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MEMS固态引信谐振器的系统级设计与仿真
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作者 王小娟 国蓉 +2 位作者 王伟 霍鹏飞 郭玮玮 《科技广场》 2007年第9期10-12,共3页
多端口组件网络方法可以实现MEMS器件系统级的快速设计与仿真。本文利用该方法,在SABER仿真平台上搭建了MEMS固态引信谐振器的系统级行为模型,并进行了小信号频域仿真、时域仿真以及灵敏度仿真,其结果接近于有限元分析结果。表明采用多... 多端口组件网络方法可以实现MEMS器件系统级的快速设计与仿真。本文利用该方法,在SABER仿真平台上搭建了MEMS固态引信谐振器的系统级行为模型,并进行了小信号频域仿真、时域仿真以及灵敏度仿真,其结果接近于有限元分析结果。表明采用多端口组件网络方法进行MEMS器件的设计,可以满足设计要求,保证精度,提高设计效率。 展开更多
关键词 固态引信 多端口组件网络:系统级仿真
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