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针孔缺陷对集成电路功能成品率影响分析与仿真 被引量:4
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作者 马佩军 郝跃 刘红侠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期102-106,共5页
对集成电路针孔缺陷引起功能成品率下降的模型进行了研究 ,给出了分析和仿真针孔功能成品率的两种计算方法—— Monte- Carlo方法和关键面积提取方法 。
关键词 集成电路 仿真 针孔缺陷 功能成品率
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VLSI成品率预测与仿真 被引量:6
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作者 郝跃 林锐 马佩军 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期55-58,共4页
本文建立IC光刻工艺相关缺陷计算模型和基于MonteCarlo统计成品率计算模型.阐述了集成电路功能成品率仿真系统XDYES实现,讨论了应用XDYES实现功能成品率设计,并给出该系统实用性验证.研究分析表明,其结... 本文建立IC光刻工艺相关缺陷计算模型和基于MonteCarlo统计成品率计算模型.阐述了集成电路功能成品率仿真系统XDYES实现,讨论了应用XDYES实现功能成品率设计,并给出该系统实用性验证.研究分析表明,其结果与实际结果符合很好. 展开更多
关键词 功能成品率 预测 仿真 VLSI
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集成电路局部缺陷模型及其相关的功能成品率分析 被引量:4
3
作者 赵天绪 郝跃 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期138-142,共5页
大规模集成电路 (VLSI)使亚微米特征尺寸的大面积集成电路制造以及集成数百万个器件在一芯片上成为可能。然而 ,缺陷的存在致使电路版图的拓扑结构发生变化 ,产生 IC电路连接错误 ,导致电路丧失功能 ,从而影响 IC的成品率 ,特别是功能... 大规模集成电路 (VLSI)使亚微米特征尺寸的大面积集成电路制造以及集成数百万个器件在一芯片上成为可能。然而 ,缺陷的存在致使电路版图的拓扑结构发生变化 ,产生 IC电路连接错误 ,导致电路丧失功能 ,从而影响 IC的成品率 ,特别是功能成品率。文章主要对缺陷的轮廓模型、空间分布模型和粒径分布模型作了介绍 ;对集成电路成品率的损失机理作了详细论述。最后 。 展开更多
关键词 集成电路 功能成品率 缺陷模型 VLSI
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集成电路功能成品率的研究 被引量:1
4
作者 赵天绪 何广平 +1 位作者 姜晓鸿 郝跃 《宝鸡文理学院学报(自然科学版)》 CAS 1999年第3期39-42,共4页
集成电路功能成品率的研究是集成电路可制造性工程和设计中的重要内容。本文主要对导致成品率下降的缺陷的轮廓模型和集成电路的功能成品率的研究作了简单介绍。
关键词 集成电路 成品率 缺陷 轮廓模型 功能成品率
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XD-YES:IC功能成品率模拟器的实现 被引量:1
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作者 郝跃 朱春翔 张卫东 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1996年第4期365-371,共7页
首先建立缺陷空间分布和粒径分布的模型,并讨论了缺陷通过版图产生电路错误的过程,给出了IC功能成品率模拟器XD-YES的实现。用XD-YES对微电子测试图和实际IC的功能成品率模拟和分析表明,其结果与实际符合很好,从而... 首先建立缺陷空间分布和粒径分布的模型,并讨论了缺陷通过版图产生电路错误的过程,给出了IC功能成品率模拟器XD-YES的实现。用XD-YES对微电子测试图和实际IC的功能成品率模拟和分析表明,其结果与实际符合很好,从而表明XD-YES的可行性和实用性。 展开更多
关键词 功能成品率 缺陷分布 集成电路
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微电子学、集成电路
6
《中国无线电电子学文摘》 1997年第4期51-54,共4页
关键词 集成电路 模拟器 智能卡技术 微电子学 缺陷空间分布 功能成品率 微电子测试 C功能 西安电子科技大学 固体电子学
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半导体技术
7
《中国无线电电子学文摘》 1997年第5期41-50,共10页
关键词 半导体技术 半导体产业 动力学模型 可制造性设计 功能成品率 发展趋势 深能级 华中理工大学 半导体硅 固体电子学
原文传递
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