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多坐标激光干涉仪用于纳米定位系统中的研究 被引量：3
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作者 刘红忠 赵万华 +1 位作者 李涤尘 卢秉恒 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期592-595,共4页
提出了应用激光干涉量度 ( L M)系列多坐标激光干涉仪在纳米定位系统中进行同步定位检测 ,具有尺寸小、重量轻、光源与测量头分离的特点 ,完全消除了由于光源的震动、发热等因素对纳米定位系统的影响 ;它的测量分辨率高、测量范围大及... 提出了应用激光干涉量度 ( L M)系列多坐标激光干涉仪在纳米定位系统中进行同步定位检测 ,具有尺寸小、重量轻、光源与测量头分离的特点 ,完全消除了由于光源的震动、发热等因素对纳米定位系统的影响 ;它的测量分辨率高、测量范围大及本身带有智能分析环节 ,在IC( Integrated circuit)制造装备及微机械、生物芯片制造装备等方面的应用中 ,满足大空间范围和超高精度定位的要求 ,并且可以通过分布式 CPU控制方式实现多坐标高速、同步实时定位 . 展开更多
关键词 测量精度 多坐标测量 精密测试技术 纳米定位系统 多坐标激光干涉仪
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