飞行器动力学信息辅助MEMS惯导系统 被引量：2

1

作者 李烨 郭建国 +3 位作者 赵斌 尤雨骅 卢晓东 周军 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2016年第8期1880-1885,共6页

使用微机械电子(micro electro mechanical systems,MEMS)惯导系统(inertial navigation system,INS)的飞行器由于其MEMS惯性器件测量精度低,致使导航误差快速发散。针对该问题,提出了一种利用飞行器动力学(aircraft dynamics,AD)信息辅... 使用微机械电子(micro electro mechanical systems,MEMS)惯导系统(inertial navigation system,INS)的飞行器由于其MEMS惯性器件测量精度低,致使导航误差快速发散。针对该问题,提出了一种利用飞行器动力学(aircraft dynamics,AD)信息辅助MEMS惯导解算的方法。它基于AD建立的飞行器运动模型和运动误差模型,利用实时解算的飞行器运动状态构建卡尔曼滤波器对MEMS惯导误差进行估计和修正。在此基础上,进一步考虑了INS/全球定位系统(global positioning system,GPS)组合导航时该方法的改进算法,提出了一种利用GPS定位信息和预测滤波器对飞行器动力学模型误差估计的方法。最后的半实物仿真实验结果表明,飞行器动力学信息辅助滤波器可以有效地减小系统误差,提高MEMS惯导系统输出精度。 展开更多

关键词 微机械电子惯导系统 飞行器动力学 卡尔曼滤波 预测滤波 半实物仿真

下载PDF 职称材料

MEMS光开关 被引量：17

2

作者 梁春广 徐永青 杨拥军 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第12期1551-1556,共6页

采用 MEMS体硅工艺 ,制作了三种结构的微机械光开关 :水平驱动 2 D(二维 )光开关、垂直驱动 2 D光开关和扭摆驱动 2 D、3D(三维 )光开关 .水平驱动光开关采用单层体硅结构 ,另外两种光开关都采用了硅 -玻璃的键合结构 .它们的工作原理... 采用 MEMS体硅工艺 ,制作了三种结构的微机械光开关 :水平驱动 2 D(二维 )光开关、垂直驱动 2 D光开关和扭摆驱动 2 D、3D(三维 )光开关 .水平驱动光开关采用单层体硅结构 ,另外两种光开关都采用了硅 -玻璃的键合结构 .它们的工作原理都基于硅数字微镜技术 .这三种光开关均采用了静电力驱动 ,具有较低的驱动电压 ,其中扭摆式光开关的驱动电压小于 15 V.对于 2 D开关阵列 ,在硅基上制作了光纤自对准耦合槽 .对后两种光开关的开关特性进行了计算机模拟与分析 ,结果表明这两种光开关具有小于 展开更多

关键词 微机械电子系统 光开关 硅-玻璃键合 光通信

下载PDF 职称材料

微泵驱动方式比较研究 被引量：6

3

作者 罗玉元 张国贤 《液压与气动》 北大核心 2003年第7期43-46,共4页

介绍了国内外微流体系统中微泵的致动原理和结构 ,分析了各种致动方法的优缺点 ,对微泵的发展方向做出了展望。

关键词 微泵 致动器 微机械电子系统 微流体系统 驱动方式

下载PDF 职称材料

纳米功能材料的进展和趋势 被引量：10

4

作者 张立德 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第F09期1-4,共4页

最近报道纳米材料在纳米科学技术领域取得了令人瞩目的新成就，预示了纳米材料和技术在信息、医药、环境、能源和生物技术等领域的应用存在着巨大的潜力。

关键词 纳米功能材料 微机械电子系统 MEMS 微囊诊断探测器 纳米芯片

下载PDF 职称材料

超固体润滑及其在微机械电子系统中的应用前景 被引量：6

5

作者 董海军 王三民 +1 位作者 李建华 陈国定 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第2期266-268,共3页

介绍了超固体润滑的概念 ,综述了超固体润滑的研究现状和近年来的研究成果 ,通过对微机械电子系统摩擦学问题的讨论 ,分析了超固体润滑在微机械电子系统中应用的前景 。

关键词 超固体润滑 纳米摩擦学 微机械电子系统

下载PDF 职称材料

微谐振传感器同频干扰的建模与消除 被引量：8

6

作者 陈健 陈德勇 +3 位作者 王军波 杨苗苗 毋正伟 陈李 《测控技术》 CSCD 2006年第8期5-6,10,共3页

主要研究了静电激励/电容拾振谐振式硅微加速度传感器的同频干扰问题,分析了几种干扰源,建立了同频干扰的电路等效模型,提出一种基于双端激励/双端检测的结构,采用二次差分的方式消除同频干扰。

关键词 微机械电子系统 微谐振式传感器 同频干扰 双端激励/差分检测

下载PDF 职称材料

振动轮式MEMS陀螺动力学分析 被引量：7

7

作者 刘瑞华 刘建业 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期114-118,共5页

振动轮式 MEMS陀螺是硅微陀螺中最具发展前景的类型之一。本文应用欧拉动力学理论 ,列写了振动轮式 MEMS陀螺的运动方程 ,在一定的假设条件下 ,推导出了敏感模态的输入输出关系 。

关键词 微机械电子系统 惯性测量单元 陀螺 动力学分析 导航系统

下载PDF 职称材料

检测电压对一种新型谐振式微加速度计的影响 被引量：7

8

作者 刘恒 张富堂 +2 位作者 张凤田 何晓平 苏伟 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1261-1265,共5页

静电作用在在平行板电容器上会产生等效静电负刚度,介绍了基于静电刚度的谐振式微加速度计设计原理,建立了其动力学模型。根据检测电压的约束条件,求解了其可行范围。同时分析了检测电压对系统灵敏度、可靠性和量程及输出电压的影响。... 静电作用在在平行板电容器上会产生等效静电负刚度,介绍了基于静电刚度的谐振式微加速度计设计原理,建立了其动力学模型。根据检测电压的约束条件,求解了其可行范围。同时分析了检测电压对系统灵敏度、可靠性和量程及输出电压的影响。分析结果表明:检测电压越大,灵敏度越大,但可靠性和量程会相应减少,反之亦然;直流检测电压的存在使得输出电压不受检测电容并行的寄生电容影响。理论分析结果为谐振式微传感器的系统设计提供了重要依据。 展开更多

关键词 微机械电子系统 微加速度计 检测电压 静电刚度

下载PDF 职称材料

微机电惯性测量元件在导航系统的应用研究 被引量：3

9

作者 刘瑞华 《中国民航学院学报》 2003年第3期30-34,共5页

介绍了微机电(MEMS)惯性测量元件(IMU)的基本情况,总结了误差主要来源,根据公开文献介绍的性能测试参数,建立了动态误差模型,并与GPS测量的速度和位置组合,进行了导航系统的数学仿真。仿真结果表明,MEMS-IMU尚不能独立构成导航系统,但与... 介绍了微机电(MEMS)惯性测量元件(IMU)的基本情况,总结了误差主要来源,根据公开文献介绍的性能测试参数,建立了动态误差模型,并与GPS测量的速度和位置组合,进行了导航系统的数学仿真。仿真结果表明,MEMS-IMU尚不能独立构成导航系统,但与GPS组合,则可满足低精度的导航要求。 展开更多

关键词 微机械电子系统 惯性测量元件 误差 仿真

下载PDF 职称材料

常压下工作的微机械陀螺的频率和阻尼特性 被引量：6

10

作者 刘晓为 陈宏 +2 位作者 陈伟平 陆学斌 韩天 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2268-2271,共4页

对微机械陀螺振动式陀螺的频率和阻尼特性进行了分析和模拟.以设计的一种微机械陀螺为模型,对其驱动和检测方向的阻尼力系数进行了计算,利用MATLAB模拟了阻尼对灵敏度以及频率特性的影响.得出了不仅频率匹配对微机械陀螺的性能有重要影... 对微机械陀螺振动式陀螺的频率和阻尼特性进行了分析和模拟.以设计的一种微机械陀螺为模型,对其驱动和检测方向的阻尼力系数进行了计算,利用MATLAB模拟了阻尼对灵敏度以及频率特性的影响.得出了不仅频率匹配对微机械陀螺的性能有重要影响,而且阻尼匹配也会影响陀螺的灵敏度和频率特性. 展开更多

关键词 微机械电子系统 陀螺 阻尼匹配 频率特性

下载PDF 职称材料

硅基热流式微流量传感器研究 被引量：3

11

作者 席文柱 闫卫平 +1 位作者 马灵芝 牛德芳 《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第3期446-448,394,共4页

采用微电子技术和微机械加工技术 ,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模式下 ,分析了微流量传感器的特性曲线。实验结果表明 ,硅基热流式微流量传感器的测量范围在 1 0～ 80 0 ... 采用微电子技术和微机械加工技术 ,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模式下 ,分析了微流量传感器的特性曲线。实验结果表明 ,硅基热流式微流量传感器的测量范围在 1 0～ 80 0 μL/min之间。 展开更多

关键词 微流量传感器 微加热器 温度传感器 微机械电子系统

下载PDF 职称材料

LIGA工艺技术研究 被引量：4

12

作者 徐春叶 刘善喜 《集成电路通讯》 2005年第1期32-37,共6页

本文论述了标准LIGA技术的工艺过程,对重点工序进行了总结并阐明其工艺要点。介绍了近年发展起来的准LIGA工艺技术,同时重点研究了利用我所薄膜线工艺手段就能加工的UV- LIGA工艺和能制作自由摆动、旋转、直线运动的可动微结构的SLIGA工... 本文论述了标准LIGA技术的工艺过程,对重点工序进行了总结并阐明其工艺要点。介绍了近年发展起来的准LIGA工艺技术,同时重点研究了利用我所薄膜线工艺手段就能加工的UV- LIGA工艺和能制作自由摆动、旋转、直线运动的可动微结构的SLIGA工艺,最后提出了LIGA技术的优缺点和技术难点。 展开更多

关键词 LIGA技术 制造工艺 SLIGA工艺 UV-LIGA技术 紫外线曝光 厚胶光刻 微机械电子系统

下载PDF 职称材料

低功耗检测CO_(2)的MEMS红外光源结构设计与仿真

13

作者 滕雪松 禹胜林 +3 位作者 魏志杰 房村 熊思娴 王梦婷 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第8期858-863,共6页

传统的二氧化碳传感器存在着体积大、功耗高等问题,近年来随着半导体技术和材料的发展,MEMS技术逐渐成为传感器的研究重点。研究并设计了一种适用于二氧化碳传感器的微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)红外光源芯片结构... 传统的二氧化碳传感器存在着体积大、功耗高等问题,近年来随着半导体技术和材料的发展,MEMS技术逐渐成为传感器的研究重点。研究并设计了一种适用于二氧化碳传感器的微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)红外光源芯片结构,采用硅(Si)作为基底,氧化硅(SiO_(2))-氮化硅(Si_(3)N_(4))-氧化硅(SiO_(2))作为红外光源的支撑层材料,辐射区的加热电阻采用延展性良好的铂(Pt),以铝(Al)为电极。光源的支撑层采用四轴大圆角悬空结构,极大减少了辐射区热量向衬底的热传导且稳定性较好,通过有限元仿真分析,该光源具有低功耗和结构稳固的特点。 展开更多

关键词 微机械电子系统 红外光源 低功耗 稳固结构

下载PDF 职称材料

微机械音叉谐振器动力学分析与仿真 被引量：5

14

作者 刘恒 何晓平 +1 位作者 苏伟 张富堂 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期325-330,共6页

根据双端固定音叉谐振器的动力学原理,建立了其参数模型。该模型基于MAST语言,包含几个子模型,模型有利于验证外围电路和减少计算时间。对于工作谐振模态频率的求解,解析计算和有限元仿真结果一致(相对误差小于1%)。通过模态分析和结构... 根据双端固定音叉谐振器的动力学原理,建立了其参数模型。该模型基于MAST语言,包含几个子模型,模型有利于验证外围电路和减少计算时间。对于工作谐振模态频率的求解,解析计算和有限元仿真结果一致(相对误差小于1%)。通过模态分析和结构参数敏感性分析提出合理的选择参数可以使工作模态频率远离高阶模态频率,减少音叉梁固接端的弹性系数有利于抑制低阶模态的扰动。结构参数敏感性分析表明工作频率随音叉梁长度增大而减小,随其宽度的减小而增大,结构厚度对频率不产生影响。 展开更多

关键词 微机械电子系统 微谐振器 双端固定音叉 谐振频率 参数模型

下载PDF 职称材料

基于MEMS技术的非接触式人体静电测量装置 被引量：5

15

作者 闻小龙 彭春荣 +2 位作者 杨鹏飞 陈博 夏善红 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第8期1835-1840,共6页

为解决传统非接触式静电仪工作时振动或旋转部件裸露在外,无法在静电高危区域使用,难以测量运动人体带电情况等难题,该文研制出基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置。提出一种新型检测电极与敏感芯片相连结构,显著增大了电场感应... 为解决传统非接触式静电仪工作时振动或旋转部件裸露在外,无法在静电高危区域使用,难以测量运动人体带电情况等难题,该文研制出基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置。提出一种新型检测电极与敏感芯片相连结构,显著增大了电场感应面积,增强了灵敏度。设计11个检测电极分布式布置形成门体结构,成功实现人体头、肩、臂、手、腿、脚部位在运动过程中带电情况的同时测量。基于金属仿真带电人体,提出模拟应用现场的标定方法,准确实现了静电安检门的标定。该静电测量装置具有无裸露可动部件、安全性高、环境适应性强等突出优点,满足粉尘浓度高、易燃油气浓度高等恶劣环境下的使用需求。试验结果表明,该装置测量范围为-30~30k V,分辨力优于50 V,总不确定度优于3%。 展开更多

关键词 微机械电子系统 电场传感器 非接触 静电测量 静电仪

下载PDF 职称材料

基于微机械电子技术的黏度测量传感器 被引量：4

16

作者 黄琳雅 赵立波 +5 位作者 罗国希 李支康 吴德志 林启敬 杨萍 蒋庄德 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第8期13-22,共10页

黏度作为流体特性的基本问题,在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据,为满足各个领域高精度与高效快捷的黏度测量需求,近年来黏度测量手段已不局限于如毛细血管法、旋转法等传... 黏度作为流体特性的基本问题,在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据,为满足各个领域高精度与高效快捷的黏度测量需求,近年来黏度测量手段已不局限于如毛细血管法、旋转法等传统意义的宏观测量方法,基于微纳米尺度的黏度测量技术已展现出其突出的发展与应用前景。微机械电子系统(Microelectromechanical systems,MEMS)技术的蓬勃发展促使黏度测量集成化、智能化与实时性,多样化黏度测量方法不断涌现,其中谐振式黏度测量受到颇为广泛而深入的关注,并显示了瞩目的检测性能。首先回顾传统的黏度测量方法,然后再介绍了基于微机械电子技术的谐振式黏度测量方法,并分别总结了各自的特点。最后,对MEMS谐振式黏度测量方法的发展趋势进行了展望。 展开更多

关键词 流体黏度 测量方法 微机械电子系统 谐振

原文传递

末段修正火箭弹脉冲修正技术 被引量：2

17

作者 葛贤坤 黄长强 +1 位作者 韩统 赵辉 《弹道学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第4期29-32,共4页

提出了一种末段修正火箭弹的脉冲修正方案,建立了相应的弹道模型;对单个脉冲发动机的修正能力及修正时机进行了仿真研究;提出了末段多级修正的方法,并对多级修正进行了弹道数字仿真.结果表明,所提出的方案及修正方法能充分地利用单个脉... 提出了一种末段修正火箭弹的脉冲修正方案,建立了相应的弹道模型;对单个脉冲发动机的修正能力及修正时机进行了仿真研究;提出了末段多级修正的方法,并对多级修正进行了弹道数字仿真.结果表明,所提出的方案及修正方法能充分地利用单个脉冲发动机的修正能力,使多个脉冲发动机合理启动,可以大幅度提高火箭弹的命中精度. 展开更多

关键词 火箭弹 末段修正 脉冲控制力 弹道模型 微机械电子系统

下载PDF 职称材料

一种电极型MEMS电场传感器封装结构 被引量：4

18

作者 闻小龙 任天令 夏善红 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第11期2960-2964,共5页

为了提高MEMS电场传感器敏感芯片封装的环境适应性,该文提出一种新型的电极型MEMS电场传感器封装结构。区别于将传感器敏感芯片及探头放置于被测环境中,该文通过在MEMS电场传感器封装管壳外部增加封装电极,仅将封装电极暴露在被测环境中... 为了提高MEMS电场传感器敏感芯片封装的环境适应性,该文提出一种新型的电极型MEMS电场传感器封装结构。区别于将传感器敏感芯片及探头放置于被测环境中,该文通过在MEMS电场传感器封装管壳外部增加封装电极,仅将封装电极暴露在被测环境中,有效避免了传感器敏感芯片封装管壳受到多种恶劣环境的干扰。研制出基于新型封装结构的MEMS地面电场传感器及探空电场传感器,仿真及试验结果表明,该结构传感器能够实现对电场高精度准确测量,在高湿、低温等恶劣环境下输出稳定可靠。 展开更多

关键词 电场传感器 微机械电子系统 封装 环境适应性 大气电场探测

下载PDF 职称材料

薄膜体声波谐振器技术 被引量：2

19

作者 唐孝明 唐高弟 张海 《微纳电子技术》 CAS 2005年第8期380-383,共4页

以微加工技术制作的薄膜体声波谐振器以及由它连接组成的滤波器为重点,介绍了其工作原理、结构模型以及相关参数,提出了一种薄膜体声波谐振器设计,并模拟了其构成射频带通滤波器的频率特性。

关键词 微加工 RF滤波器 薄膜体声波谐振器 微机械电子系统

下载PDF 职称材料

基于高速图像采集与时间序列图像相关的微陀螺动力学特性测试 被引量：3

20

作者 杨福俊 孙伟 +2 位作者 蒋明 何小元 董萼良 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第4期347-351,共5页

研究微结构与微机械电子系统(MEMS)的动力学特性测量与试验方法,对于优化MEMS的结构设计以及提高其可靠性与稳定性具有重要的意义。基于高速图像采集技术和数字图像相关方法,提出了一种用于MEMS动力学特性测试与研究的时间序列数字图像... 研究微结构与微机械电子系统(MEMS)的动力学特性测量与试验方法,对于优化MEMS的结构设计以及提高其可靠性与稳定性具有重要的意义。基于高速图像采集技术和数字图像相关方法,提出了一种用于MEMS动力学特性测试与研究的时间序列数字图像相关方法。由于数字图像相关方法是以图像子区作为单元通过相关搜索计算出相关动力学参量,如同在试件上安装没有任何附加质量和附加力的影响的“微传感器”,因此该方法对试件表面要求低,测试结构简单,测量的数据精度高,可靠。给出了用该方法对稳定谐振和自由阻尼振动情况下微陀螺的动力学特性的测试结果,为进一步研究分析微陀螺的稳定性提供了重要的参数。 展开更多

关键词 计量学 微机械电子系统 微陀螺 动力学特性测试 时间序列数字图像相关方法

下载PDF 职称材料