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膜去溶进样高分辨电感耦合等离子体质谱法测定半导体级氢氟酸中杂质元素
被引量：
4
1
作者
陈黎明
《中国无机分析化学》
CAS
2012年第2期61-64,共4页
利用高分辨电感耦合等离子体质谱法测定半导体级高纯氢氟酸中的痕量金属杂质,用膜去溶进样系统直接进样检测,无需前处理、快速,避免了在样品前处理时的污染问题。高分辨电感耦合等离子体质谱法可以消除多分子离子干扰,降低检出限,提高...
利用高分辨电感耦合等离子体质谱法测定半导体级高纯氢氟酸中的痕量金属杂质,用膜去溶进样系统直接进样检测,无需前处理、快速,避免了在样品前处理时的污染问题。高分辨电感耦合等离子体质谱法可以消除多分子离子干扰,降低检出限,提高定量准确性。方法的检出限为0.09～37.07ng/L,加标回收率为92.3%～116.8%。方法简单,结果可靠,适用于高纯氢氟酸中痕量元素的快速测定。
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关键词
膜去溶
半导体
级
氢氟酸
高分辨电感耦合等离子体质谱
杂质元素
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职称材料
题名
膜去溶进样高分辨电感耦合等离子体质谱法测定半导体级氢氟酸中杂质元素
被引量：
4
1
作者
陈黎明
机构
上海市计量测试技术研究院
出处
《中国无机分析化学》
CAS
2012年第2期61-64,共4页
基金
国家科技部资助项目(2009IM032300)
文摘
利用高分辨电感耦合等离子体质谱法测定半导体级高纯氢氟酸中的痕量金属杂质,用膜去溶进样系统直接进样检测,无需前处理、快速,避免了在样品前处理时的污染问题。高分辨电感耦合等离子体质谱法可以消除多分子离子干扰,降低检出限,提高定量准确性。方法的检出限为0.09～37.07ng/L,加标回收率为92.3%～116.8%。方法简单,结果可靠,适用于高纯氢氟酸中痕量元素的快速测定。
关键词
膜去溶
半导体
级
氢氟酸
高分辨电感耦合等离子体质谱
杂质元素
Keywords
membrane desolvation semiconductor-grade hydrofluoric acid high-resolution inductively cou-pled plasma mass spectrometry （HR-ICP-MS） ~impurity element
分类号
O657.63 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
膜去溶进样高分辨电感耦合等离子体质谱法测定半导体级氢氟酸中杂质元素
陈黎明
《中国无机分析化学》
CAS
2012
4
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