接触... 全固态电位传感器因为不含内充液,极易微型化、阵列化和制备成一次性的纸基电极和塑料柔性电极,得到快速的发展。全固态电位传感技术已在环境监测、床边护理和可穿戴设备等领域取得初步应用。介绍了近几年作为全固态电位传感器固体接触层的纳米材料和导电聚合物,基于适配体等生物分子的全固态电位传感器的制备与应用以及纸基和可穿戴等全固态电位传感器的最新研究进展,并展望其未来的发展趋势。 展开更多

关键词 全固态电位传感器 固体接触层 纸基电极 可穿戴电极

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PECVD分层结构对提高氢化非晶硅TFT迁移率的影响 被引量：2

19

作者 于遥 张晶思 +2 位作者 陈黛黛 郭睿倩 谷至华 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第13期525-531,共7页

为了进一步提高氢化非晶硅薄膜晶体管(a-Si:HTFT)的场效应电子迁移率,研究了批量生产条件下对欧姆接触层和栅极绝缘层进行多层制备,不同的工艺参数对a-Si:HTFT场效应电子迁移率的影响.研究表明随着对欧姆接触层(n+层)分层数的增加,以及... 为了进一步提高氢化非晶硅薄膜晶体管(a-Si:HTFT)的场效应电子迁移率,研究了批量生产条件下对欧姆接触层和栅极绝缘层进行多层制备,不同的工艺参数对a-Si:HTFT场效应电子迁移率的影响.研究表明随着对欧姆接触层(n+层)分层数的增加,以及低速生长的栅极绝缘层(GL层)和高速生长的栅极绝缘层(GH层)厚度比值提高,a-Si:HTFT的场效应迁移率得到提升.当n+层分层数达到3层,GL层和GH层厚度比值为4:11时,器件的场效应电子迁移率达到0.66cm2/V.s,比传统工艺提高了约一倍,显著改善了a-Si:HTFT的电学特性,并在量产线上得到了验证. 展开更多

关键词 非晶硅薄膜晶体管 电子迁移率 欧姆接触层 栅极绝缘层

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高Al组分n-AlGaN的Ti/Al/Ti/Au欧姆接触 被引量：1

20

作者 周勋 罗木昌 +1 位作者 赵文伯 黄烈云 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期230-234,共5页

采用Ti/Al/Ti/Au多层金属电极对高Al组分n-AlxGa1-xN(x=0.6)欧姆接触的制备进行了研究,通过优化Ti接触层厚度以及合金退火条件,获得了较低的比接触电阻率(5.67×10-5Ω.cm2)。研究证实,Ti接触层厚度对欧姆接触特性有着重要影响,同... 采用Ti/Al/Ti/Au多层金属电极对高Al组分n-AlxGa1-xN(x=0.6)欧姆接触的制备进行了研究,通过优化Ti接触层厚度以及合金退火条件,获得了较低的比接触电阻率(5.67×10-5Ω.cm2)。研究证实,Ti接触层厚度对欧姆接触特性有着重要影响,同时发现,高低温两步退火方式之所以能够改善欧姆接触特性的本质是与Al3Ti及TiN各自的生成条件直接相关,即低温利于生成Al3Ti,高温利于生成TiN,而这对n型欧姆接触的有效形成至关重要。 展开更多

关键词 高Al组分n-AlGaN Ti/Al/Ti/Au 接触层厚度 两步退火 欧姆接触

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