摘要
对微型圆光栅刻划偏心误差问题进行了讨论提出了微型圆光栅刻划时偏心调试误差的公差范围
The division eccentric error of micro radial grating is analyged in this paper.And the tolerance zone of division eccentric debugging error is also given.
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1998年第6期573-576,共4页
Acta Photonica Sinica
基金
国家自然科学基金
863计划基金
关键词
光栅
微型圆光栅
偏心量控制
刻划偏心量
Ring moire fringe
Micro radial grating
Eccentric error analysis
