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ULSI互连中纳米多孔SiO_2的制造工艺、特性及应用前景 被引量：4
1
作者 阮刚 陈智涛 +2 位作者 肖夏 朱兆旻 段晓明 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期349-354,共6页
综述了 ULSI互连中纳米多孔二氧化硅 (NPS)电介质主要品种干燥凝胶 (Xerogel)的典型制造工艺 ,给出并分析了介电常数、应力、热导率和机械强度等主要特性 。
关键词 ULSI 纳米多孔二氧化硅 干燥凝胶 低介电常数介质 特大规模集成电路互连
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常压干燥溶胶-凝胶法制备的TiO_2气凝胶织构和结构研究 被引量：4
2
作者 赵乐乐 王守信 王远洋 《工业催化》 CAS 2015年第1期19-25,共7页
以廉价的四氯化钛为前驱体,环氧丙烷为促凝剂,甲酰胺为干燥控制化学添加剂,有机配体丙酸为水解降速剂,采用正交实验设计以常压干燥-溶胶-凝胶法制备TiO2气凝胶,并用BET和XRD对样品的织构和结构进行表征。结果表明,以n(四氯化钛)∶n(去... 以廉价的四氯化钛为前驱体,环氧丙烷为促凝剂,甲酰胺为干燥控制化学添加剂,有机配体丙酸为水解降速剂,采用正交实验设计以常压干燥-溶胶-凝胶法制备TiO2气凝胶,并用BET和XRD对样品的织构和结构进行表征。结果表明,以n(四氯化钛)∶n(去离子水)∶n(甲酰胺)∶n(丙酸)∶n(环氧丙烷)=1∶14∶2∶0.5∶10制备的TiO2气凝胶,比表面积为632.87 m2·g-1,平均孔径7.87 nm,孔容1.24 cm3·g-1;当平均孔径小、孔容大时比表面积较高,反之,比表面积很低;随着焙烧温度升高,晶化度增强,但仍未出现金红石相衍射峰,表明具有较好的热稳定性。TiO2气凝胶孔容较大时,锐钛矿相结晶度差,反之,结晶度好;孔容居中的TiO2气凝胶出现游离的无定型SiO2,而较低的丙酸含量有利于提高焙烧后样品的晶化度。 展开更多
关键词 催化剂工程 TiO2气凝胶 常压干燥溶胶-凝胶法 正交实验设计
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PW/SiO_2 aerogel的制备及其在芘的Friedel-Crafts酰基化反应中的催化性能
3
作者 陈敏 徐露璐 +2 位作者 王志伟 魏巍 殷恒波 《江苏大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期228-232,共5页
采用常压干燥法制备二氧化硅气凝胶(Si O2aerogel),并以其作为载体,采用浸渍法制备出Si O2气凝胶负载磷钨酸(PW/Si O2aerogel)催化剂.采用BET,XRD,TEM和NH3-TPD等方法对其进行表征.将所制备的PW/Si O2aerogel用于催化芘与苯甲酸酐的Frie... 采用常压干燥法制备二氧化硅气凝胶(Si O2aerogel),并以其作为载体,采用浸渍法制备出Si O2气凝胶负载磷钨酸(PW/Si O2aerogel)催化剂.采用BET,XRD,TEM和NH3-TPD等方法对其进行表征.将所制备的PW/Si O2aerogel用于催化芘与苯甲酸酐的Friedel-Crafts酰基化反应,在温和条件下合成了重要的精细化工品1-苯甲酰芘,考察了PW/Si O2aerogel催化性能.结果表明:当磷钨酸负载量为40%,反应温度为60℃,反应时间为40 min时,PW/Si O2aerogel达到最佳的催化活性,目标产物1-苯甲酰芘的收率和选择性分别可达75.9%和100.0%.通过5次重复试验考察PW/Si O2aerogel催化剂的重复使用性能,可见PW/Si O2aerogel催化剂重复使用效果良好. 展开更多
关键词 常压干燥气凝胶 负载型杂多酸 Friedel-Crafts酰基化 芘 催化 1-苯甲酰芘
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Co_(1-x)Zn_xFe_2O_4铁氧体气凝胶的制备及其性能研究
4
作者 魏磊 杨巧珍 +2 位作者 杨兰 孙凯 赵永祥 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第22期92-94,98,共4页
采用醇-水溶液加热法结合超临界流体干燥(SFCD)制备了Co1-xZnxFe2O4铁氧体气凝胶,对样品进行了XRD、BET、VSMI、CP及TEM等表征。结果表明,所得铁氧体气凝胶为单一尖晶石结构,具有较高的比饱和磁化强度、较大的矫顽力以及较高的比表面积... 采用醇-水溶液加热法结合超临界流体干燥(SFCD)制备了Co1-xZnxFe2O4铁氧体气凝胶,对样品进行了XRD、BET、VSMI、CP及TEM等表征。结果表明,所得铁氧体气凝胶为单一尖晶石结构,具有较高的比饱和磁化强度、较大的矫顽力以及较高的比表面积;在一定范围内,改变Zn含量可以改善CoZn铁氧体气凝胶的性能。 展开更多
关键词 Co1-xZnxFe2O4 醇-水溶液加热法超临界流体干燥气凝胶
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