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微纳米加工技术及其应用综述 被引量:19
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作者 崔铮 《物理》 CAS 北大核心 2006年第1期34-39,共6页
材料与结构在微纳米尺度展现了许多不同于宏观尺度的新特征,纳米技术已经成为当前科学研究与工业开发的热门领域之一.微小型化依赖于微纳米尺度的功能结构与器件,实现功能结构微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术.文章对微纳米加工技... 材料与结构在微纳米尺度展现了许多不同于宏观尺度的新特征,纳米技术已经成为当前科学研究与工业开发的热门领域之一.微小型化依赖于微纳米尺度的功能结构与器件,实现功能结构微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术.文章对微纳米加工技术做了一个综合的介绍,简要说明了微纳米加工技术与传统加工技术的区别.在微纳米加工技术的应用方面提出了一些合理选择加工技术的原则,并对当前微纳米加工技术面临的挑战和今后发展的趋势作了预测. 展开更多
关键词 纳米技术 纳米加工 系统技术 小型化
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聚焦离子束扫描电镜在石油地质研究中的综合应用 被引量:22
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作者 王晓琦 金旭 +3 位作者 李建明 焦航 吴松涛 刘晓丹 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期303-319,共17页
聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM),以其高分辨率电子束成像及高强度聚焦离子束微纳米级精密加工功能,成为非常规油气储层研究的重要表征手段,推动了我国非常规油气的勘探开发进程,并促进石油地质学开启了全新的领域—纳米地质学。本文重点... 聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM),以其高分辨率电子束成像及高强度聚焦离子束微纳米级精密加工功能,成为非常规油气储层研究的重要表征手段,推动了我国非常规油气的勘探开发进程,并促进石油地质学开启了全新的领域—纳米地质学。本文重点介绍了FIB-SEM在石油地质研究中的综合应用以及创新性开发情况。FIB-SEM的二维大面积成像与三维切片-成像分析可有效解决岩石样品非均质性强的表征难题,并可对岩石内部的孔隙、微裂缝、矿物、有机质和残留油等五大要素进行全面的成像分析,为数字岩心的构建提供具有纳米级分辨率的高质量原始数据。FIB-SEM强大的微纳加工功能,为下一代储层矿物分析、地球化学微观分析等技术的开发提供了制样手段。另外,FIB-SEM可以集成多种先进分析技术,形成集高分辨率成像、物理化学测试为一体的石油地质综合分析平台,应用前景广阔。 展开更多
关键词 聚焦离子束扫描电镜 低加速电压成像 三维切片成像 纳米加工 扫描透射显成像
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利用AFM探针机械刻划方法加工微纳米结构 被引量:4
3
作者 闫永达 孙涛 董申 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1451-1454,共4页
为了探索在纳米尺度加工微纳米结构,MEMS/NEMS器件的新的加工方法,采用基于AFM改造的微加工系统,研究了探针机械刻划机理,分析了工作台的定位精度,AFM的工作模式,探针形状等因素的影响.以复杂字体“哈工大”为例说明了微纳米结构轮廓坐... 为了探索在纳米尺度加工微纳米结构,MEMS/NEMS器件的新的加工方法,采用基于AFM改造的微加工系统,研究了探针机械刻划机理,分析了工作台的定位精度,AFM的工作模式,探针形状等因素的影响.以复杂字体“哈工大”为例说明了微纳米结构轮廓坐标的获得,并加工了实例.同时还给出了齿轮形状,各种复杂二维结构的加工实例.结果表明采用AFM探针机械刻划技术可以应用在微纳米尺度结构的加工领域. 展开更多
关键词 AFM 探针 机械刻划 纳米加工
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金刚石微粉砂轮超精密磨削技术 被引量:5
4
作者 王先逵 马明霞 《世界制造技术与装备市场》 2003年第2期83-87,共5页
论述了金刚石微粉砂轮超精密磨削的特点、存在的技术难题及其发展前景。对金刚石微粉砂轮超精密磨削机理进行了探讨,认为它是以微切削为主的多种作用的融合;研究了金刚石微粉砂轮修整机理及其常用的有效修整方法;提出了树脂-金属复合结... 论述了金刚石微粉砂轮超精密磨削的特点、存在的技术难题及其发展前景。对金刚石微粉砂轮超精密磨削机理进行了探讨,认为它是以微切削为主的多种作用的融合;研究了金刚石微粉砂轮修整机理及其常用的有效修整方法;提出了树脂-金属复合结合剂金刚石微粉砂轮的构想,论述其结构的形成、制作过程及其实际磨削效果。最后,探讨了进行金刚石微粉砂轮超精密磨削时的影响因素及环境条件。 展开更多
关键词 金刚石粉砂轮 超精密磨削 切削 砂轮修整 树脂金属复合结合荆 纳米加工
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AFM制作纳米光栅技术研究 被引量:5
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作者 张鸣 张伟 +3 位作者 华心 谢惠民 陈鹏万 黄风雷 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期330-332,336,共4页
在扫描探针纳米加工技术的基础上,提出了利用原子力显微镜(AFM)来制作高频光栅的新工艺。利用AFM硅制探针,在接触模式下对光盘(聚碳酸酯材料)进行刻划试验。对刻划光栅的工艺参数进行优化,得到了纳米量级光栅。并将刻划所得光栅应用于... 在扫描探针纳米加工技术的基础上,提出了利用原子力显微镜(AFM)来制作高频光栅的新工艺。利用AFM硅制探针,在接触模式下对光盘(聚碳酸酯材料)进行刻划试验。对刻划光栅的工艺参数进行优化,得到了纳米量级光栅。并将刻划所得光栅应用于数字云纹法,与数字参考栅干涉形成微/纳米数字云纹。实验结果表明,该法所制得的光栅可以应用于实际变形的测量。 展开更多
关键词 原子力显 纳米加工 光栅制作 数字云纹
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MOEMS陀螺的谐振腔设计 被引量:7
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作者 冯丽爽 刘惠兰 +1 位作者 贺斌 王广龙 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1373-1376,共4页
微光机电(MOEMS)陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向,而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术.提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构,介绍了其工作原理和系统构成.建立了谐振腔的数学模型,并利用MATLA... 微光机电(MOEMS)陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向,而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术.提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构,介绍了其工作原理和系统构成.建立了谐振腔的数学模型,并利用MATLAB软件对其重要参数进行了仿真计算及分析.为提高谐振腔清晰度及系统测量精度,优化了谐振腔输入输出镜的技术指标,并在此基础上完成了谐振腔的微加工工艺设计.结果表明:所设计的谐振腔清晰度可以达到346,陀螺极限灵敏度为0.25(°)/h,同时可以有效克服克尔效应、背向散射、偏振等光路噪声的影响. 展开更多
关键词 光机电系统(MOEMS) 陀螺 谐振腔 纳米加工
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飞秒激光制备可控微纳米结构表面及应用研究 被引量:6
7
作者 边玉成 王宇龙 +5 位作者 肖轶 张迎辉 焦云龙 吴东 周成刚 姚成立 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第11期74-95,共22页
飞秒激光直写技术相比于传统加工方式以及其他先进的微纳米加工手段在可控微纳米结构加工方面具有一定的优势,如无需掩模、适合任意材料、热效应小等,因此被用来制备多样化的仿生微纳米结构表面,开发各种领域的应用,如自清洁、油水分离... 飞秒激光直写技术相比于传统加工方式以及其他先进的微纳米加工手段在可控微纳米结构加工方面具有一定的优势,如无需掩模、适合任意材料、热效应小等,因此被用来制备多样化的仿生微纳米结构表面,开发各种领域的应用,如自清洁、油水分离、水雾收集等。分析了利用飞秒激光在不同材料上制备多样微纳米结构的形成机理和设计思路,总结了国内外有关通过飞秒激光制备仿生微纳米表面的最新研究进展,并从表面润湿性的相关概念及理论模型、飞秒激光可控制备多样微纳米结构以及相关工业生活应用等方面进行了探索研究。最后分析了目前飞秒激光加工技术在微纳米制造领域存在的困难和挑战,并对未来其在相关领域的发展进行了展望。 展开更多
关键词 激光光学 飞秒激光 纳米加工 可控纳米结构 特殊润湿性 仿生应用
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多肉状微马达用于动态检测和降解四环素
8
作者 方利 刘心怡 +5 位作者 高宇昕 林奕宜 吴坤 王吉壮 陆伟刚 李丹 《Science China Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第1期179-187,共9页
四环素是一种广泛使用的抗生素,但它在环境中难以降解,而且会促使耐药细菌的出现.因此,迫切需要采取有效的措施对其进行检测和分解.在此背景下,我们设计了一种多肉状的ZnO/MOF/Fe_(3)O_(4)混合微型马达,用于动态检测和光催化降解四环素... 四环素是一种广泛使用的抗生素,但它在环境中难以降解,而且会促使耐药细菌的出现.因此,迫切需要采取有效的措施对其进行检测和分解.在此背景下,我们设计了一种多肉状的ZnO/MOF/Fe_(3)O_(4)混合微型马达,用于动态检测和光催化降解四环素.我们使用微纳米加工和种子生长方法成功制备了具有多肉植物状结构的ZnO微型马达.在氧化锌马达阵列上,通过表面修饰,比如改变其表面电位、负载响应性检测功能MOF、磁性纳米颗粒和催化剂,最终得到了可用于动态荧光检测和高效降解的自驱动可控微马达.这种功能性微马达在环境检测和治理等方面具有很好发展前景. 展开更多
关键词 纳米加工 表面修饰 磁性纳米颗粒 马达 多肉植物 检测功能 耐药细菌 环境检测
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微纳米加工 被引量:2
9
作者 Mark J.Jackson 周佳 《国外科技新书评介》 2007年第11期19-20,共2页
纳米技术的发展对人类社会产生了巨大的影响。纳米技术在纳米尺度上运作,同时有实际用途。纳米加工作为伴随纳米技术产生的一个新型行业,包括利用原子和分子制成单品进而制作亚微米尺度构件和系统的所有方法。微纳米加工领域的科学家... 纳米技术的发展对人类社会产生了巨大的影响。纳米技术在纳米尺度上运作,同时有实际用途。纳米加工作为伴随纳米技术产生的一个新型行业,包括利用原子和分子制成单品进而制作亚微米尺度构件和系统的所有方法。微纳米加工领域的科学家面临的最大挑战之一即利用扭转、铸造及钻孔等技术来生产微小构件。 展开更多
关键词 纳米加工 纳米技术 人类社会 纳米尺度 米尺度 科学家 构件
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大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用 被引量:2
10
作者 郭隐彪 王振忠 +2 位作者 彭云峰 杨炜 毕果 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期286-292,共7页
超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证.以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制... 超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证.以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制、大尺寸检测、加工环境监控、快速抛光、表面织构化等研究应用情况. 展开更多
关键词 纳米加工 检测 超精密加工装备 快速抛光 加工监控 表面织构化
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微纳米加工与检测技术进展
11
作者 郭隐彪 洪策符 《三明学院学报》 2006年第2期121-123,共3页
微纳米加工技术是一个新兴的综合性的制造技术,有良好的应用前景。本文分析了微纳米加工技术(M4)的应用领域及前景,介绍了各种微纳米加工技术及其与传统制造技术的对比,介绍了运用M4技术加工的一些产品零件及其误差,并介绍微纳米检测技... 微纳米加工技术是一个新兴的综合性的制造技术,有良好的应用前景。本文分析了微纳米加工技术(M4)的应用领域及前景,介绍了各种微纳米加工技术及其与传统制造技术的对比,介绍了运用M4技术加工的一些产品零件及其误差,并介绍微纳米检测技术的几种实现方法及其与微纳米加工技术的关系。 展开更多
关键词 纳米 纳米加工 纳米检测
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微纳米加工技术
12
作者 Mark J. Jackson 程恩隽 《国外科技新书评介》 2008年第9期6-7,共2页
无论是集成电路技术,还是微系统技术或纳米技术,其共同特征是功能结构的尺寸在微米或纳米范围,因此可以统称为微纳米技术。功能结构的微纳米化带来的不仅仅是能源与原材料的节省,而且导致多功能的高度集成和生产成本的大大降低。微... 无论是集成电路技术,还是微系统技术或纳米技术,其共同特征是功能结构的尺寸在微米或纳米范围,因此可以统称为微纳米技术。功能结构的微纳米化带来的不仅仅是能源与原材料的节省,而且导致多功能的高度集成和生产成本的大大降低。微纳米技术依赖于微纳米尺度的功能结构与器件。实现功能结构微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术。本书作者力求全面介绍微纳米加工方面的各种技术,并且介绍了微纳米加工技术的最新进展。 展开更多
关键词 纳米加工技术 纳米技术 功能结构 集成电路技术 系统技术 纳米加工 生产成本 高度集成
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纳米加工技术的研究进展 被引量:1
13
作者 张文毓 侯世忠 《纳米科技》 2011年第4期68-71,共4页
纳米技术的核心是纳米加工技术。文章阐述了纳米加工技术的研究现状、应用和前景展望。希望对纳米加工技术有所了解。
关键词 纳米加工技术 SPM 电子束光刻 纳米加工
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三光束激光干涉光刻法制备生物复眼表面微结构 被引量:1
14
作者 关会英 司玉兰 +1 位作者 曹亮 梁志海 《吉林化工学院学报》 CAS 2015年第11期50-54,共5页
许多生物复眼表面具有大视场、高时间分辨率、高反射率以及超疏水、防雾等优异性能,工程应用潜力巨大.仿生学研究表明,复眼表面微观结构对其特定功能的实现具有关键作用.本文利用三光束激光干涉光刻技术在单晶硅基底表面制备了仿腹色蜉... 许多生物复眼表面具有大视场、高时间分辨率、高反射率以及超疏水、防雾等优异性能,工程应用潜力巨大.仿生学研究表明,复眼表面微观结构对其特定功能的实现具有关键作用.本文利用三光束激光干涉光刻技术在单晶硅基底表面制备了仿腹色蜉复眼表面微结构,并讨论了激光能量及曝光时间对加工表面形貌的影响,从而获得了20μm特征尺寸下最优激光加工工艺参数为激光能量为40 m J,曝光时间为15 s为最优试验条件. 展开更多
关键词 表面仿生 复眼结构 激光干涉光刻技术 纳米加工
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辐射冷却材料的制备方法综述
15
作者 李振扬 王盼 +1 位作者 张海文 周涵 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第3期177-182,共6页
随着能源和环境问题的日益严重,不需要额外消耗能量的辐射冷却技术引起了广泛关注。基于地球和宇宙的巨大温差,辐射冷却技术能够直接将热量以辐射的形式传递到外太空,不仅能够产生净冷却效果,而且避免了废热排放带来的诸多环保问题。早... 随着能源和环境问题的日益严重,不需要额外消耗能量的辐射冷却技术引起了广泛关注。基于地球和宇宙的巨大温差,辐射冷却技术能够直接将热量以辐射的形式传递到外太空,不仅能够产生净冷却效果,而且避免了废热排放带来的诸多环保问题。早期研究利用涂敷法将具有辐射冷却能力的涂料刷涂在物体表面,该方法仅能实现材料的夜间降温。为了实现材料的日间辐射冷却则需要在其中引入特定结构,如多层膜结构、二维光子晶体结构、超结构等以提高它的可见近红外波段的反射率和大气窗口的发射率。然而,相关制备技术存在工艺复杂、制备成本高、难以宏量制备等局限性,严重阻碍了辐射冷却材料工程应用的推进。随着辐射冷却理论研究的深入以及更多先进制备技术的发展,制备方法和手段也越来越多样化,如真空蒸镀、微纳米加工技术、直接涂敷法、挤出成型技术、静电纺丝法等相继被报道,通过这些方法能够低成本地制备出较大面积的辐射冷却材料,进一步推动了辐射冷却材料及技术的应用。本文归纳了辐射冷却材料制备方法的研究现状,对不同制备技术的优缺点进行了对比分析。首先概述了辐射冷却常用材料及其成型方式;然后介绍了辐射冷却材料常用制备方法及各自优缺点,简述了适用于特殊材料或应用场景的制备方法;最后总结了目前辐射冷却材料制备存在的问题并展望了未来的发展方向。 展开更多
关键词 辐射冷却 真空蒸镀 纳米加工 挤出成型 直接涂敷
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微纳米加工技术研究获新进展
16
《功能材料信息》 2015年第3期56-57,共2页
壁虎能爬墙是因为脚掌微纤毛与墙壁接触时产生的黏附力,孔雀羽毛五彩斑斓是因为表面不同的微纤毛反射不同波长的自然光……然而,由于现有微纳米加工手段的缺陷,人类至今还很难有效制备出如此微小尺度的仿生功能结构和器件。
关键词 纳米加工技术 纳米加工 功能结构 小尺度 黏附力 自然光 墙壁 纤毛
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Cui Zheng: Leading China’s Printed Electronics Research
17
作者 staff reporter ZHANG HONG 《China Today》 2011年第11期20-21,共2页
CUI Zheng, world-renowned micro-nano processing scientist and former principal scientist at the Rutherford Appleton Laboratory’s Micro-Nano Technology Centre (CNTC) in the UK, returned to China in October 2009 when h... CUI Zheng, world-renowned micro-nano processing scientist and former principal scientist at the Rutherford Appleton Laboratory’s Micro-Nano Technology Centre (CNTC) in the UK, returned to China in October 2009 when he was recruited by the Chinese government under the Recruitment Program of Global Experts. He now works at the Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics (SINANO) under the Chinese Academy of Sciences. 展开更多
关键词 中国政府 纳米加工 中国科学院院士 电子 印刷 技术中心 纳米技术 科学家
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发丝表面艺术及其创作
18
作者 沈海军 时东路 +1 位作者 赵鹏 王祎龙 《艺术科技》 2011年第2期24-27,共4页
发丝表面艺术指的是利用传统的手工微雕(微画)工艺,或先进的微纳米加工技术,在头发丝表面进行微观创作的艺术形式。根据不同的角度,发丝表面艺术有不同的分类。目前,常见的发丝表面艺术创作技术包括手工创作、离子束(FIB)刻蚀技术、离... 发丝表面艺术指的是利用传统的手工微雕(微画)工艺,或先进的微纳米加工技术,在头发丝表面进行微观创作的艺术形式。根据不同的角度,发丝表面艺术有不同的分类。目前,常见的发丝表面艺术创作技术包括手工创作、离子束(FIB)刻蚀技术、离子束化学气相沉积(FIB-CVD)技术、双光束聚合技术等。发丝表面艺术要发展,需要克服尺度、微观控制与定位、创作工具、科学与艺术素养的统一等几大瓶颈。 展开更多
关键词 发丝表面艺术 纳米加工
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微沟槽对共培养乳腺癌/上皮细胞迁移及空间分离的调控研究
19
作者 夏有君 陈笑笑 +3 位作者 陈建锋 杜文强 赵钢 褚家如 《新技术新工艺》 2018年第9期43-48,共6页
细胞微环境的物理性质在各种生理和病理调控方面起着非常重要的作用,其中,微环境表面形貌对细胞粘附、形态和迁移有明显影响。借助微纳米加工技术可以加工出不同尺度、不同形貌的类细胞微环境,以对细胞行为进行调控。鉴于SUM159细胞(人... 细胞微环境的物理性质在各种生理和病理调控方面起着非常重要的作用,其中,微环境表面形貌对细胞粘附、形态和迁移有明显影响。借助微纳米加工技术可以加工出不同尺度、不同形貌的类细胞微环境,以对细胞行为进行调控。鉴于SUM159细胞(人类乳腺癌细胞)与MCF10A细胞(人类正常乳腺上皮细胞)是研究乳腺癌方面的重要细胞模型,加工了一批具有不同尺寸的PDMS沟槽结构,研究几何尺寸的改变对SUM159细胞与MCF10A细胞空间分布的影响,分析了这2种细胞在不同几何尺寸下的取向。由于大部分器官和组织是由多细胞组成,研究将这2种细胞进行共培养,并探究了在混合状态下PDMS沟槽基底对其行为的影响。研究结果在癌症转移中有潜在应用。 展开更多
关键词 细胞环境 纳米加工 沟槽基底 乳腺癌细胞 共培养 空间分离
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新加坡推动石墨烯材料研发
20
《中国粉体工业》 2012年第4期43-44,共2页
新加坡国立大学日前设立石墨烯研究中心微纳米加工实验室(Graphene Research Centre Microand Nano—Fabrication Facility),这个实验室是全亚洲第一个拥有先进设施,旨在开发石墨烯研究的实验室。随着在这个领域的研发推动,将会有... 新加坡国立大学日前设立石墨烯研究中心微纳米加工实验室(Graphene Research Centre Microand Nano—Fabrication Facility),这个实验室是全亚洲第一个拥有先进设施,旨在开发石墨烯研究的实验室。随着在这个领域的研发推动,将会有更多石墨烯用途被开发出来。 展开更多
关键词 新加坡国立大学 石墨 研发 材料 纳米加工 实验室 NANO 开发
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