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分焦平面像素偏振片阵列的制备研究
被引量:
1
1
作者
于淼
《黑龙江科学》
2017年第20期38-39,共2页
分焦平面像素偏振片的单元大小为像素尺寸,能够集成到CMOS相机的像元表面,可以实现多方向同时偏振成像探测。利用电子束曝光和ICP反应离子束刻蚀相结合的工艺技术制备了不同周期和特征尺寸的分焦平面像素偏振片阵列,应用扫描电子显微镜...
分焦平面像素偏振片的单元大小为像素尺寸,能够集成到CMOS相机的像元表面,可以实现多方向同时偏振成像探测。利用电子束曝光和ICP反应离子束刻蚀相结合的工艺技术制备了不同周期和特征尺寸的分焦平面像素偏振片阵列,应用扫描电子显微镜实现了微纳线栅结构的表征。分焦平面偏振成像克服了偏振成像中不能同时成像、系统不稳定的缺陷,能够很好的适应多种复杂的探测环境。
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关键词
分焦平面
像素
偏振片
电子束曝光
反应离子束刻蚀
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职称材料
基于像素偏振片阵列的实时动态相位测量技术
被引量:
3
2
作者
张志刚
董凤良
+4 位作者
程腾
仇康
张青川
褚卫国
伍小平
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2015年第5期491-497,共7页
基于像素偏振片阵列的实时相移干涉计量技术可以实现实时相位测量,并降低干涉计量实验中的防振要求.本文采用电子束曝光技术制备了单元间距为7.4?m,像素数为320×240的基于铝纳米光栅的像素偏振片阵列.铝纳米光栅周期为140 nm,每相...
基于像素偏振片阵列的实时相移干涉计量技术可以实现实时相位测量,并降低干涉计量实验中的防振要求.本文采用电子束曝光技术制备了单元间距为7.4?m,像素数为320×240的基于铝纳米光栅的像素偏振片阵列.铝纳米光栅周期为140 nm,每相邻2×2单元的透偏振方向分别为0°,45°,90°,和135°.将像素偏振片阵列集成到感光元件上,并将其应用于实时相移干涉计量.采用线性插值的方法由采集的单帧图像获得4幅不同相移量时的干涉条纹图,从而解得物光波的位相信息.采用上述装置成功测量了由温度变化引起的相位动态变化,证实了该方法在实时动态相位测量应用的可行性.
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关键词
像素
偏振片
阵列
实时相移
纳米光栅
电子束曝光
原文传递
基于像素偏振片阵列的实时水下目标成像技术
3
作者
王赟
金尚忠
+2 位作者
陈智慧
侯彬
曹馨艺
《半导体光电》
CAS
北大核心
2019年第6期879-885,共7页
借助偏振成像可以增强水下目标的探测效果。传统的偏振成像方法需要光学检偏器的机械转动来实现,这限制了其在水下的实时探测性能。采用基于像素偏振片阵列图像传感器开发的相机设计了一种水下实时成像系统。系统通过阵列上排布的四向...
借助偏振成像可以增强水下目标的探测效果。传统的偏振成像方法需要光学检偏器的机械转动来实现,这限制了其在水下的实时探测性能。采用基于像素偏振片阵列图像传感器开发的相机设计了一种水下实时成像系统。系统通过阵列上排布的四向微偏振片一次性捕获四向偏振图像,从而全局估算背景杂散光的偏振角和偏振度。然后利用偏振信息反解得到杂散光光强,最后借助水下成像物理模型得到去散射后的目标增强图像。实验结果表明,将像素偏振片阵列图像传感器应用到水下成像能够有效增强水下图像的对比度,且成像处理过程实时快速,进一步提高了水下目标的探测效率。
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关键词
像素
偏振片
阵列
偏振
成像
图像处理
水下目标成像
对比度增强
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职称材料
题名
分焦平面像素偏振片阵列的制备研究
被引量:
1
1
作者
于淼
机构
长春理工大学
出处
《黑龙江科学》
2017年第20期38-39,共2页
文摘
分焦平面像素偏振片的单元大小为像素尺寸,能够集成到CMOS相机的像元表面,可以实现多方向同时偏振成像探测。利用电子束曝光和ICP反应离子束刻蚀相结合的工艺技术制备了不同周期和特征尺寸的分焦平面像素偏振片阵列,应用扫描电子显微镜实现了微纳线栅结构的表征。分焦平面偏振成像克服了偏振成像中不能同时成像、系统不稳定的缺陷,能够很好的适应多种复杂的探测环境。
关键词
分焦平面
像素
偏振片
电子束曝光
反应离子束刻蚀
Keywords
Sub-focal plane
Polarizing plate
Electron beam exposure
Reactive ion beam etching
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于像素偏振片阵列的实时动态相位测量技术
被引量:
3
2
作者
张志刚
董凤良
程腾
仇康
张青川
褚卫国
伍小平
机构
中国科学技术大学近代力学系
国家纳米科学中心纳米加工技术实验室
出处
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2015年第5期491-497,共7页
基金
国家重点基础研究发展计划(编号:2011CB302105)
国家自然科学基金(批准号:11332010,11102201,11127201,11472266,11372300)
中国科学院科研装备研制项目(编号:YZ201265)资助
文摘
基于像素偏振片阵列的实时相移干涉计量技术可以实现实时相位测量,并降低干涉计量实验中的防振要求.本文采用电子束曝光技术制备了单元间距为7.4?m,像素数为320×240的基于铝纳米光栅的像素偏振片阵列.铝纳米光栅周期为140 nm,每相邻2×2单元的透偏振方向分别为0°,45°,90°,和135°.将像素偏振片阵列集成到感光元件上,并将其应用于实时相移干涉计量.采用线性插值的方法由采集的单帧图像获得4幅不同相移量时的干涉条纹图,从而解得物光波的位相信息.采用上述装置成功测量了由温度变化引起的相位动态变化,证实了该方法在实时动态相位测量应用的可行性.
关键词
像素
偏振片
阵列
实时相移
纳米光栅
电子束曝光
Keywords
pixelated micropolarizer array, real-time phase-shifting, nano-grating, electron beam lithography
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
基于像素偏振片阵列的实时水下目标成像技术
3
作者
王赟
金尚忠
陈智慧
侯彬
曹馨艺
机构
中国计量大学光学与电子科技学院
浙江省现代计量测试技术及仪器重点实验室
出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2019年第6期879-885,共7页
基金
国家自然科学基金项目(61701468)
浙江省自然科学基金项目(LY18F020018)
文摘
借助偏振成像可以增强水下目标的探测效果。传统的偏振成像方法需要光学检偏器的机械转动来实现,这限制了其在水下的实时探测性能。采用基于像素偏振片阵列图像传感器开发的相机设计了一种水下实时成像系统。系统通过阵列上排布的四向微偏振片一次性捕获四向偏振图像,从而全局估算背景杂散光的偏振角和偏振度。然后利用偏振信息反解得到杂散光光强,最后借助水下成像物理模型得到去散射后的目标增强图像。实验结果表明,将像素偏振片阵列图像传感器应用到水下成像能够有效增强水下图像的对比度,且成像处理过程实时快速,进一步提高了水下目标的探测效率。
关键词
像素
偏振片
阵列
偏振
成像
图像处理
水下目标成像
对比度增强
Keywords
pixelated micropolarizer array
polarization imaging
image processing
underwater target imaging
contrast enhancement
分类号
O436.3 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
分焦平面像素偏振片阵列的制备研究
于淼
《黑龙江科学》
2017
1
下载PDF
职称材料
2
基于像素偏振片阵列的实时动态相位测量技术
张志刚
董凤良
程腾
仇康
张青川
褚卫国
伍小平
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2015
3
原文传递
3
基于像素偏振片阵列的实时水下目标成像技术
王赟
金尚忠
陈智慧
侯彬
曹馨艺
《半导体光电》
CAS
北大核心
2019
0
下载PDF
职称材料
已选择
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