透明台阶的白光干涉测量方法研究 被引量：5

1

作者 耿东锋 何英杰 苏宏毅 《光学仪器》 2013年第6期74-77,共4页

Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备,它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量。在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶测量时,设置不同的测量参数会导致较大的测量误差,通过对垂... Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备,它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量。在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶测量时,设置不同的测量参数会导致较大的测量误差,通过对垂直扫描干涉模式的原理和测量系统的分析,找到了误差产生的原因,并通过合理的测量参数的设置,实现了对透明台阶的准确测量,满足了应用需求。 展开更多

关键词 垂直扫描干涉 零光程差 透明台阶

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白光干涉垂直扫描测量算法综述 被引量：3

2

作者 汝洪武 张文喜 吴玲玲 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2020年第8期899-906,共8页

白光干涉测量是采用具有一定光谱宽度的白光代替单色光作为干涉光源进行测量的特殊干涉测量技术。根据白光干涉信号的相干长度短、相干峰非常明显的特性,采用了垂直扫描干涉测量的方式获取干涉信号。相干峰寻址法是在垂直扫描测量的基... 白光干涉测量是采用具有一定光谱宽度的白光代替单色光作为干涉光源进行测量的特殊干涉测量技术。根据白光干涉信号的相干长度短、相干峰非常明显的特性,采用了垂直扫描干涉测量的方式获取干涉信号。相干峰寻址法是在垂直扫描测量的基础上提出的,具有较高的计算精度和较大的适用性。本文将相干峰寻址法的11种算法分为直接求解法、包络曲线拟合法和加权平均法三类进行阐述,并通过仿真每种算法分析各种算法的优缺点以及适用性和局限性。 展开更多

关键词 白光干涉测量 相干峰寻址法 垂直扫描干涉

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表面粗糙度测试仪新进展

3

作者 高志山 陈进榜 《光仪技术》 1999年第4期8-11,共4页

本文主要介绍了表面粗糙度测试仪的测试原理及整机的最新研究进展。

关键词 表面粗糙度测试仪 白光显微干涉 垂直扫描干涉

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SiO_2泡沫微球密度精密检测技术研究

4

作者 马小军 高党忠 孟婕 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期88-91,共4页

根据垂直扫描干涉技术结合样品折射率与密度间的依赖关系,建立了低密度SiO2泡沫微球密度的检测方法,用Lorentz-Lorenz和Gladstone-Dale公式分析了SiO2泡沫微球折射率与密度间的依赖关系。实验结果和测量误差估计表明,利用垂直扫描干涉... 根据垂直扫描干涉技术结合样品折射率与密度间的依赖关系,建立了低密度SiO2泡沫微球密度的检测方法,用Lorentz-Lorenz和Gladstone-Dale公式分析了SiO2泡沫微球折射率与密度间的依赖关系。实验结果和测量误差估计表明,利用垂直扫描干涉技术并结合Gladstone-Dale分析方法,可实现对低密度SiO2泡沫微球密度的精密检测,其测量误差好于5%。 展开更多

关键词 SiO2泡沫微球 密度检测 垂直扫描干涉 折射率 惯性约束聚变

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玻璃靶丸内气体压力的垂直扫描干涉测量技术研究

5

作者 王冰 陈雪 +2 位作者 顾倩倩 马小军 高党忠 《计量与测试技术》 2017年第12期11-13,共3页

本文通过分析光线通过靶丸样品后的光程变化,建立了基于垂直扫描干涉技术的玻璃靶丸气体压力精密检测方法。为了验证折射率与密度计算关系的准确性,分别利用Lorentz&Lorenz公式和Gladstone&Dale公式对靶丸内气体的密度进行了计... 本文通过分析光线通过靶丸样品后的光程变化,建立了基于垂直扫描干涉技术的玻璃靶丸气体压力精密检测方法。为了验证折射率与密度计算关系的准确性,分别利用Lorentz&Lorenz公式和Gladstone&Dale公式对靶丸内气体的密度进行了计算,实验结果表明,两种分析方法一致性较高,其最大误差小于1%。对垂直扫描干涉法测量玻璃靶丸内气体压力的不确定度分析和比对实验结果表明,该方法的测量不确定度约为5.3%。 展开更多

关键词 玻璃靶丸 垂直扫描干涉 气体压力 惯性约束聚变

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基于干涉显微原理的表面形貌测量系统 被引量：10

6

作者 王海珊 史铁林 +2 位作者 廖广兰 刘世元 张文栋 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期84-89,共6页

根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂... 根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量。为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI和PSI两种模式分别进行了测量实验。结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求。 展开更多

关键词 相移干涉法 垂直扫描干涉法 林尼克干涉结构 五步相移算法 SEST算法

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基于FDTD的高深宽比沟槽结构低相干显微干涉信号仿真分析 被引量：1

7

作者 赵雨晴 高志山 +3 位作者 袁群 马剑秋 孙一峰 郭珍艳 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期124-136,共13页

低相干垂直扫描干涉技术是微结构形貌特征参数无损检测的有效手段。但当微结构的沟槽深宽比高于5∶1时,遮挡效应以及阶跃边缘复杂的衍射效应会导致本应仅包含一个包络的垂直扫描测量干涉信号异常,形成两个甚至多个包络,继而影响形貌检... 低相干垂直扫描干涉技术是微结构形貌特征参数无损检测的有效手段。但当微结构的沟槽深宽比高于5∶1时,遮挡效应以及阶跃边缘复杂的衍射效应会导致本应仅包含一个包络的垂直扫描测量干涉信号异常,形成两个甚至多个包络,继而影响形貌检测结果。本文解析低相干垂直扫描干涉的测量过程,采用时域有限差分法对低相干显微干涉测量系统的显微成像、相干扫描测量过程进行数值仿真,计算待测微结构表面返回场及显微成像后的像面干涉场,得到低相干显微干涉信号。分别仿真了深宽比为5∶1、80∶3的硅基沟槽微结构的干涉信号,并与实验室自研的Linnik型低相干垂直扫描干涉系统对沟槽微结构的检测信号进行对比,匹配其高深宽比沟槽结构干涉信号的双包络及幅频双峰性的特征,验证所提方法的准确性。该仿真方法可应用于实测前对被测结构低相干显微干涉信号的先验性仿真计算,通过提前分析信号特征,为形貌复原算法的选取及改进指引优化方向。 展开更多

关键词 时域有限差分 光场传输 低相干垂直扫描干涉 高深宽比沟槽结构 低相干显微干涉信号

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靶丸壳层折射率的白光干涉测量技术研究 被引量：1

8

作者 樊婷 马小军 +3 位作者 王宗伟 王琦 何智兵 易勇 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期641-649,共9页

为了精密检测靶丸壳层折射率参数,基于白光垂直扫描干涉和白光反射光谱的基本原理,建立了二者联用的靶丸壳层折射率测量方法。数据处理利用曲线拟合测定极值点波长、并由干涉级次连续性判定干涉级次,解决了白光反射光谱波峰位置难以精... 为了精密检测靶丸壳层折射率参数,基于白光垂直扫描干涉和白光反射光谱的基本原理,建立了二者联用的靶丸壳层折射率测量方法。数据处理利用曲线拟合测定极值点波长、并由干涉级次连续性判定干涉级次,解决了白光反射光谱波峰位置难以精确确定和单极值点判读可能存在干涉级次误差等难题。对玻璃靶丸折射率进行了测量、实验验证和不确定度分析,研究结果表明,白光干涉技术能够实现靶丸壳层折射率的精确测量,其测量不确定度约为0.86%。 展开更多

关键词 薄膜光学 折射率 白光垂直扫描干涉 白光反射光谱 靶丸

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垂直扫描白光干涉测量数据处理算法分析 被引量：1

9

作者 张倩 崔长彩 +2 位作者 周晓林 范伟 傅师伟 《湖北汽车工业学院学报》 2010年第1期42-45,49,共5页

研究了垂直扫描白光干涉测量数据的改进质心处理算法以准确得到被测表面的微观形貌信息。根据垂直扫描白光干涉测量原理分析了质心算法改进前后的对干涉谱的处理能力。实验测量对象是Ra为0.074μm的多刻线标准样板,采用高斯滤波算法分... 研究了垂直扫描白光干涉测量数据的改进质心处理算法以准确得到被测表面的微观形貌信息。根据垂直扫描白光干涉测量原理分析了质心算法改进前后的对干涉谱的处理能力。实验测量对象是Ra为0.074μm的多刻线标准样板,采用高斯滤波算法分离粗糙度信号,对其二、三维参数进行了评定和分析,得Ra为0.0748μm。结果证明,改进质心算法原理正确,计算精度满足测量要求,可有效排除直流信号等因素对质心算法的影响。 展开更多

关键词 垂直扫描白光干涉 质心算法 粗糙度 参数评定

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基于SVMD-HD去噪的白光干涉解调算法 被引量：1

10

作者 邢伦 桑梅 +2 位作者 石珍曼 王双 刘铁根 《应用光学》 CAS 北大核心 2023年第4期816-825,共10页

垂直扫描白光干涉法(VSWLI)是一种非接触式三维表面轮廓测量方法。蝙蝠翼作为VSWLI当中一种固有的缺陷,尤其在被测样品的台阶高度小于光源的相干长度时,台阶边缘处的蝙蝠翼尤为显著。相移干涉法不存在这种缺陷,但是存在相位模糊的问题... 垂直扫描白光干涉法(VSWLI)是一种非接触式三维表面轮廓测量方法。蝙蝠翼作为VSWLI当中一种固有的缺陷,尤其在被测样品的台阶高度小于光源的相干长度时,台阶边缘处的蝙蝠翼尤为显著。相移干涉法不存在这种缺陷,但是存在相位模糊的问题。提出一种将Carré等步长相移算法与快速傅里叶变换(FFT)相干峰值检测技术相结合的白光干涉解调算法。该算法基于逐次变分模态分解(SVMD)与Hausdorff距离(HD)联合去噪。分别以高度为500 nm和1200 nm的连续台阶器件和高度为10μm的标准台阶作为测试样品,进行实验测量验证。所提出的算法能够有效地抑制台阶高度跳变处的蝙蝠翼,克服相位模糊问题。 展开更多

关键词 垂直扫描白光干涉法 相移干涉法 逐次变分模态分解 蝙蝠翼 相位模糊

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三维表面轮廓的白光干涉垂直扫描测量方法的研究 被引量：2

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作者 汪洁 常素萍 谢铁邦 《计量学报》 CSCD 北大核心 2006年第z1期160-163,共4页

基于白光干涉垂直扫描轮廓测量原理,研制出一种以6JA干涉显微镜为基础,配合自带计量衍射光栅测量系统的精密垂直位移工作台,从而实现大范围、高精度三维表面轮廓测量的方法.实验结果表明,采用白光干涉垂直扫描轮廓测量方法,可满足测量... 基于白光干涉垂直扫描轮廓测量原理,研制出一种以6JA干涉显微镜为基础,配合自带计量衍射光栅测量系统的精密垂直位移工作台,从而实现大范围、高精度三维表面轮廓测量的方法.实验结果表明,采用白光干涉垂直扫描轮廓测量方法,可满足测量解析度及精度达到纳米等级的同时,其垂直测量范围可达80μm的三维表面轮廓测量要求. 展开更多

关键词 计量学 表面三维轮廓测量 垂直扫描白光干涉法

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