φ1.8mm棒状压电陶瓷微马达的研究 被引量：21

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作者 褚祥诚 阎立 +1 位作者 董蜀湘 李龙土 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2001年第2期103-105,共3页

提出一种低成本、结构简单 ,直径为 1.8mm的摆头式棒状压电微马达。阐述了压电微马达的驱动机理、部分制作工艺及工作特性。该压电微马达的换能激振部分采用外形尺寸 1.8mm× 8mm的压电陶瓷圆棒 ,马达整体装配外形尺寸 1.8mm... 提出一种低成本、结构简单 ,直径为 1.8mm的摆头式棒状压电微马达。阐述了压电微马达的驱动机理、部分制作工艺及工作特性。该压电微马达的换能激振部分采用外形尺寸 1.8mm× 8mm的压电陶瓷圆棒 ,马达整体装配外形尺寸 1.8mm× 12 mm ,质量不足 0 .2 5 g,稳定工作频带宽 ,约为 3k Hz,最高空载转速不低于5 0 0 r/ min。 展开更多

关键词 压电微马达 微驱动器 压电陶瓷

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压电微马达研究进展 被引量：5

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作者 阎立 褚祥诚 +1 位作者 董蜀湘 李龙土 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第2期116-121,共6页

利用网络和图书馆对国际上 1996年至今的压电微马达研究进展进行了调研。分别介绍了压电薄膜、陶瓷的行波、驻波类微马达的最新研究情况 ,同时也对一种具有与压电微马达特性相同的静电超声微马达的研究作了说明 。

关键词 压电微马达 压电薄膜 静电超声微马达

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非接触压电微马达的仿真与实验研究 被引量：3

3

作者 杨斌 刘景全 +2 位作者 陈迪 周广华 蔡炳初 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期165-170,共6页

提出了一种基于四区和八区2种激振方式的新型非接触压电微马达,并进行了振动模态的有限元数值模拟。利用ANSYS有限元软件对定子进行模态分析,并用激光测振仪对四区和八区2 种激振方式下的定子进行位移扫频和振型测试,得出:最优驱动频率... 提出了一种基于四区和八区2种激振方式的新型非接触压电微马达,并进行了振动模态的有限元数值模拟。利用ANSYS有限元软件对定子进行模态分析,并用激光测振仪对四区和八区2 种激振方式下的定子进行位移扫频和振型测试,得出:最优驱动频率分别为34.4 kHz和46.3 kHz,相应的模态分别为B21和B22,二者结果吻合较好。对微马达的输出性能进行了实验研究,结果表明:三叶片和六叶片转子在八区最优模态激振下转子的转速约是四区的2倍。说明了增加定子的分区数不仅改变了定子的最优驱动频率而且能够明显提高转子的转速。而且当A B间相位差从90°调谐到270°时,行波的传播方向发生了改变,从而实现了转子的换向。实验还表明,转子的正反转的转速基本一致。 展开更多

关键词 振动模态 非接触 压电微马达 有限元模拟

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基于SU-8胶转子的非接触压电微马达 被引量：3

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作者 杨斌 刘景全 +3 位作者 周广华 陈迪 张金娅 蔡炳初 《微细加工技术》 2005年第1期63-66,共4页

研制了一种非接触压电微马达,通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试,确定其共振频率,并且详细介绍了SU 8胶转子制作的工艺流程。利用转速仪比较不同形状和尺寸的转子在调频和调压下的转速,从而确立压电微马达的最优转子。转子半径为6mm,叶... 研制了一种非接触压电微马达,通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试,确定其共振频率,并且详细介绍了SU 8胶转子制作的工艺流程。利用转速仪比较不同形状和尺寸的转子在调频和调压下的转速,从而确立压电微马达的最优转子。转子半径为6mm,叶片宽度为6mm的三叶片转子转速最高为3569r/min。转子的启动电压和最高电压分别为8V和24V。 展开更多

关键词 SU-8胶转子 非接触 压电微马达

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压电微马达的动力学仿真及实验研究

5

作者 崔天宏 王立鼎 吕琼莹 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第4期34-39,共6页

本文在压电微马达动力学基本原理的基础上，运用Ｃ语言编写了其动力学仿真程序，进行了压电微马达的动力学模拟。其次，本文提出了压电微马达的动力学测量原理，对压电微马达样机进行了动力学模型实验，从而验证了压电微马达动力学原理... 本文在压电微马达动力学基本原理的基础上，运用Ｃ语言编写了其动力学仿真程序，进行了压电微马达的动力学模拟。其次，本文提出了压电微马达的动力学测量原理，对压电微马达样机进行了动力学模型实验，从而验证了压电微马达动力学原理及其仿真结论的正确性。 展开更多

关键词 微型机械 压电微马达 动力学 仿真 模型实验

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MEMS器件中的铁电材料

6

作者 郭冬云 王耘波 +1 位作者 付承菊 于军 《微纳电子技术》 CAS 2004年第3期25-28,共4页

铁电材料在微电子技术、光电子技术和集成光学等多个领域中具有极为重要的应用价值。本文简要介绍了铁电材料及其在MEMS器件方面的应用情况。

关键词 MEMS 铁电材料 微电子机械系统 应用 压电微马达 微型传感器

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压电微马达有限元分析及实验研究 被引量：1

7

作者 崔天宏 吴清文 +1 位作者 王立鼎 吕琼莹 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1995年第6期40-43,共4页

压电微马达是微型机械领域中的一个崭新课题，本文从动力学角度对压电微马达进行有限元分析，得出固有频率和定子表面切应力场等重要结论，并通过模型样机实验研究验证有限元分析结论的正确性，从而为压电微马达的优化设计奠定了基础。

关键词 微型机械 压电微马达 有限元分析 微电机

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一种新型压电微马达的致动机理分析

8

作者 金昊炫 应济 刘文耀 《工程设计学报》 CSCD 2001年第4期161-164,共4页

研制高性能、微体积的微型马达将极大地促进微机械电子系统的发展 .给出了一种结构简单、易于微型化的压电致动马达 .利用振动学理论 ,建立了其振动模型 ,并在此基础上进行了运动和动力特性分析 .

关键词 压电微马达 压电致动 动力特性 运动特性 致动机理 定子振动模型

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激光器结构与设计

9

《中国光学》 EI CAS 1999年第1期26-28,共3页

TN242 99010159压电微马达控制的激光谐振腔调节器=A regulatorfor laser resonator controlled by piezoelectricmicromotor[刊,中]/董蜀湘,霍玉晶,王树昕,邱海波(清华大学.北京(100084))//大连理工大学学报.—1997,37(增2).

关键词 压电微马达 激光谐振腔 激光器 强激光 光栅对脉冲整形器 色散棱镜 大连理工大学 调节器 粒子束 设计

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微电子机械系统中的压电薄膜微马达

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作者 崔天宏 王立鼎 +2 位作者 吕琼莹 马建旭 梁静秋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1995年第4期1-6,共6页

本文提出了压电薄膜微马达的工作原理，介绍了该马达的优良性能、结构形式和加工工艺，最后指出了该马达研制的关键技术以及应用前景。

关键词 压电薄膜微马达 IC工艺 微电子机械系统 电动机

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Φ2mm棒状压电陶瓷微马达的研究

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作者 阎立 褚祥诚 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第Z10期178-179,共2页

研制了一种成本低廉、结构简单的直径Φ２ｍｍ的摆头式棒状压电微马达。文中详细阐述了微马达的驱动机理、制作工艺及部分压电微马达的工作特性。该压电微马达的换能激振部分采用外形尺寸Φ２ｍｍ×８ｍｍ的压电陶瓷圆棒，马达整体... 研制了一种成本低廉、结构简单的直径Φ２ｍｍ的摆头式棒状压电微马达。文中详细阐述了微马达的驱动机理、制作工艺及部分压电微马达的工作特性。该压电微马达的换能激振部分采用外形尺寸Φ２ｍｍ×８ｍｍ的压电陶瓷圆棒，马达整体装配外形尺寸Φ２ｍｍ×１２ｍｍ，重量不足０．２５ｇ，稳定工作频带宽，约为３ｋＨｚ，最高空载转速不低于５００ｒ／ｍｉｎ。 展开更多

关键词 微驱动器 压电陶瓷 压电超声微马达 微电机

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