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基于多轴对准定位平台提升LDI机生产效率的探讨
1
作者
李辉
方林
+2 位作者
刘国藩
杨坤伦
侯荣伟
《印制电路信息》
2022年第12期1-6,共6页
为了满足印制电路板分区域基板对位应用需求,提升LDI机生产效率,文章设计了一种应用于LDI机的多轴对准定位平台。多轴对准定位平台包含多组对准定位平台,通过平台控制系统移动对准定位平台到基板对位点,对准测量系统采集多对位点图像信...
为了满足印制电路板分区域基板对位应用需求,提升LDI机生产效率,文章设计了一种应用于LDI机的多轴对准定位平台。多轴对准定位平台包含多组对准定位平台,通过平台控制系统移动对准定位平台到基板对位点,对准测量系统采集多对位点图像信息,使用LDI技术实现图形转移完成基板曝光。从对准时间测试数据分析看,随着基板分区域越多,以及对准定位平台轴数的增多,多轴对准定位平台提升LDI机生产效率越显著。
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关键词
激光直接成像
对准
测量系统
对准
定位
平台
运动控制
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职称材料
题名
基于多轴对准定位平台提升LDI机生产效率的探讨
1
作者
李辉
方林
刘国藩
杨坤伦
侯荣伟
机构
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
出处
《印制电路信息》
2022年第12期1-6,共6页
文摘
为了满足印制电路板分区域基板对位应用需求,提升LDI机生产效率,文章设计了一种应用于LDI机的多轴对准定位平台。多轴对准定位平台包含多组对准定位平台,通过平台控制系统移动对准定位平台到基板对位点,对准测量系统采集多对位点图像信息,使用LDI技术实现图形转移完成基板曝光。从对准时间测试数据分析看,随着基板分区域越多,以及对准定位平台轴数的增多,多轴对准定位平台提升LDI机生产效率越显著。
关键词
激光直接成像
对准
测量系统
对准
定位
平台
运动控制
Keywords
LDI
Alignment Measuring System
Alignment Positioning Stage
Motion Control
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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出处
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1
基于多轴对准定位平台提升LDI机生产效率的探讨
李辉
方林
刘国藩
杨坤伦
侯荣伟
《印制电路信息》
2022
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