高精度绝对式光栅尺研究进展及技术难点被引量：20

Progress and Technical Features of Absolute Grating with High Precision

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摘要在现代机加行业中，大多采用光栅传感器来进行位置反馈装置。由于光栅尺能够对系统实行全闭环控制，降低滚珠丝杠热变形等原因引起的误差，提高加工精度，所以目前中高档数控系统越来越多地采用光栅尺作为线位移反馈元件。

作者孙强

机构地区中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

出处《世界制造技术与装备市场》 2012年第5期72-73,共2页 World Manufacturing Engineering & Market

关键词光栅尺绝对式高精度技术数控系统光栅传感器全闭环控制反馈装置

同被引文献127

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世界制造技术与装备市场

2012年第5期

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