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基于FPGA的光栅尺信号智能接口模块 被引量：23
1
作者 但永平 杨雷 《国外电子元器件》 2004年第12期4-6,共3页
介绍了一种基于ALTERA公司大规模可编程逻辑器件EPF10K10的多功能光栅尺处理电路。叙述了该电路的主要电路———四倍频细分、辨向电路、计数电路、接口处理电路的设计原理 ,同时给出了详细的电路和仿真波形。
关键词 光栅尺 四倍频细分 辨向 EDA FPGA EPF10K10
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基于DSP的直线电机位置检测与控制技术 被引量：20
2
作者 艾武 程立 +2 位作者 杜志强 陈幼平 周祖德 《机械与电子》 2004年第2期29-32,共4页
作为直线电机伺服控制系统的一个环节,位置检测是直线电机伺服控制的关键技术之一。在分析光栅信号检测及其输出信号的基础上,解决了使用DSP对光栅信号进行接收和处理的问题,提出了对其采样时的周期选择方法,同时,在PID算法的基础上制... 作为直线电机伺服控制系统的一个环节,位置检测是直线电机伺服控制的关键技术之一。在分析光栅信号检测及其输出信号的基础上,解决了使用DSP对光栅信号进行接收和处理的问题,提出了对其采样时的周期选择方法,同时,在PID算法的基础上制定了电机的控制方案,用以实现直线电机的高响应。 展开更多
关键词 数字信号处理器 正交编码脉冲 直线电机 光栅尺
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高精度绝对式光栅尺研究进展及技术难点 被引量：20
3
作者 孙强 《世界制造技术与装备市场》 2012年第5期72-73,共2页
在现代机加行业中，大多采用光栅传感器来进行位置反馈装置。由于光栅尺能够对系统实行全闭环控制，降低滚珠丝杠热变形等原因引起的误差，提高加工精度，所以目前中高档数控系统越来越多地采用光栅尺作为线位移反馈元件。
关键词 光栅尺 绝对式 高精度 技术 数控系统 光栅传感器 全闭环控制 反馈装置
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基于CPLD的光栅尺位移测量系统 被引量：11
4
作者 凌睿 高富强 《自动化与仪器仪表》 2005年第1期40-42,共3页
介绍了光栅尺位移传感器的原理和利用CPLD设计该传感器的测量控制电路的方法,并且介绍了这种设计方法在三维光栅尺位移测量系统中的应用和相关VHDL程序。
关键词 位移测量系统 光栅尺 CPLD设计 VHDL 位移传感器 三维 程序 设计方法 电路
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数据采集系统中光栅尺信号处理方法的研究 被引量：11
5
作者 张百海 柴森春 +2 位作者 贾媛媛 江泽民 彭光正 《机床与液压》 北大核心 2003年第2期118-119,共2页
本文详细分析了数据采集卡对光栅尺信号的采集处理的全过程,并给出提高其精度的四种不同的鉴相倍频方法。
关键词 数据采集系统 光栅尺 信号处理 鉴相 倍频
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机床定位控制中的智能光栅测控系统 被引量：12
6
作者 阎洁 张琦 +1 位作者 唐建中 史维祥 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期618-620,共3页
介绍了采用主从机控制方式，以光栅尺为检测元件，步进电机为驱动部件的智能光栅测控系统。该系统用于机床定位控制，通过其简单合理的硬件配置和软件设计，使系统分辨率为１μｍ，定位精度为１２．５６μｍ，重复定位精度为９．０９９... 介绍了采用主从机控制方式，以光栅尺为检测元件，步进电机为驱动部件的智能光栅测控系统。该系统用于机床定位控制，通过其简单合理的硬件配置和软件设计，使系统分辨率为１μｍ，定位精度为１２．５６μｍ，重复定位精度为９．０９９μｍ，结果令人满意。 展开更多
关键词 智能 光栅尺 测控系统 定位控制 机床
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基于AT89S51的数控机床光栅尺位移测量系统 被引量：9
7
作者 绳红强 汪世益 《机电工程技术》 2006年第6期47-50,共4页
介绍了应用AT89S51单片机开发设计光栅尺位移测量系统的电路思路及软件设计方法。应用光栅位移传感器和辨向电路的设计原理,开发设计了一套在线测量位移装置,该装置测量精度可达到±0.01mm,实现了在机床加工过程中实时检测工件尺寸。
关键词 单片机 光栅尺 辨向电路 位移测量
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超精密光栅尺位移测量系统 被引量：14
8
作者 党宝生 熊显名 +1 位作者 王献英 张文涛 《激光杂志》 北大核心 2018年第9期42-46,共5页
针对光刻机运动台位移测量需求,研究了利用二次衍射光干涉的对称式光栅尺位移测量系统。基于多普勒效应分析了光栅尺的位移测量原理,推导了光栅尺位移测量模型。设计了基于商用双频激光干涉仪的测量对比实验平台,开展了光栅尺位移测量... 针对光刻机运动台位移测量需求,研究了利用二次衍射光干涉的对称式光栅尺位移测量系统。基于多普勒效应分析了光栅尺的位移测量原理,推导了光栅尺位移测量模型。设计了基于商用双频激光干涉仪的测量对比实验平台,开展了光栅尺位移测量系统原理验证实验、测量一致性实验和测量稳定性实验。实验结果分别表明：光栅尺位移测量系统原理正确;光栅尺和激光干涉仪位移测量系统间测量结果的差值小于16.67nm的置信度为0.95,具有良好测量一致性;光栅尺位移测量系统具有较好的抗干扰能力,鲁棒性强,能够满足光刻机运动台位移测量需求。 展开更多
关键词 光刻机 位移测量 光栅尺 测量一致性
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一种提高光栅尺测量精度的有效方法 被引量：7
9
作者 张勇 王选择 郭桂珍 《湖北工学院学报》 2002年第4期99-101,110,共4页
提出了采用多零位信号自动消除大量程光栅尺计数累积误差的方法 ,并通过在光栅尺的非零位处对计数值和清零次数的修改 ,解决了引入零位信号后光栅尺的绝对位移难以求取的问题 ,通过采用逐步检测的方法判断计数值是否被误清零而出错 ,并... 提出了采用多零位信号自动消除大量程光栅尺计数累积误差的方法 ,并通过在光栅尺的非零位处对计数值和清零次数的修改 ,解决了引入零位信号后光栅尺的绝对位移难以求取的问题 ,通过采用逐步检测的方法判断计数值是否被误清零而出错 ,并根据出错前的计数值让光栅尺通过最近的零位 。 展开更多
关键词 光栅尺 零位信号 步进电机 计数电路
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现代数控机床的测量系统——光栅尺的测量原理和选择标准 被引量：4
10
作者 王桂芳 《现代制造》 2002年第19期66-68,共3页
对于数控机床,单纯追求高准确度的光栅尺是不够的,还要选择光栅尺的信号周期大小及设定控制系统的细分份数,使数控机床有合适的分辨率,同时还要选择合适的机械安装结构。要进一步提高数控机床的整体精度,还要对机床进行线性补偿、非线... 对于数控机床,单纯追求高准确度的光栅尺是不够的,还要选择光栅尺的信号周期大小及设定控制系统的细分份数,使数控机床有合适的分辨率,同时还要选择合适的机械安装结构。要进一步提高数控机床的整体精度,还要对机床进行线性补偿、非线性补偿甚至几何精度补偿等。 展开更多
关键词 数控机床 测量系统 光栅尺 测量原理 选择标准
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三坐标测量机的发展现状 被引量：2
11
作者 王正强 《现代测量与实验室管理》 1994年第5期3-7,共5页
三坐标测量机的发展现状王正强（中国计量科学研究院）一、前言现代三坐标测量机是集光学、机械、数控技术和计算机技术为一体的大型精密智能化仪器，可以对任何复杂形状的空间尺寸进行测量。在研制过程中控制中间测量，数控机床或柔性... 三坐标测量机的发展现状王正强（中国计量科学研究院）一、前言现代三坐标测量机是集光学、机械、数控技术和计算机技术为一体的大型精密智能化仪器，可以对任何复杂形状的空间尺寸进行测量。在研制过程中控制中间测量，数控机床或柔性生产线在线测量，尤其是可将ＣＡＤ／... 展开更多
关键词 三坐标测量机 测头 智能化仪器 在线测量 空间尺寸 光栅尺 测量系统 步距规 工件坐标系 柔性生产线
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光栅尺动态测量仪 被引量：9
12
作者 刘岩 龙科慧 +1 位作者 王立朋 季思 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1993年第2期14-19,共6页
阐述了利用激光差外干涉法,检查光栅尺准确度的原理,并介绍了根据这一原理而研制成的“光栅动态测量仪”的特点。该仪器在2.2m范围内的测量准确度为±1.5μm并且在生产线上已经可靠地工作了三年。
关键词 光栅尺 激光差外干涉 测量仪
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一种空间相机调焦机构的设计研究 被引量：11
13
作者 高飞 张葆 刘大禹 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2008年第4期74-76,60,共4页
随着现代光学捕获技术的不断发展,捕获目标的日趋复杂化,对空间相机的要求也越来越高,为了保证光学系统具有更强的适应性,获得最佳图像,设计了一种调焦机构。调焦机构由直线电机、直线导轨、光栅尺等组成,针对航空光学系统对调焦机构的... 随着现代光学捕获技术的不断发展,捕获目标的日趋复杂化,对空间相机的要求也越来越高,为了保证光学系统具有更强的适应性,获得最佳图像,设计了一种调焦机构。调焦机构由直线电机、直线导轨、光栅尺等组成,针对航空光学系统对调焦机构的要求,对该调焦机构的试验过程进行了设计,针对控制精度、晃动和高低温进行了试验,并分析了影响调焦机构精度的主要因素。试验证明该调焦机构可以满足使用要求。 展开更多
关键词 调焦 直线电机 直线导轨 光栅尺
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光栅测量系统的发展趋势及水平 被引量：2
14
作者 卢国纲 《机械工人（冷加工）》 2000年第8期21-22,共2页
1.光栅数字测量系统发展概况 光栅数字测量系统是数显机床、数控机床和测量机的重要组成部分,是由光栅传感器和光栅倍频器(插补和数字化电子装置)组成。光栅传感器是作为位移测量元件,光栅倍频器是对光栅信号进行电子细分和数字化处理... 1.光栅数字测量系统发展概况 光栅数字测量系统是数显机床、数控机床和测量机的重要组成部分,是由光栅传感器和光栅倍频器(插补和数字化电子装置)组成。光栅传感器是作为位移测量元件,光栅倍频器是对光栅信号进行电子细分和数字化处理。光栅编码器是利用刻划在各种各样载体(如玻璃、玻璃陶瓷、固态钢或钢带)上的光栅作为测量标准,并通过光电扫描进行分度,编码器的精度和温度特性可以通过刻划和选择载体来优化。光栅编码器又分为直线编码器(光栅尺)和圆编码器。 展开更多
关键词 光栅测量系统 机床 测量机 光栅尺 刻划精度
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基于光栅尺的数控机床定位精度和重复定位精度检测 被引量：10
15
作者 涂雪飞 易传云 +1 位作者 钟瑞龄 曹祥敖 《机械与电子》 2012年第4期32-34,共3页
提出了一种基于光栅尺的数控机床定位精度和重复定位精度检测方法,利用光栅尺、细分计数卡、工控机对数控机床的定位精度和重复定位精度进行检测,并与激光干涉仪的检测结果相比较,实验表明,该方法不仅检测精度高,成本低,而且操作简便。
关键词 定位精度 重复定位精度 数控机床 光栅尺 细分计数卡
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基于TMS320F28335的步进电机控制模块设计 被引量：10
16
作者 刘雪超 吴志勇 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第10期78-79,92,共3页
分析步进电机工作及细分基本原理,设计了采用双H桥式驱动与TMS320F28335高性能浮点运算控制芯片相结合的步进电机控制模块。调节PWM波占空比,软件实现步进电机的细分控制。利用光栅尺采集位置信息,构成反馈闭环校正位移。给出具体控制流... 分析步进电机工作及细分基本原理,设计了采用双H桥式驱动与TMS320F28335高性能浮点运算控制芯片相结合的步进电机控制模块。调节PWM波占空比,软件实现步进电机的细分控制。利用光栅尺采集位置信息,构成反馈闭环校正位移。给出具体控制流程,并通过实际调试给出调试结果。 展开更多
关键词 步进电机 细分 光栅尺 反馈闭环
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温度对气体折射率的非线性影响 被引量：9
17
作者 邢进华 《物理实验》 2005年第4期35-36,39,共3页
对测量群折射率的迈克耳孙白光干涉技术进行了改进,采用光栅线位移传感器提高反射扫描镜的位移精度. 实验确定了空气折射率对温度的非线性曲线拟合方程,其拟合因子的精度达到10-5℃-1.
关键词 折射率 温度 白光干涉 光栅尺
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基于CPLD与单片机的光栅位移测量系统的设计 被引量：10
18
作者 胡林 《电子测量技术》 2010年第11期81-83,共3页
提出一种基于CPLD和单片机的光栅位移测量系统的设计,采用CPLD对光栅尺输出信号进行处理,单片机读CPLD处理后的数据并在实时显示。硬件部分以AT89C52为控制核心,以CPLD芯片EPM7128SLC84-15实现光栅信号的细分、辨向和计数等。单片机软... 提出一种基于CPLD和单片机的光栅位移测量系统的设计,采用CPLD对光栅尺输出信号进行处理,单片机读CPLD处理后的数据并在实时显示。硬件部分以AT89C52为控制核心,以CPLD芯片EPM7128SLC84-15实现光栅信号的细分、辨向和计数等。单片机软件部分主要包括3个部分:一是单片机通过LED显示接收到的数据;二是断电保持模块;三是数据通信模块,通过RS232串口与上位机通信。结果证明所设计的光栅位移测量系统能够满足高速采样与存储的要求,可以用于实际的光栅位移的测量。 展开更多
关键词 光栅尺 CPLD 单片机 位移测量
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绝对式光栅尺和编码器是当代位移传感器发展主流——CIMT2011精密位移传感器评述 被引量：9
19
作者 卢国纲 《世界制造技术与装备市场》 2011年第4期56-60,共5页
一、前言 今年在北京举办的第十二届中国国际机床展览会（CIMT2011）汇集了高档数控机床和世界先进制造技术的最新成果，展示了当代机床精密测量和控制技术的发展方向，作为高档数控机床不可分离的光栅位移传感器也是最先进、水平最高... 一、前言 今年在北京举办的第十二届中国国际机床展览会（CIMT2011）汇集了高档数控机床和世界先进制造技术的最新成果，展示了当代机床精密测量和控制技术的发展方向，作为高档数控机床不可分离的光栅位移传感器也是最先进、水平最高的。这届展会上光栅位移传感器制造厂商德国的HEIDENHAIN（海德汉）、西班牙的FAGOR（发格）、 展开更多
关键词 光栅位移传感器 编码器 光栅尺 绝对式 国际机床展览会 先进制造技术 数控机床 FAGOR
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基于FPGA的光栅信号智能接口模块 被引量：4
20
作者 王成元 常国祥 夏加宽 《电气传动》 北大核心 2007年第4期59-61,共3页
在高精度数控机床中,常由直线电机和光栅尺构成闭环系统,如果光栅尺的信号直接由CPU来处理,则占用CPU的很多软硬件资源,而且其实时性不能保证。利用现场可编程门阵列(FPGA)的高速、高密度、可在线修改的特点,设计一智能接口模块。不但... 在高精度数控机床中,常由直线电机和光栅尺构成闭环系统,如果光栅尺的信号直接由CPU来处理,则占用CPU的很多软硬件资源,而且其实时性不能保证。利用现场可编程门阵列(FPGA)的高速、高密度、可在线修改的特点,设计一智能接口模块。不但实现了X-Y轴光栅信号的细分、辨向、位移测量,还能准确测量并显示速度,最后,通过接口电路把位移、速度等信号传到上位机。仿真结果证明该设计的实时性好、位置控制误差小于2μm。 展开更多
关键词 现场可编程门陈列 光栅尺 数控机床 永磁直线同步电机
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