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题名抑制交叉轴干扰的纳米光栅加速度计
被引量：1
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作者
宫美梅
王策
金丽
辛晨光
李孟委
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机构
中北大学信息与通信工程学院
中北大学仪器与电子学院
中北大学前沿交叉科学研究院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第3期20-23,31,共5页
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基金
国家自然科学青年科学基金资助项目(62005253)
山西省青年科技研究基金资助项目(201901D211277)
山西省高等学校科技创新项目(2020L0267)。
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文摘
为了解决纳米光栅加速度计交叉轴干扰的问题,提出了一种原理可行、工艺可行的加速度计结构设计及加工方法。首先,介绍了双光栅加速度计的工作原理及结构组成,通过Ansys结构仿真和COMSOL双光栅仿真,验证了交叉轴干扰对双光栅离面加速度计性能测试不可忽略的影响。其次,提出了一种抗交叉轴干扰、且工艺简单的加速度计结构。仿真结果表明:该结构能有效避免交叉轴干扰,且具有较高的结构灵敏度。最后,基于SOI片对双光栅离面加速度计的加工方案进行完整描述,验证了这种加速度计加工方法的可行性及易操作性,为抗交叉轴干扰的离面加速度计设计和制作提供了思路。
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关键词
加速度计
纳米光栅
交叉轴干扰
结构设计
工艺加工
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Keywords
accelerometer
nano-grating
cross-axis interference
structural design
fabrication process
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH822
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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题名田字形单质量块三轴电容式微加速度计的设计与仿真
被引量：1
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作者
周寿权
张国俊
王姝娅
戴丽萍
钟志亲
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机构
电子科技大学电子科学与工程学院
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出处
《电子产品世界》
2020年第12期79-82,85,共5页
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文摘
介绍了一种田字形单质量块三轴电容式微加速度计的设计与仿真。该加速度计以SOI晶圆作为基片,经过氧化、光刻、干法刻蚀和湿法刻蚀等工艺步骤得到。通过支撑梁和3个轴的敏感结构的巧妙设计,有效避免了平面内和垂直方向的交叉轴干扰的影响,并提高了Z轴的灵敏度。通过差分电容的设计,理论上消除了交叉轴干扰。通过仿真得到了该加速度计在3个轴向上的灵敏度及抗冲击能力。结合理论分析和ANSYS仿真结果,可以得出结论:所设计的加速度计拥有较低的交叉轴干扰、较高的灵敏度以及较强的抗冲击能力,在惯性传感器领域有一定的应用前景。
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关键词
微加速度计
SOI
交叉轴干扰
灵敏度
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分类号
TH824.4
[机械工程—仪器科学与技术]
TP212
[机械工程—精密仪器及机械]
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