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射频感应耦合等离子体朗缪双探针诊断分析 被引量:4
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作者 张昀 王波 王荷军 《真空》 CAS 2016年第3期56-61,共6页
采用朗缪探针法对射频感应耦合等离子体进行了诊断分析,得到了圆柱形ICP放电装置的电子密度和电子温度。通过朗缪双探针研究了不同放电气压、不同射频功率、不同放电位置、不同气体组分对等离子体参数的影响。一定功率下,电子密度在30Pa... 采用朗缪探针法对射频感应耦合等离子体进行了诊断分析,得到了圆柱形ICP放电装置的电子密度和电子温度。通过朗缪双探针研究了不同放电气压、不同射频功率、不同放电位置、不同气体组分对等离子体参数的影响。一定功率下,电子密度在30Pa-100Pa之间随气压的增加而增大,在100Pa-160Pa之间随气压的增加而减小,电子温度在30Pa-160Pa之间随气压的增加而减小;一定气压下,电子密度在50W-1900W之间随功率的增加逐渐增大,电子温度在50W-900W之间随功率的增加而减小,在900W-1900W之间随功率的增加而增大。等离子体辉光区域不同位置的电子密度和电子温度各不相同,电子密度大的位置具有较低的电子温度。氩氮混合气体的电子密度随着气压的增加而减小,氮气在混合气体中的比例越高混合气体的电子密度越小;氩氮混合气体相比纯氩有着更高的电子温度,且氮气含量越高混合气体的电子温度也越高。 展开更多
关键词 射频感应耦合等离子体 朗缪双探针 电子密度 电子温度
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Conversion of CO2 by non-Thermal Inductively-Coupled Plasma Catalysis
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作者 Edwin Devid Maria Ronda-Lloret +3 位作者 Qiang Huang Gadi Rothenberg N.Raveendran Shiju Aart Kleyn 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2020年第2期243-251,I0003,I0041-I0045,共15页
CO2 decomposition is a very strongly endothermic reaction where very high temperatures are required to thermally dissociate CO2.Radio frequency inductively-coupled plasma enables to selectively activate and dissociate... CO2 decomposition is a very strongly endothermic reaction where very high temperatures are required to thermally dissociate CO2.Radio frequency inductively-coupled plasma enables to selectively activate and dissociate CO2 at room temperature.Tuning the flow rate and the frequency of the radio frequency inductively-coupled plasma gives high yields of CO under mild conditions.Finally the discovery of a plasma catalytic effect has been demonstrated for CO2 dissociation that shows a significant increase of the CO yield by metallic meshes.The metallic meshes become catalysts under exposure to plasma to activate the recombination reaction of atomic O to yield O2,thereby reducing the reaction to convert CO back to CO2.Inductively-coupled hybrid plasma catalysis allows access to study and to utilize high CO2 conversion in a non-thermal plasma regime.This advance offers opportunities to investigate the possibility to use radio frequency inductively-coupled plasma to store superfluous renewable electricity into high-valuable CO in time where the price of renewable electricity is plunging. 展开更多
关键词 CO2 Radio frequency inductively-coupled plasma Plasma reactor CONVERSION Metal mesh Quadrupole mass spectrometry X-ray photo-electron spectroscopy X-Ray diffraction Scanning electron microscopy
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工作气压对氩射频电感耦合等离子体模式转换的影响
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作者 熊文文 陈俊芳 +1 位作者 王燕 王勇 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2019年第1期16-21,共6页
采用朗格缪尔探针诊断装置测量电子能量和等离子体密度,利用发射光谱诊断装置测量发光强度,以判断实验腔室内的放电模式.结果表明:等离子体放电可以在E模式和H模式间相互转换,并且等离子体密度和发光强度随着射频功率的变化而出现反向... 采用朗格缪尔探针诊断装置测量电子能量和等离子体密度,利用发射光谱诊断装置测量发光强度,以判断实验腔室内的放电模式.结果表明:等离子体放电可以在E模式和H模式间相互转换,并且等离子体密度和发光强度随着射频功率的变化而出现反向滞后现象.当工作气压在0.36~0.42 Pa区间时,滞后现象不再发生.此外,随着工作气压的增大,E-H模转换的跳跃功率先减小而后增大,在工作气压为0.39 Pa时跳跃功率最低.射频功率越大,气体保持H模式放电所需气压的范围越大.研究结果可为实际工业生产中的气压控制提供参考依据. 展开更多
关键词 射频感应耦合等离子体 工作气压 ICP放电 发射光谱 LANGMUIR探针 E-H模式转换
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