摘要
提出了应用激光干涉量度 ( L M)系列多坐标激光干涉仪在纳米定位系统中进行同步定位检测 ,具有尺寸小、重量轻、光源与测量头分离的特点 ,完全消除了由于光源的震动、发热等因素对纳米定位系统的影响 ;它的测量分辨率高、测量范围大及本身带有智能分析环节 ,在IC( Integrated circuit)制造装备及微机械、生物芯片制造装备等方面的应用中 ,满足大空间范围和超高精度定位的要求 ,并且可以通过分布式 CPU控制方式实现多坐标高速、同步实时定位 .
LM series multicoordinate laser interferometer is used in nanopositioning system to realize synchromeasure.Its characteristics are smaller structure,little weight,laser lamp house divided from interferometer and eliminating facts of vibration and heat.Its high resolution,large measuring space and intelligent analysis are fit for IC(Integrated circuit),micro machine,biochip etc.manufacture equipment.The system is controlled by cups and realizes parellel control,high speed real time positioning.
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期592-595,共4页
Acta Photonica Sinica
基金
20 0 0年全国优秀博士论文基金资助项目
