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电子制造装备领域及其行业竞争者专利分析
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作者 陈欣 高香珍 +1 位作者 薛敬伟 田培 《科技创新导报》 2021年第19期55-58,62,共5页
作为全球集成电路消费市场最大的国家,我国对集成电路配套装备的需求很大,而且随着我国集成电路设备领域科技的发展、技术的进步,进口设备部分必将成为国产化设备的巨大市场空间。本文针对以光刻机、化学机械研磨设备、离子注入机及湿... 作为全球集成电路消费市场最大的国家,我国对集成电路配套装备的需求很大,而且随着我国集成电路设备领域科技的发展、技术的进步,进口设备部分必将成为国产化设备的巨大市场空间。本文针对以光刻机、化学机械研磨设备、离子注入机及湿法设备为代表的电子制造装备,依托Incopat专利数据库开展分析,包括电子制造装备领域专利态势、行业主要竞争者分析,提出关于我国电子制造装备领域的未来发展方向的建议。 展开更多
关键词 电子制造装备 光刻机 化学机械研磨设备 离子注入机 专利分析 竞争者分析
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