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题名高灵敏度开尔文探针力显微镜测量方法及其研究现状
被引量:3
- 1
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作者
金晨
许军
王慧云
董诚
王旭东
马宗敏
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机构
中北大学电子测试技术重点实验室
中北大学仪器与电子学院
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2021年第6期545-557,共13页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61874100)
科技部国家重点研发计划项目(2018YFF01012502)
+1 种基金
山西省重点研发计划项目(201803D421037)
山西“1331工程”重点学科建设资助项目(1331KSC)。
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文摘
开尔文探针力显微镜(KPFM)不仅能够表征多种平整材料的表面形貌,还能对材料表面电势进行纳米级的成像。简单介绍了KPFM的基本工作原理与接触电势差(CPD)的概念,并介绍了幅度调制模式KPFM(AM-KPFM)、频率调制模式KPFM(FM-KPFM)与外差幅度调制模式(HAM-KPFM)这三种重要测量方法及其应用。系统综述了KPFM的国内外应用研究现状,详细介绍了其在金属纳米结构、半导体纳米结构表征方面的超高灵敏度与分辨率,总结了其在多种领域电特性表征中的广泛应用。最后对不同工作模式的KPFM进行了对比总结,展望了KPFM的未来发展。
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关键词
开尔文探针力显微镜(kpfm)
接触电势差(CPD)
超高分辨率
纳米级成像
动态原子力显微镜(AFM)
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Keywords
Kelvin probe force microscope(kpfm)
contact potential difference(CPD)
ultra high resolution
nanometer imaging
dynamic atomic force microscope(AFM)
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分类号
TH742
[机械工程—光学工程]
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题名开尔文探针力显微镜的应用研究现状
被引量:2
- 2
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作者
武兴盛
魏久焱
常诞
马宗敏
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机构
中北大学电子测试技术重点实验室
中北大学仪器与电子学院
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出处
《微纳电子技术》
北大核心
2018年第10期751-756,共6页
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基金
国家自然科学基金面上项目(61274103)
山西省自然科学基金资助项目(201701D121080)
山西省自然科学基金(青年)资助项目(2014021023-2)
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文摘
开尔文探针力显微镜(KPFM)是一种能够对众多材料表面电势纳米级成像的独特工具。首先介绍了开尔文探针力显微镜的基本工作原理和系统的建立。系统综述了开尔文探针力显微镜的国内外应用研究现状,包括开尔文探针力显微镜在物理、材料和生物等领域的重要应用。详细介绍了其在表征金属纳米结构和半导体纳米结构电学性质的超高分辨优势,表征器件纳米结构电学性质的兼容性优势及其他方面的独特的应用前景。指出了开尔文探针力显微镜的可扩展性需提高和物理机制需进一步深入研究,并且展望了开尔文探针力显微镜未来的发展趋势。
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关键词
开尔文探针力显微镜(kpfm)
接触电势差
纳米结构
超高分辨率
纳米级成像
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Keywords
Kelvin probe force microscope (kpfm)
contact potential difference
nanostruc-ture
ultrahigh resolution
nanometer imaging
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分类号
TH742
[机械工程—光学工程]
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题名KPFM在电介质电荷行为研究中的应用
- 3
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作者
郭皓敏
张梓轩
贾贝贝
陈承相
吴锴
周峻
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机构
西安交通大学电气工程学院电力设备电气绝缘国家重点实验室
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出处
《绝缘材料》
CAS
北大核心
2023年第10期1-11,共11页
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基金
国家重点研发计划项目(2017YFB0903803)。
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文摘
开尔文探针力显微镜(KPFM)是一种以纳米级分辨率对材料表面进行电势测量的重要工具,由于其对材料表面电荷的敏感性,近年来在电介质电荷行为研究中获得了广泛应用。本文介绍了KPFM的原理,归纳了KPFM应用于电介质中电荷行为的最新研究进展,重点分析了电介质中表面、界面电荷的扩散、迁移机制,还对KPFM在无机材料、纳米复合材料、铁电材料等典型电介质中的应用研究进行了综述。
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关键词
开尔文探针力显微镜(kpfm)
表面电势
电介质
电荷行为
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Keywords
Kelvin probe force microscope(kpfm)
surface potential
dielectrics
charge behavior
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分类号
TM215
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名904L超级奥氏体不锈钢焊接接头的耐腐蚀性能研究
- 4
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作者
廖雪波
张度宝
蒲晶菁
高超
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机构
福建宁德核电有限公司
苏州热工研究院有限公司
国家核电厂安全及可靠性工程技术研究中心
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出处
《材料保护》
CAS
CSCD
2023年第12期167-172,178,共7页
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文摘
为了研究904L超级奥氏体不锈钢焊接接头在模拟核电厂三回路水环境中的耐腐蚀性能,采用开尔文探针力显微镜(KPFM)和电子背散射衍射(EBSD)技术,结合电化学试验、浸泡腐蚀试验研究了904L焊缝和母材晶界特征分布、表面接触电势差及介质温度对其耐腐蚀行为的影响。结果表明:904L母材具有更高的Σ3特殊晶界,较焊缝具有更好的耐腐蚀性能。焊缝和熔合线表面平均电位差分别为318 mV和295 mV,且局部区域存在电位差低谷,具有更高的电化学活性。母材和焊缝临界点蚀温度(CPT)分别为50℃和43℃,CPT焊缝<CPT母材。温度的变化对焊缝的点蚀电位(Eb)具有更大的影响,随着温度升高,焊缝点蚀电位Eb急剧降低,腐蚀速率大幅度提高。
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关键词
开尔文探针力显微镜(kpfm)
电子背散射衍射(EBSD)
接触电势差
临界点蚀温度
点蚀电位
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Keywords
the Kelvin probe force microscope(kpfm)
electron backscatter diffraction(EBSD)
contact potential difference
critical pit⁃ting temperature
pitting potential
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分类号
TG172.82
[金属学及工艺—金属表面处理]
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题名KPFM测试参数对表面电势测量的影响
- 5
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作者
冯凯
白刚
王美玲
菅傲群
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机构
太原理工大学微纳系统研究中心
太原理工大学新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
北大核心
2018年第12期922-926,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61501316,61471255,61474079,51505324,51622507)
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2015AA042601)
+2 种基金
山西省优秀人才科技创新项目(201605D211027)
山西省优秀人才科技创新项目(201605D211023)
山西省回国留学人员资助项目(2015-047)
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文摘
开尔文探针力显微镜(KPFM)是一种可以对材料表面电势进行纳米级成像的工具,是研究纳米材料表面特性的一种重要手段。高定向热解石墨(HOPG)具有表面光滑、导电性好的特点,在原子力显微镜(AFM)的KPFM模式下,向HOPG表面施加不同电压,测量HOPG的表面电势,以结果作为参照,采用控制变量法分别对比了滤波器阶数、灵敏度和驱动值三种参数对表面电势测量的影响。实验结果表明:滤波器阶数、灵敏度和驱动值均对表面电势的测量有不同程度的影响,不同程度增加滤波器阶数、灵敏度和驱动值都可以起到提升信噪比的作用,其中灵敏度的提升对信号的影响最为显著。
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关键词
开尔文探针力显微镜(kpfm)
高定向热解石墨(HOPG)
滤波器阶数
灵敏度
驱动值
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Keywords
Kelvin probe force microscope (kpfm)
highly oriented pyrolytic graphite(HOPG)
filter order
sensitivity
driving value
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分类号
TH742
[机械工程—光学工程]
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