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微型圆光栅刻划偏心量的控制
1
作者
喻洪麟
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1998年第6期573-576,共4页
对微型圆光栅刻划偏心误差问题进行了讨论提出了微型圆光栅刻划时偏心调试误差的公差范围
关键词
光栅
微型圆光栅
偏心
量
控制
刻划
偏心
量
下载PDF
职称材料
题名
微型圆光栅刻划偏心量的控制
1
作者
喻洪麟
机构
重庆大学光电精密机械研究所机械传动国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1998年第6期573-576,共4页
基金
国家自然科学基金
863计划基金
文摘
对微型圆光栅刻划偏心误差问题进行了讨论提出了微型圆光栅刻划时偏心调试误差的公差范围
关键词
光栅
微型圆光栅
偏心
量
控制
刻划
偏心
量
Keywords
Ring moire fringe
Micro radial grating
Eccentric error analysis
分类号
TH741.606 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微型圆光栅刻划偏心量的控制
喻洪麟
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1998
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职称材料
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