微控器件的MEMS结构仿真与纳米材料应用研究
摘要
对新型微纳流控结构进行了分析，对相关材料进行了改进设想，对引入纳米多孔材料加以性能改善进行了基础性研究，并给出了实体照片反映其生长机理；从功能理解角度对有限元分析软件之分析原理、分析进程、运行机理进行了分析，并给出了相关模拟结果。
出处
《新技术新工艺》
2008年第7期86-88,共3页
New Technology & New Process
基金
上海市科教委“上海高校选拔培养优秀青年教师科研专项基金”（2006041012）
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