-
题名压电式微传声器的设计与测量方法的匹配
- 1
-
-
作者
于留波
赵湛
丁国杰
轩运动
-
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院研究生院
-
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2010年第9期560-563,586,共5页
-
文摘
针对压电式微传声器的两种测量方法,研究了提高微传声器灵敏度的方法。对于电荷测量法,前置放大电路应采用并联负反馈的方式;对于电压测量法,前置放大电路应采用串联负反馈的方式;并且选用高输入阻抗的放大器作为前置放大器。根据理论推导不同材料在不同测量方法下的灵敏度,发现在电荷测量法下用PZT制备的微传声器与在电压测量法下用ZnO制备的微传声器的灵敏度都比较高。用ANSYS软件对四边固支ZnO压电式微传声器进行静力分析,发现薄膜上最大电压为7.89mV,最小电压为-5.55mV。根据薄膜上的应力分布,针对两种测量方法,优化设计了两种不同的新型微传声器结构。
-
关键词
匹配
前置放大
压电系数矩阵
电压强度分布
压电耦合分析
-
Keywords
matching
preamplifier
piezoelectric coefficient matrix
voltage intensity distribution
piezoelectric coupling analysis
-
分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH703
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
-
