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低压磷扩散工艺研究 被引量：2
1
作者 李吉 孙朋涛 +4 位作者 郑建宇 严金梅 魏红军 麻增智 赵朋松 《太阳能》 2016年第9期32-35,共4页
分析了低压磷扩散较常压扩散的优势,论述了低压磷扩散的工作原理及可以调节的工艺参数。通过研究真空条件下源流量、扩散时间、源瓶压力、真空泵压力等扩散工艺参数对扩散方块电阻的影响,了解低压磷扩散工艺的调试思路、途径及方法,便... 分析了低压磷扩散较常压扩散的优势,论述了低压磷扩散的工作原理及可以调节的工艺参数。通过研究真空条件下源流量、扩散时间、源瓶压力、真空泵压力等扩散工艺参数对扩散方块电阻的影响,了解低压磷扩散工艺的调试思路、途径及方法,便于更高效开展低压磷扩散工艺的调试。 展开更多
关键词 低压扩散 源流量 源瓶压力 泵压力 扩散时间
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低压扩散机理及其对扩散方阻均匀性的影响研究 被引量：1
2
作者 张宝锋 陈晖 《电子工业专用设备》 2016年第4期12-16,共5页
传统的太阳能电池扩散工艺采用常压扩散,随着高效晶硅电池的发展,扩散结深的不断变浅,常压扩散已难以满足晶体硅太阳能电池高效、低成本发展的技术要求。低压扩散通过在反应管内提供低压工艺环境,提升扩散制结的性能。对低压扩散机理进... 传统的太阳能电池扩散工艺采用常压扩散,随着高效晶硅电池的发展,扩散结深的不断变浅,常压扩散已难以满足晶体硅太阳能电池高效、低成本发展的技术要求。低压扩散通过在反应管内提供低压工艺环境,提升扩散制结的性能。对低压扩散机理进行了详细分析,从扩散分子自由程、掺杂原子分压比和气场均匀性等方面详细分析了低压扩散对高方阻均匀性的影响关系。采用新型低压扩散炉进行工艺实验测试,结果表明,低压扩散在可达到扩散方阻目标值110Ω时更好的均匀性,载片量较常压扩散大幅度提升,具有无可比拟的生产优势,是未来扩散技术的主要发展方向。 展开更多
关键词 低压扩散 高方阻 均匀性
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低压扩散机理及其对扩散方阻均匀性的影响研究 被引量：1
3
作者 张宝锋 陈晖 《电子工业专用设备》 2016年第7期10-14,共5页
传统的太阳能电池扩散工艺采用常压扩散,随着高效晶硅电池的发展,扩散结深的不断变浅,常压扩散已难以满足晶体硅太阳能电池高效、低成本发展的技术要求。低压扩散通过在反应管内提供低压工艺环境,提升扩散制结的性能。通过对低压扩散机... 传统的太阳能电池扩散工艺采用常压扩散,随着高效晶硅电池的发展,扩散结深的不断变浅,常压扩散已难以满足晶体硅太阳能电池高效、低成本发展的技术要求。低压扩散通过在反应管内提供低压工艺环境,提升扩散制结的性能。通过对低压扩散机理的详细分析,从扩散分子自由程、掺杂原子分压比和气场均匀性等方面详细分析了低压扩散对高方阻均匀性的影响关系。采用新型低压扩散炉进行工艺实验测试,结果表明,低压扩散在可达到扩散方阻目标值110Ω时获得更好的均匀性,载片量较常压扩散大幅度提升,具有无可比拟的生产优势,是未来扩散技术的主要发展方向。 展开更多
关键词 低压扩散 高方阻 均匀性
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大尺寸PERC晶体硅太阳电池低压扩散工艺的研究
4
作者 龙辉 邹臻峰 +2 位作者 吴志明 张弥涛 田安 《太阳能》 2022年第7期41-46,共6页
210 mm大尺寸硅片已成为光伏行业的发展主流,但相比158 mm、166 mm的硅片,对采用210 mm大尺寸硅片的晶体硅太阳电池扩散工艺的研究尚处于探索阶段。研究了炉尾温度、工艺压力、进气口与石英舟端板距离、快速降温等因素对210 mm大尺寸硅... 210 mm大尺寸硅片已成为光伏行业的发展主流,但相比158 mm、166 mm的硅片,对采用210 mm大尺寸硅片的晶体硅太阳电池扩散工艺的研究尚处于探索阶段。研究了炉尾温度、工艺压力、进气口与石英舟端板距离、快速降温等因素对210 mm大尺寸硅片在低压扩散工艺后的方阻及制备的PERC晶体硅太阳电池良率的影响。研究结果表明:低压扩散工艺中大尺寸硅片方阻对炉尾温度、工艺压力更为敏感;增大进气口与石英舟端板距离能够有效解决炉口硅片方阻过高及过抛的问题;快速降温在提升工艺降温速率及缩短工艺时间的同时,不会影响扩散工艺效果。 展开更多
关键词 大尺寸硅片 低压扩散 PERC 晶体硅太阳电池 炉尾温度 工艺压力
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晶硅太阳电池低压扩散工艺优化研究 被引量：2
5
作者 郭进 杨晓生 +2 位作者 陆运章 任哲 蒋超 《电子工业专用设备》 2017年第3期51-54,共4页
随着高效晶硅太阳电池技术的发展,低压扩散工艺以其均匀性好,产量大,成本低的优势,成为未来发展的主要方向。对低压扩散工艺进行优化研究可以提高扩散均匀性,从而提升晶硅电池光电转换效率。
关键词 晶硅太阳电池 低压扩散工艺 高方阻 均匀性
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低压气相扩散工模具钢表面ZrC渗层的制备及其性能的研究
6
作者 刘志国 赵金龙 V. G.黑日尼亚克 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期7-9,32,共4页
对低压气相扩散工模具钢表面ZrC渗层的制备及其性能进行了研究。结果表明,ZrC渗层显著提高工模具钢的表面硬度、耐磨和耐腐蚀性能。
关键词 低压气相扩散 组织结构 显微硬度 磨损速率KM 腐蚀速率KF
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