后退火处理对铟锡氧化物表面等离激元共振特性的影响 被引量：2

1

作者 蒋行 周玉荣 +1 位作者 刘丰珍 周玉琴 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第17期269-275,共7页

近年来,表面等离激元光子学发展迅速,并取得了众多新成果.重掺杂半导体材料的表面等离激元共振性质的研究,也得到了人们越来越多的关注.本文通过纳米球刻印技术制备准三维二氧化硅纳米球阵列,在阵列上沉积铟锡氧化物薄膜,通过不同条件... 近年来,表面等离激元光子学发展迅速,并取得了众多新成果.重掺杂半导体材料的表面等离激元共振性质的研究,也得到了人们越来越多的关注.本文通过纳米球刻印技术制备准三维二氧化硅纳米球阵列,在阵列上沉积铟锡氧化物薄膜,通过不同条件下的后退火处理改变铟锡氧化物薄膜的载流子浓度和载流子迁移率,并研究随着材料性质的改变其相应表面等离激元共振特性的变化规律.结果表明:退火处理均使铟锡氧化物薄膜的晶粒长大,光学透过率增加;在空气中退火会导致铟锡氧化物薄膜的载流子浓度减少,其表面等离激元共振峰红移;而真空退火则使铟锡氧化物薄膜的载流子浓度增加,共振峰蓝移.这些研究结果可为后续铟锡氧化物表面等离激元材料及器件的研究提供科学依据和实际指导. 展开更多

关键词 表面等离激元共振 纳米球阵列 铟锡氧化物 后退火处理

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基于氢等离子体处理改善氢化非晶硅/晶体硅界面钝化效果的工艺研究

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作者 王楠 钟奇 周玉琴 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第10期1912-1919,共8页

薄层a-Si∶H钝化技术对于提高硅异质结太阳能电池的效率至关重要,通常有三类工艺可显著改善a-Si∶H薄膜的钝化效果:晶硅表面湿化学处理(薄膜沉积前);氢等离子体处理(薄膜沉积过程中);后退火处理(薄膜沉积后)。该论文基于等离子增强型化... 薄层a-Si∶H钝化技术对于提高硅异质结太阳能电池的效率至关重要,通常有三类工艺可显著改善a-Si∶H薄膜的钝化效果:晶硅表面湿化学处理(薄膜沉积前);氢等离子体处理(薄膜沉积过程中);后退火处理(薄膜沉积后)。该论文基于等离子增强型化学气相沉积系统,采用氢等离子处理和后退火处理改善a-Si∶H/c-Si界面的钝化效果,样品的有效少数载流子寿命最高达到1 ms,并研究了射频功率密度、腔体压力、氢气流量等工艺参数对钝化效果的影响;采用光发射谱、台阶仪等对氢等离子体处理所涉及的物理过程进行研究,得出该工艺对a-Si∶H薄膜具有刻蚀作用;根据钝化效果和刻蚀速率的关系,得出低刻蚀速率由于给予薄膜充足的时间进行结构弛豫或重构,显著改善钝化效果;基于快速热退火方法进一步改善钝化效果,采用傅里叶变换红外光谱对a-Si∶H薄膜的钝化机理进行研究,并基于化学退火模型进行讨论;采用透射电镜研究了a-Si∶H/c-Si界面的微结构,并没有观测到影响钝化效果的外延生长。 展开更多

关键词 氢等离子体处理 氢化非晶硅/晶体硅界面钝化 后退火处理 钝化机理

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基于沉积温度优化和后退火工艺改善a-Si∶H/c-Si界面钝化质量的研究

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作者 王楠 梁芮 周玉琴 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第7期1287-1292,1313,共7页

a-Si∶H薄膜作为钝化层,在提高硅异质结太阳能电池效率方面发挥关键作用,工业化生产中通常采用PECVD法制备制备a-Si∶H薄膜。在本文中,首先对关键工艺参数如沉积温度进行了优化,并在160℃下获得了最佳的钝化效果。接着,通过傅里叶变换... a-Si∶H薄膜作为钝化层,在提高硅异质结太阳能电池效率方面发挥关键作用,工业化生产中通常采用PECVD法制备制备a-Si∶H薄膜。在本文中,首先对关键工艺参数如沉积温度进行了优化,并在160℃下获得了最佳的钝化效果。接着,通过傅里叶变换红外光谱法对a-Si∶H薄膜的微结构进行表征,以探索其钝化机理:低温下制备的a-Si∶H薄膜氢浓度高并有微空洞,从而影响钝化效果;高温下制备的a-Si∶H薄膜消除了微空洞而明显改善钝化质量。但是,过高的沉积温度又会导致a-Si∶H薄膜中微空位的产生从而影响钝化效果。此外,对比了两种典型后退火工艺对钝化效果的影响:一种是基于200℃退火10min,一种是基于450℃退火30s,并对相关钝化机理进行了研究。结果表明,第二种退火方式明显改善样品的钝化效果,主要原因是该退火消除了低温沉积样品中的微空洞和高温沉积样品中的微空位。最后,通过透射电镜研究了退火后的a-Si∶H/c-Si界面微结构,并未观察到影响钝化效果的外延生长。 展开更多

关键词 氢化非晶硅 a-Si∶H/c-Si界面钝化 后退火处理 钝化机理

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退火处理Bi-2223/Ag超导带材

4

作者 李明亚 韩征和 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A01期288-291,共4页

将经常规热处理制备而成的Bi-2223/Ag超导带材在某一温度区间再进行后退火处理,以改善带材中的Bi-2223晶粒之间的连接状况,提高带材的超导性能。然后用四引线法测量样品的临界电流及其在磁场中的角度依赖性,用XRD和SEM分析样品的微观结... 将经常规热处理制备而成的Bi-2223/Ag超导带材在某一温度区间再进行后退火处理,以改善带材中的Bi-2223晶粒之间的连接状况,提高带材的超导性能。然后用四引线法测量样品的临界电流及其在磁场中的角度依赖性,用XRD和SEM分析样品的微观结构。实验结果表明,后退火处理提高了Bi-2223/Ag超导带材的临界电流,改善了带材在磁场中的性能。 展开更多

关键词 BI-2223/AG超导带材 后退火处理 临界电流

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基于后退火处理及高性能前驱粉体对BaFe_(12)O_(19)厚膜形貌和磁性能的改善(英文)

5

作者 何琪 谢建良 +1 位作者 梁迪飞 邓龙江 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第S2期441-444,共4页

通过化学共沉淀法制备了钡铁氧体(BaFe12O19)粉末。利用这些粉末通过丝网印刷制备了钡铁氧体厚膜。厚膜的剩磁比在烧结前经过磁场处理后有较大的提高。XRD测试表明,钡铁氧体晶粒具有择优取向,其c轴沿着膜的法线方向进行排列。通过对厚... 通过化学共沉淀法制备了钡铁氧体(BaFe12O19)粉末。利用这些粉末通过丝网印刷制备了钡铁氧体厚膜。厚膜的剩磁比在烧结前经过磁场处理后有较大的提高。XRD测试表明,钡铁氧体晶粒具有择优取向,其c轴沿着膜的法线方向进行排列。通过对厚膜进行后退火处理,厚膜的微观形貌有所改善。厚膜表面的气孔数量有所降低,并且剩磁比有所提高。这可以由厚膜的晶粒在后退火处理下均匀长大,完善结晶并降低气孔率来解释。 展开更多

关键词 BaFe12O19厚膜 后退火处理 微观形貌 剩磁比

原文传递

氢气气氛中后续退火处理对ZnO:Al薄膜光电性能的影响

6

作者 甘柳忠 吴炳俊 +2 位作者 黄烽 李明 谢斌 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第7期699-705,共7页

利用自由基辅助磁控溅射法在载玻片衬底上制备了透明导电ZnO:Al薄膜(简称AZO薄膜).研究了氢气气氛中后续退火处理对Al掺杂效率以及AZO薄膜性能的影响.研究结果表明,退火处理提高Al的掺杂效率、降低中性杂质浓度,从而提高了AZO薄膜的导... 利用自由基辅助磁控溅射法在载玻片衬底上制备了透明导电ZnO:Al薄膜(简称AZO薄膜).研究了氢气气氛中后续退火处理对Al掺杂效率以及AZO薄膜性能的影响.研究结果表明,退火处理提高Al的掺杂效率、降低中性杂质浓度,从而提高了AZO薄膜的导电性能.AZO薄膜550℃下在H2气氛中退火处理后,其电阻率为6.5×10-4Ω·cm,550nm波长的透射率为85.7%,载流子浓度为3.3×1020cm-3,迁移率为29.7cm2·V-1·s-1. 展开更多

关键词 AZO薄膜 自由基辅助磁控溅射 中性杂质散射 掺杂效率 后退火处理

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磁控溅射法制备NiZnCo铁氧体磁性薄膜的后退火处理研究

7

作者 徐小玉 《真空》 CAS 2013年第1期28-30,共3页

研究了后退火处理对磁控溅射法制备NiZnCo铁氧体磁性薄膜的成分、组织及性能影响。用EPMA、XRD和AFM分别表征后退火处理前后薄膜的成分、物相和微观结构,用VSM测试后退火处理前后的薄膜磁性能。结果表明经后退火处理后,薄膜中氧含量增加... 研究了后退火处理对磁控溅射法制备NiZnCo铁氧体磁性薄膜的成分、组织及性能影响。用EPMA、XRD和AFM分别表征后退火处理前后薄膜的成分、物相和微观结构,用VSM测试后退火处理前后的薄膜磁性能。结果表明经后退火处理后,薄膜中氧含量增加,结构更为稳定,薄膜由非晶态彻底转变为晶态;晶粒尺寸细小,排列均匀致密;磁滞回线更为狭长,饱和磁化强度明显增大。 展开更多

关键词 后退火处理 磁性铁氧体薄膜 晶态转变

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薄膜光学 制膜技术与装置

8

《中国光学与应用光学》 2007年第4期64-66,共3页

关键词 薄膜光学 制膜技术 减反膜 导电薄膜 规整膜系 后退火处理 多层膜 光学薄膜 表面形貌 装置

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大厚度TC4钛合金铸件钨极惰性气体保护焊的最优工艺确定及其接头力学性能 被引量：2

9

作者 朱丽 胡雅楠 +4 位作者 吴圣川 李飞 虞文军 林波 李光俊 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期58-63,共6页

选用连续施焊、焊层冷至室温后再焊接下一层、焊道冷至室温后再焊接下一道3种层间温度控制方案和730,600℃2种焊后退火温度,通过显微组织、拉伸性能和疲劳性能确定了大厚度TC4钛合金铸造板钨极惰性气体保护焊(GTAW)的最优工艺,并研究了... 选用连续施焊、焊层冷至室温后再焊接下一层、焊道冷至室温后再焊接下一道3种层间温度控制方案和730,600℃2种焊后退火温度,通过显微组织、拉伸性能和疲劳性能确定了大厚度TC4钛合金铸造板钨极惰性气体保护焊(GTAW)的最优工艺,并研究了最优工艺下焊接接头的力学性能。结果表明:焊层冷至室温后再焊接下一层得到的焊接接头焊缝组织最为细小,疲劳寿命最高,在730℃下退火后的焊接接头拉伸性能更好,故确定为最优工艺;最优工艺下,GTAW接头的焊缝硬度略高于母材,属于高匹配接头,在拉伸和疲劳过程中接头均在母材处发生断裂,但焊缝的抗疲劳开裂能力低于母材。 展开更多

关键词 钛合金铸件 钨极惰性气体保护焊 层间温度 焊后退火处理 疲劳

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退火处理冷拉珠光体钢丝耐磨性研究 被引量：2

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作者 刘文刚 许云华 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2009年第2期25-28,共4页

对冷拉0.7%碳钢丝进行退火处理,用场发射扫描电子显微镜观察分析了退火处理冷拉0.7%碳钢的组织形貌,用材料拉力试验机和显微硬度计测试钢丝的抗拉强度和显微硬度,并采用ML-10型干式销盘磨损试验机观察退火冷拉钢丝在不同磨料磨损工况下... 对冷拉0.7%碳钢丝进行退火处理,用场发射扫描电子显微镜观察分析了退火处理冷拉0.7%碳钢的组织形貌,用材料拉力试验机和显微硬度计测试钢丝的抗拉强度和显微硬度,并采用ML-10型干式销盘磨损试验机观察退火冷拉钢丝在不同磨料磨损工况下的磨损特性,利用扫描电子显微镜观察分析磨损表面形貌。结果表明,以氧化铝和石英为磨料工况下,退火处理冷拉钢丝的耐磨性有少量提高;以玻璃为磨料工况下,退火处理冷拉钢丝的耐磨性大幅提高。以氧化铝和石英为磨料磨损工况下,其磨损机理以微观切削和犁沟为主;以玻璃为磨料磨损工况下,沟槽形貌消失,磨损机理发生改变。 展开更多

关键词 冷拉后退火处理 0.7%碳钢 磨料磨损 磨损机理

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大型卧式罐热处理

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作者 常征 《沈阳工业大学学报》 CAS 2000年第3期200-202,共3页

介绍了一种大型卧式罐的退火热处理的方法，通过对应用材料、控制设备、测量设备和卧式 罐热处理前各部分设备安装的描述，以及在各个阶段的操作和注意事项的介绍，详细地说明了一 个已经实施的大型卧式罐退火处理的全部过程。

关键词 卧式罐 电阻加热器 焊后退火处理 残余应力

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Cr12MoV钢模具的热处理 被引量：7

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作者 任晓峰 包文红 《机械研究与应用》 2011年第3期91-92,共2页

阐述了Cr12MoV钢在制造模具过程中热处理的重要性,通过对Cr12MoV钢的锻造、锻造后的热处理及热处理前的预处理、最终热处理等方面介绍了Cr12MoV钢在制造模具时在热处理方面应注意的问题和经验,以保证Cr12MoV钢制造的模具,特别是容易变... 阐述了Cr12MoV钢在制造模具过程中热处理的重要性,通过对Cr12MoV钢的锻造、锻造后的热处理及热处理前的预处理、最终热处理等方面介绍了Cr12MoV钢在制造模具时在热处理方面应注意的问题和经验,以保证Cr12MoV钢制造的模具,特别是容易变形、要求精度较高的模具热处理后能够满足模具图纸及技术需求。 展开更多

关键词 CR12MOV钢 锻造 锻造后的退火处理 预处理 淬火 分段加热

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20MnMoNb+304爆炸复合管板穿透裂纹的焊接修复

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作者 周勇 陈中均 《电焊机》 2006年第11期62-64,共3页

基层为20MnMoNb、复层为进口304钢板的不锈钢复合板,其爆炸后基层出现了严重开裂,但复层未裂的问题。通过分析该复合管板的化学成分和机械性能,并进行了非标准的最高硬度试验、金相分析和模拟试焊,采用890℃×4h焊前空冷热处理、焊... 基层为20MnMoNb、复层为进口304钢板的不锈钢复合板,其爆炸后基层出现了严重开裂,但复层未裂的问题。通过分析该复合管板的化学成分和机械性能,并进行了非标准的最高硬度试验、金相分析和模拟试焊,采用890℃×4h焊前空冷热处理、焊后250℃×2h消氢热处理以及最终620℃×4h退火热处理措施,可有效防止裂纹产生。经超声波100%检查修补焊缝,未发现任何线性缺陷,质量合格。 展开更多

关键词 不锈钢复合板 消氢 焊前预热处理 焊后退火热处理

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