期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
CVD金刚石薄膜在微机电系统(MEMS)中的应用 被引量：4
1
作者 郭江 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期349-351,共3页
　金刚石薄膜由于其独特的物理、化学和电学等特性,使其作为在极具发展潜力的MEMS中一种理想的材料,越来越得到人们的重视。此外近来各种金刚石薄膜的合成和加工方法已不断发展,使金刚石薄膜MEMS已逐步从原理的证明转向了实际的应用。... 　金刚石薄膜由于其独特的物理、化学和电学等特性,使其作为在极具发展潜力的MEMS中一种理想的材料,越来越得到人们的重视。此外近来各种金刚石薄膜的合成和加工方法已不断发展,使金刚石薄膜MEMS已逐步从原理的证明转向了实际的应用。本文简述了金刚石膜在MEMS中应用的技术基础及其在MEMS中应用的最新进展,着重介绍了金刚石喷嘴在生物芯片中的应用;半导体金刚石探针(既可用作隧道扫描显微镜探针又可作为一种抛光表面的微型工具);世界上最微型的金刚石外科手术刀及微型电夹。 展开更多
关键词 微机电系统 金刚石薄膜 CVD 生物芯片 半导体金刚石探针 金刚石外科手术刀 微型电夹
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部