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MEMS矢量水听器定位误差分析与测试 被引量：2
1
作者 宋小鹏 张丛 +3 位作者 赵玉林 尹彦梅 石归雄 薛晨阳 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第6期930-934,共5页
针对一种纤毛式微机械电子(MEMS)矢量水听器的工作原理进行分析,通过分析得出该矢量微传感器的定位误差主要来源于纤毛柱体的偏差。通过有限元仿真分析得出纤毛柱体的偏差对矢量水听器在两个方向上的灵敏度有较大影响,理论计算出在纤毛... 针对一种纤毛式微机械电子(MEMS)矢量水听器的工作原理进行分析,通过分析得出该矢量微传感器的定位误差主要来源于纤毛柱体的偏差。通过有限元仿真分析得出纤毛柱体的偏差对矢量水听器在两个方向上的灵敏度有较大影响,理论计算出在纤毛偏移下2个轴向灵敏度度误差为9.74%。对水听器结构进行轴向灵敏度测试,测出x向灵敏度为0.683mV/g(其中g为重力加速度),y向灵敏度为0.755mV/g,两个方向上灵敏度相对误差为9.5%,与仿真结果接近。 展开更多
关键词 矢量水听器 微机械电子(mems) 误差 纤毛
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微控器件的MEMS结构仿真与纳米材料应用研究
2
作者 葛羽屏 纪江明 +3 位作者 顾晓清 王伟明 李成诗 郭方敏 《新技术新工艺》 2008年第7期86-88,共3页
对新型微纳流控结构进行了分析，对相关材料进行了改进设想，对引入纳米多孔材料加以性能改善进行了基础性研究，并给出了实体照片反映其生长机理；从功能理解角度对有限元分析软件之分析原理、分析进程、运行机理进行了分析，并给出了... 对新型微纳流控结构进行了分析，对相关材料进行了改进设想，对引入纳米多孔材料加以性能改善进行了基础性研究，并给出了实体照片反映其生长机理；从功能理解角度对有限元分析软件之分析原理、分析进程、运行机理进行了分析，并给出了相关模拟结果。 展开更多
关键词 微机械电子系统mems 微流控 有限元法 围堰结构 纳米多孔硅
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光纤MEMS低频声传感特性研究
3
作者 周达华 宗思光 蒋冰莉 《光电技术应用》 2012年第6期51-54,共4页
光纤微机械电子系统（MEMS）传感器是MEMS微加工技术与微光学技术相结合发展的新型传感器，具有微型化、强抗电磁干扰、易集成、易阵列化、低成本、高可靠性等优点。针对低频声场测量需要，研究了光纤MEMS测声理论，建立了法布里～珀罗... 光纤微机械电子系统（MEMS）传感器是MEMS微加工技术与微光学技术相结合发展的新型传感器，具有微型化、强抗电磁干扰、易集成、易阵列化、低成本、高可靠性等优点。针对低频声场测量需要，研究了光纤MEMS测声理论，建立了法布里～珀罗（F—P）干涉测声的理论模型，设计并制作了光纤MEMS低频声传感器样品。实测表明，光纤MEMS性能可满足对4～5000Hz频段对声波的高灵敏测量。 展开更多
关键词 微机械电子系统(mems) 光纤 低频声传感器
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基于EMD的MEMS陀螺仪随机漂移分析方法 被引量：15
4
作者 李文华 汪立新 +1 位作者 沈强 李成 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期1927-1932,共6页
为了抑制微机械电子系统(MEMS)陀螺仪的随机漂移,基于经验模态分解(EMD)和模态集合选择标准,结合时间序列建模滤波法,提出了一种改进的MEMS陀螺仪随机漂移分析方法。首先,通过EMD将MEMS陀螺仪原始数据分解为多个本征模态函数(IMF),利用... 为了抑制微机械电子系统(MEMS)陀螺仪的随机漂移,基于经验模态分解(EMD)和模态集合选择标准,结合时间序列建模滤波法,提出了一种改进的MEMS陀螺仪随机漂移分析方法。首先,通过EMD将MEMS陀螺仪原始数据分解为多个本征模态函数(IMF),利用模态集合选择标准将IMF分为噪声IMF、噪声与信号混合IMF和信号IMF三类;然后,对混合IMF进行重构、时间序列建模及自适应卡尔曼滤波(AKF);最后,将3类信号重构,实现MEMS陀螺仪信号去噪。实验表明:所提方法有更好的去噪效果和实时性,提高了MEMS陀螺仪的使用精度。 展开更多
关键词 微机械电子系统(mems)陀螺仪 自适应卡尔曼滤波(AKF) 时间序列模型 ALLAN方差 经验模态分解(EMD)
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