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Ba_(1—x)Sr_xTiO_3铁电薄膜的热演化特征与微结构 被引量:4
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作者 丁永平 金承钰 孟中岩 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期637-640,共4页
用醋酸锶(Sr(Ac)2)、醋酸钡(Ba(Ac)2)和钛酸四丁酯(TBT)为原材料,采用sol-gel工艺制备Ba1-xSrxTiO3系铁电薄膜研究了螯合剂乙酸丙酮(HAcAc)的添加对金属有机前驱体的热演化特性及薄膜微结构的影响提出控制薄膜微结构的... 用醋酸锶(Sr(Ac)2)、醋酸钡(Ba(Ac)2)和钛酸四丁酯(TBT)为原材料,采用sol-gel工艺制备Ba1-xSrxTiO3系铁电薄膜研究了螯合剂乙酸丙酮(HAcAc)的添加对金属有机前驱体的热演化特性及薄膜微结构的影响提出控制薄膜微结构的有效途径。 展开更多
关键词 SOL-GEL 存储器材料 铁电薄膜 钛酸锶钡
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