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A Novel Sensor for Detecting the Vibration 被引量:1
1
作者 WENG Jian hua (College of Electr.Eng.,Yanshan University,Qinhuangdao 066004,CHN) 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2003年第4期242-244,共3页
The micro-cantilever beam with a twin long period optic fiber grating sensitive to the strain and the vibration is designed to use as the sensor head.The micro-displacement of wavelength caused by strain or vibration ... The micro-cantilever beam with a twin long period optic fiber grating sensitive to the strain and the vibration is designed to use as the sensor head.The micro-displacement of wavelength caused by strain or vibration is amplified in the system.Special cladding material is used to eliminate the interference brougth about the temperature.The designing structure is enabled to detect the micro-information. 展开更多
关键词 Micro-cantilever beam Optic fiber grating Heterodyne detection
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聚焦离子束工作原理及刻蚀性能研究 被引量:1
2
作者 颜秀文 贾京英 《电子工业专用设备》 2010年第9期14-16,32,共4页
综述了聚焦离子束系统的结构和基本原理,介绍了国产化聚焦离子束系统的结构与特点。基于国产化聚焦离子束系统进行了硅材料刻蚀实验,研究了硅材料刻蚀速率与离子束流大小的关系,建立了刻蚀速率与束流大小的关系方程,进行了硅悬梁微结构... 综述了聚焦离子束系统的结构和基本原理,介绍了国产化聚焦离子束系统的结构与特点。基于国产化聚焦离子束系统进行了硅材料刻蚀实验,研究了硅材料刻蚀速率与离子束流大小的关系,建立了刻蚀速率与束流大小的关系方程,进行了硅悬梁微结构刻蚀加工。结果表明,国产聚焦离子束系统可满足硅微悬梁结构加工的应用需要。 展开更多
关键词 聚焦离子束 刻蚀速率 离子柱 悬梁
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自停止腐蚀工艺的观察
3
作者 唐圣明 陈思琴 韩明 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期408-409,共2页
关键词 自停止腐蚀工艺 大规模集成电路工艺 腐蚀剂 机械器件 硅片腐蚀 悬梁 加速度计结构
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利用MEMS技术的乙炔传感器研究
4
作者 祁欣 周明军 张洪泉 《计测技术》 2010年第S1期146-147,共2页
利用MEMS技术将化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构,并将其应用于催化燃烧式气体传感器的基底。采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜电阻器,涂敷Al2O3-SnO2-Ti02-Pd和Al2O3-SnO2-Ti02-Pt,形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,从而制... 利用MEMS技术将化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构,并将其应用于催化燃烧式气体传感器的基底。采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜电阻器,涂敷Al2O3-SnO2-Ti02-Pd和Al2O3-SnO2-Ti02-Pt,形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,从而制作出乙炔传感器。测试结果表明:传感器可实现乙炔浓度为0~15000×10-6的检测,具有线性输出特性,同时对乙炔传感器的长期稳定性进行了研究。 展开更多
关键词 悬梁 Al2O3膜板 催化燃烧 乙炔传感器
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微悬梁式汽油传感器研究
5
作者 张洪泉 乔英杰 +1 位作者 汪洋 范茂军 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第6期77-79,共3页
提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构,并将其用于催化燃烧式气体传感器结构的基底。采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜敏感电阻器,涂敷Al2O3-ZrO2-ThO2-Pt—Pd和Al2O3-ZrO2-ThO2-PbO形成催化敏感桥臂和温... 提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构,并将其用于催化燃烧式气体传感器结构的基底。采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜敏感电阻器,涂敷Al2O3-ZrO2-ThO2-Pt—Pd和Al2O3-ZrO2-ThO2-PbO形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,从而制作出汽油传感器。测试结果表明:传感器可实现汽油体积分数为(0-15)×10^-3的检测(标准气为己烷),且具有线性输出特性。同时对汽油传感器的工作初始稳定性和长期稳定性问题进行了研究。 展开更多
关键词 悬梁 Al2O3模板 催化 汽油传感器
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利用微悬梁器技术的光学和红外探测 被引量:1
6
作者 P.I.Oden 贡树行 《红外》 CAS 1998年第4期1-10,共10页
利用微悬梁器技术**证明对微机械光学和红外的探测是可行的。微悬梁器技术提供了一个简单的方法来研制单元和多元传感器,用于可见光和红外辐射的探测。这类传感器与量子探测器或热探测器比较起来,体积更小,灵敏度更高,成本更低。表面镀... 利用微悬梁器技术**证明对微机械光学和红外的探测是可行的。微悬梁器技术提供了一个简单的方法来研制单元和多元传感器,用于可见光和红外辐射的探测。这类传感器与量子探测器或热探测器比较起来,体积更小,灵敏度更高,成本更低。表面镀着一层热吸收层的微悬梁器会弯曲,这是由双金属效应产生的不均匀应力所引起的。微悬梁器的弯曲程度取决于吸热总量,并可利用光学方法或电学方法探测出来,例如可利用在压阻悬梁方面的电阻变化进行探测。微悬梁传感器有两个独特的热响应时间常数:快的一个(τ_1(热)<1ms)和慢的一个(τ_2(热)~10ms)。测出这种器件的噪声等效温差NEDT=90 mK。当未镀吸收层的微悬梁器受到一束低功率二极管激光(波长λ=786 nm)的辐照时,发现噪声等效功率NEP=3.5 nW/Hz^(1/2),相当于调制频率为20 Hz时的比探测率 D~*= 3.6×10~7cm·Hz^(1/2)/W。 展开更多
关键词 红外探测 悬梁 光学探测
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