直接模拟蒙特卡罗法及其在真空泵性能计算中的应用 被引量：12

1

作者 于治明 巴德纯 杨乃恒 《真空》 CAS 北大核心 2006年第1期9-14,共6页

直接模拟蒙特卡罗(DSM C)法是一种依赖物理的几率模拟方法。本文介绍了直接模拟蒙特卡罗法在真空泵性能计算中的应用。

关键词 直接模拟蒙特卡罗法 稀薄气体 抽气性能 真空泵

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涡轮分子泵抽气性能计算的误差分析 被引量：10

2

作者 王晓冬 张磊 +2 位作者 巴德纯 蒋婷婷 陶继忠 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期432-435,共4页

采用数据回归方法,建立了不同叶片倾角、节弦比条件下单级涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系式,通过计算机编程可直接获得单级涡轮叶片的正反向传输几率,进而求出涡轮叶片的抽气性能,提高了计算效率。分别采用涡轮叶片几何中值... 采用数据回归方法,建立了不同叶片倾角、节弦比条件下单级涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系式,通过计算机编程可直接获得单级涡轮叶片的正反向传输几率,进而求出涡轮叶片的抽气性能,提高了计算效率。分别采用涡轮叶片几何中值参数计算方法、沿涡轮叶片齿长逐段积分方法,对单级涡轮叶片和涡轮分子泵的抽气性能进行了计算,并与实验结果进行了对比。发现:采用涡轮叶片几何中值参数计算涡轮叶片抽气性能存在误差,对涡轮分子泵抽气性能的计算值偏高,其计算误差远大于分段积分法的计算误差,后者更适用于对分子泵抽气性能的设计计算。 展开更多

关键词 涡轮分子泵 传输几率 数据回归 抽气性能 误差分析

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非蒸散型吸气剂对混合气体的抽气行为研究 被引量：6

3

作者 陈丽萍 蒋迪奎 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期225-229,共5页

NEG抽除混合气体的行为不同于抽单纯气体。测试了SEAS公司的NEG组件ST70 7WP 1 2 5 0对由 80 %H2 和 2 0 %CO组成的混合气体的抽气性能 ,并和抽纯气性能进行了比较。混合气体中的NEG对H2 的抽速受CO影响 ,随H2 吸气量的增加而明显下降... NEG抽除混合气体的行为不同于抽单纯气体。测试了SEAS公司的NEG组件ST70 7WP 1 2 5 0对由 80 %H2 和 2 0 %CO组成的混合气体的抽气性能 ,并和抽纯气性能进行了比较。混合气体中的NEG对H2 的抽速受CO影响 ,随H2 吸气量的增加而明显下降。混合气体中的NEG对CO的抽速不受H2 影响。 展开更多

关键词 非蒸散型吸气剂 混合气体 抽气性能 光致解吸出气 SSRF储存环 复合泵

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涡旋干式真空泵结构对抽气性能的影响 被引量：6

4

作者 巴德纯 杨乃恒 +1 位作者 李树军 许寿华 《真空》 CAS 北大核心 1999年第1期8-11,共4页

本文主要讨论了涡旋干式真空泵抽气通道和密封的结构型式对抽气性能的影响，并提出了最佳的设计方案。

关键词 涡旋 真空泵 抽气性能 干式 容积式

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扩散型多通道水喷射真空泵抽气性能分析

5

作者 陈小康 《化工装备技术》 CAS 2024年第3期36-39,共4页

根据传统单通道水喷射真空泵结构特性,分析了扩散型多通道水喷射真空泵的性能优势与结构特点,并从影响扩散型多通道水喷射真空泵性能的关键尺寸参数,进行了实测验证。对不同规格扩散型单通道、多通道水喷射真空泵的实际样机进行测试,得... 根据传统单通道水喷射真空泵结构特性,分析了扩散型多通道水喷射真空泵的性能优势与结构特点,并从影响扩散型多通道水喷射真空泵性能的关键尺寸参数,进行了实测验证。对不同规格扩散型单通道、多通道水喷射真空泵的实际样机进行测试,得出了以实测数据为依据的性能分析结论,可为优化提升扩散型多通道水喷射真空泵的性能提供参考。 展开更多

关键词 扩散型 多通道 水喷射真空泵 极限真空 抽气性能

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基于Fluent的多级串联喷嘴液气射流泵的抽气性能研究

6

作者 宋昕 郭建章 《真空》 CAS 2024年第3期40-45,共6页

为提高液气射流泵的抽气性能,在其主喷嘴后设置了多级串联喷嘴,通过Fluent软件对常规液气射流泵和多级串联喷嘴液气射流泵内气液两相流体运动情况进行了数值模拟,对比分析了相同工况下两种类型液气射流泵的抽气性能、压力场分布、速度... 为提高液气射流泵的抽气性能,在其主喷嘴后设置了多级串联喷嘴,通过Fluent软件对常规液气射流泵和多级串联喷嘴液气射流泵内气液两相流体运动情况进行了数值模拟,对比分析了相同工况下两种类型液气射流泵的抽气性能、压力场分布、速度场分布和气相体积分数分布。结果表明:在工作流体进口压力(表压)为0.3 MPa、0.35 MPa和0.4 MPa下,多级串联喷嘴液气射流泵的抽气性能较常规液气射流泵分别提高了18.1%、13.4%和20%,多级串联喷嘴结构有利于气液两相流体的混合和动量交换。研究结果对液气射流泵的优化设计和抽气性能提高具有一定的参考意义。 展开更多

关键词 液气射流泵 多级串联喷嘴 抽气性能 数值模拟

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复合分子泵抽气特性算法改进与结构优化 被引量：4

7

作者 张鹏飞 王晓冬 +2 位作者 张磊 巴德纯 陶继忠 《真空》 CAS 2018年第3期1-5,共5页

采用蒙特卡洛方法计算单级涡轮叶列传输几率,引入气体分子与固体壁面反射适应系数模型,评估不同反射条件对单级涡轮叶列抽气特性的影响。采用积分中值法计算涡轮叶列传输几率,提高涡轮级抽气特性的计算精度。采用分段流态判别法计算牵... 采用蒙特卡洛方法计算单级涡轮叶列传输几率,引入气体分子与固体壁面反射适应系数模型,评估不同反射条件对单级涡轮叶列抽气特性的影响。采用积分中值法计算涡轮叶列传输几率,提高涡轮级抽气特性的计算精度。采用分段流态判别法计算牵引通道的抽速和压缩比,减少牵引级抽气特性的计算误差。提出涡轮级与牵引级之间的三种过渡结构,实现复合分子泵抽气特性的级间匹配,提高复合分子泵的性能。提出牵引级阻挡结构和分段式结构,有效减少牵引转子与定子间的间隙泄漏,提高复合分子泵的整体性能。通过算法改进,提高了涡轮分子泵抽气特性的计算精度;通过结构优化,提高复合分子泵抽气性能,为高性能复合分子泵开发奠定了基础。 展开更多

关键词 复合分子泵 抽气性能 积分中值法 分段流态判别法 结构优化

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水环真空泵的径向间隙对性能的影响 被引量：3

8

作者 任德高 《真空与低温》 1990年第4期20-26,共7页

长期以来,水真空泵的径向间隙被认为是十分次要的参数,设计时在某一大致范围内任意选定即可。通过一系列径向间隙的性能试验,揭示了径向间隙对泵的气量、轴功率和效率有着十分明显的影响,从而提示设计者对该项参数给予足够的重视。同时... 长期以来,水真空泵的径向间隙被认为是十分次要的参数,设计时在某一大致范围内任意选定即可。通过一系列径向间隙的性能试验,揭示了径向间隙对泵的气量、轴功率和效率有着十分明显的影响,从而提示设计者对该项参数给予足够的重视。同时根据试验性能曲线归纳了设计时径向间隙的合理取值方法. 展开更多

关键词 水环真空泵 径向间隙 抽气性能

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分子真空泵研究进展 被引量：3

9

作者 王晓冬 张鹏飞 +3 位作者 李博 匡永麟 黄海龙 巴德纯 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期817-825,共9页

分子真空泵作为重要的清洁高真空、超高真空获得设备,因其工作稳定可靠,在分子流态下具有很好的抽气效率,在科学仪器、工业生产设备中得到广泛应用。近年来,随着数控加工手段、磁悬浮轴承技术、模拟计算方法的广泛采用,为分子真空泵性... 分子真空泵作为重要的清洁高真空、超高真空获得设备,因其工作稳定可靠,在分子流态下具有很好的抽气效率,在科学仪器、工业生产设备中得到广泛应用。近年来,随着数控加工手段、磁悬浮轴承技术、模拟计算方法的广泛采用,为分子真空泵性能的进一步提升创造了条件。本文针对分子真空泵设计计算中涉及的基础性问题,以结构改进和抽气性能计算为主要内容,对分子真空泵的研究进展和未来发展进行了总结与展望,供研究者和生产者参考。 展开更多

关键词 分子真空泵 抽气性能 算法改进 结构优化 研究综述

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拉瓦尔喷嘴应用于蒸汽喷射式热泵性能分析 被引量：3

10

作者 陈小康 《化工装备技术》 CAS 2018年第2期29-33,共5页

将拉瓦尔喷管的结构特性与传统全收敛型喷嘴结构性能进行对比,分析了拉瓦尔喷管型喷嘴在蒸汽喷射式热泵中的使用性能。通过对拉瓦尔喷嘴应用于蒸汽喷射式热泵的实际样机进行测试,得出了以实测数据为依据的性能分析结论,为提升传统蒸汽... 将拉瓦尔喷管的结构特性与传统全收敛型喷嘴结构性能进行对比,分析了拉瓦尔喷管型喷嘴在蒸汽喷射式热泵中的使用性能。通过对拉瓦尔喷嘴应用于蒸汽喷射式热泵的实际样机进行测试,得出了以实测数据为依据的性能分析结论,为提升传统蒸汽喷射式热泵性能提供了理论及数据参考。 展开更多

关键词 蒸汽喷射式热泵 拉瓦尔喷嘴 压缩比 引射系数 抽气性能

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涡轮分子泵叶列抽气性能的计算方法改进 被引量：1

11

作者 匡永麟 王晓冬 +1 位作者 黄海龙 张鹏飞 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期26-30,共5页

涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得。本文采用实验粒子蒙特卡洛算法,使用COMSOL对二维模型进行计算,更新了单级叶列抽气性能参数数据库,并在此基础上提出了计算涡轮叶列传输几率的新方法——面积加权法,同时根据改进算法编写计算程... 涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得。本文采用实验粒子蒙特卡洛算法,使用COMSOL对二维模型进行计算,更新了单级叶列抽气性能参数数据库,并在此基础上提出了计算涡轮叶列传输几率的新方法——面积加权法,同时根据改进算法编写计算程序。面积加权法更加接近于涡轮叶列的工况,使用此方法提高了计算准确度,为涡轮分子泵组合叶列的计算提供了可靠的支撑,为涡轮分子泵设计与性能评估提供了方法与依据。 展开更多

关键词 涡轮分子泵 抽气性能 传输几率 数值计算 面积加权法

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喷嘴调节锥对水蒸气喷射泵性能影响的数值模拟 被引量：2

12

作者 王晓冬 孙浩林 孙浩 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期706-709,728,共5页

喷嘴的喉部面积大小对水蒸气喷射泵性能至关重要,提出了一种可调式喷嘴结构,通过调节锥位置改变来调节喷嘴喉部面积,以此作为计算模型,数值分析了调节锥位置对喷射泵性能的影响.比较了不同调节锥位置条件下水蒸气喷射泵内部的速度场、... 喷嘴的喉部面积大小对水蒸气喷射泵性能至关重要,提出了一种可调式喷嘴结构,通过调节锥位置改变来调节喷嘴喉部面积,以此作为计算模型,数值分析了调节锥位置对喷射泵性能的影响.比较了不同调节锥位置条件下水蒸气喷射泵内部的速度场、轴线压力分布、近壁面流场迹线.结果表明,在相同的工况下,调节锥位置可以显著影响喷射泵的性能,随着喷嘴喉部面积的减少,喷射泵内部的激波位置向入口方向偏移,强度持续减弱,边界层脱离现象先减弱后增强,当调节锥位置处于喷嘴喉部后15 mm附近,喷射泵性能达到最佳值. 展开更多

关键词 水蒸气喷射泵 可调式喷嘴 喉部面积 抽气性能 数值模拟

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低温泵抽气性能测试平台的抽速测量不确定度研究 被引量：2

13

作者 罗云 陈晓怀 谢远来 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期6-9,共4页

抽速是决定低温泵抽气性能的关键参数,高质量的抽速测试结果可有效指导低温泵的工程设计与实验运行。介绍了低温泵抽气性能测试平台的组成和抽速测量的基本原理,分析了压力和充气量的不确定度分量来源,研究了各不确定度分量的估计与合成... 抽速是决定低温泵抽气性能的关键参数,高质量的抽速测试结果可有效指导低温泵的工程设计与实验运行。介绍了低温泵抽气性能测试平台的组成和抽速测量的基本原理,分析了压力和充气量的不确定度分量来源,研究了各不确定度分量的估计与合成,确定了低温泵的抽速测量不确定度,给出了抽速测量结果的完整表述,探讨了降低抽速测量不确定度、提高测量结果质量所采取的措施。研究结果对合理配置低温泵抽气性能测试平台、优化实验方案、提高抽速测量结果可靠性有指导意义。 展开更多

关键词 不确定度 抽速 抽气性能 低温泵

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新型K-800A高真空油扩散泵的研制 被引量：2

14

作者 徐玉江 王莉 许艳巧 《真空》 CAS 北大核心 2005年第6期16-18,共3页

介绍了新研制的高真空油扩散泵在拓宽抽气速率范围、提高临界前级压力、降低返油率方面的创新设计。给出了新研制的K-800A高真空油扩散泵各项技术指标的实测结果。

关键词 油扩散泵 抽气性能 研制 返油率

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大型水蒸汽喷射泵系统在线监测 被引量：1

15

作者 王晓冬 王庆 +3 位作者 杨乃恒 陆阳 董文怀 巴德纯 《真空》 CAS 北大核心 2002年第5期35-37,共3页

依据水蒸汽喷射泵的抽气机理 ,结合其实际工作情况 ,分析了影响水蒸汽喷射泵抽气性能的主要因素 ;确定了要监测的模拟量和开关量信号 ,以及各监测点的位置 ;设计了在线监测的硬件系统 ;开发的监测系统软件 ,具有数据采集、接收、处理、... 依据水蒸汽喷射泵的抽气机理 ,结合其实际工作情况 ,分析了影响水蒸汽喷射泵抽气性能的主要因素 ;确定了要监测的模拟量和开关量信号 ,以及各监测点的位置 ;设计了在线监测的硬件系统 ;开发的监测系统软件 ,具有数据采集、接收、处理、存储、显示、打印、查询等功能 ;为研究喷射泵抽气性能 ,为现场操作者简明、准确地了解真空设备的运行状态 ,为真空设备故障诊断提供了帮助 ,因此 。 展开更多

关键词 在线监测 水蒸汽喷射泵 监测系统 抽气机理 抽气性能

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复合泵在医用重离子加速器上的应用研究 被引量：1

16

作者 罗成 柴振 +4 位作者 谢雯君 胡振军 马向利 蒙峻 杨晓天 《真空》 CAS 2014年第4期65-68,共4页

同步加速器是医用重离子加速器的主加速部件。考虑到其设计空间紧凑的特点及其真空系统的设计要求,采用将非蒸散型吸气剂泵(NEG)组件嵌入国产溅射离子泵(SIP)空腔内组成的复合泵作为真空系统的主泵。本文测试了复合泵的抽气性能,测试并... 同步加速器是医用重离子加速器的主加速部件。考虑到其设计空间紧凑的特点及其真空系统的设计要求,采用将非蒸散型吸气剂泵(NEG)组件嵌入国产溅射离子泵(SIP)空腔内组成的复合泵作为真空系统的主泵。本文测试了复合泵的抽气性能,测试并估算了复合泵的H2饱和容量和再生周期,计算了同步加速器真空系统的压力分布。测试及计算结果表明:相比于SIP,复合泵对N2的抽速提高了20%,对H2的抽速提高了70%～100%,且具有更高的极限真空度,其再生周期为2年,压力分布能够满足同步加速器真空系统的设计要求。 展开更多

关键词 医用重离子加速器 同步加速器 复合泵 抽气性能

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真空系统抽气性能的数值仿真分析

17

作者 郭嘉炜 黄思 +1 位作者 李松峰 吴泰忠 《重庆理工大学学报（自然科学）》 CAS 北大核心 2022年第10期249-255,共7页

选取某真空系统为研究对象,该系统主要由真空泵、真空室和管道等元件组成。运用流动系统的一维仿真软件Flowmaster计算真空系统在特定工况下的抽气速率、压力、密度等参数随时间的变化规律。首先采取与理论方法、Fluent三维方法计算简... 选取某真空系统为研究对象,该系统主要由真空泵、真空室和管道等元件组成。运用流动系统的一维仿真软件Flowmaster计算真空系统在特定工况下的抽气速率、压力、密度等参数随时间的变化规律。首先采取与理论方法、Fluent三维方法计算简单系统模型对比的方式,验证Flowmaster对真空系统计算的有效性,然后运用Flowmaster模拟计算多元件且结构复杂的真空系统。研究表明:对所研究的真空系统,T型管产生的局部阻力比管道沿程阻力对气体压降和密度影响更大,对达到特定压力指标所需时间的影响随着抽气过程逐渐减小;整个抽气过程中真空系统管道基本处于湍流状态。Flowmaster计算与理论计算、Fluent模拟结果变化趋势一致,偏差较小,表明应用流动系统尺度的一维软件,可以有效分析多元件且结构复杂的真空系统问题。 展开更多

关键词 真空系统 抽气性能 Flowmaster 一维仿真

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涡轮分子泵曲面叶片抽气特性研究

18

作者 匡永麟 王晓冬 +2 位作者 张国玉 张鹏飞 杜志华 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第10期731-736,共6页

涡轮分子泵广泛应用于半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域,是获得超高真空环境的核心机械设备。本文从一体成型的涡轮转子的可加工性出发,提出了一种涡轮叶片的结构改进方案,并分别使用二维模型和三维模型对改进前后的结构进行... 涡轮分子泵广泛应用于半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域,是获得超高真空环境的核心机械设备。本文从一体成型的涡轮转子的可加工性出发,提出了一种涡轮叶片的结构改进方案,并分别使用二维模型和三维模型对改进前后的结构进行性能评估:在相同几何结构下,二维模型计算单级涡轮叶列的何氏系数略高于三维模型,压缩比略低于三维模型。同时,改进模型在解决涡轮叶片叶根可加工性的同时,其最大何氏系数和最大压缩比均有一定程度的提升。 展开更多

关键词 涡轮分子泵 曲面叶片 抽气性能 结构设计 数值计算

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抽气通道性能理论研究

19

作者 赵君 《科技视界》 2021年第4期48-50,共3页

为了解不同尺寸、特点的抽气通道的抽气性能,首先假设抽气通道内气体为黏性流,采用ANSYS FLUENT给定出口压力和气流运动速度,计算了入口压力和出口压力系数,发现在所给定条件范围内,抽气通道抽气能力很小,当动壁面运动速度较高(设置超过... 为了解不同尺寸、特点的抽气通道的抽气性能,首先假设抽气通道内气体为黏性流,采用ANSYS FLUENT给定出口压力和气流运动速度,计算了入口压力和出口压力系数,发现在所给定条件范围内,抽气通道抽气能力很小,当动壁面运动速度较高(设置超过100 m/s)时,入口压力计算值出现负值,不符合实际情况。由于实际抽气通道附近气流接近过渡区,采用黏性流假设进行计算不符合实际。因此,同时采用直接蒙特卡洛进行计算,找到了入口压力和抽气通道出入口压力比变化规律,在动壁面运动速度较高时仍然能够得到比较符合实际的结果。 展开更多

关键词 抽气通道 抽气性能 压比

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研发高速小型分子泵 保障科学仪器研制——中国工程物理研究院何朝晖团队成果

20

作者 陶继忠 《科技成果管理与研究》 2017年第5期52-54,共3页

分子泵是主流的真空获得设备，具有抽气性能高、气氛洁净、连续工作、操作简便、能抽除各种气体等优点。高速小型复合分子泵作为众多分析测试仪器的关键核心部件，技术难度非常大。目前，面向科学仪器等高端应用的小型复合分子泵被德国... 分子泵是主流的真空获得设备，具有抽气性能高、气氛洁净、连续工作、操作简便、能抽除各种气体等优点。高速小型复合分子泵作为众多分析测试仪器的关键核心部件，技术难度非常大。目前，面向科学仪器等高端应用的小型复合分子泵被德国普发、美国安捷伦、英国爱德华兹等公司垄断，严重阻碍着我国科学仪器的健康生存和发展。 展开更多

关键词 中国工程物理研究院 科学仪器 分子泵 研发 保障 真空获得设备 分析测试仪器 抽气性能

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