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基于微细特种加工的微细制造技术(下)
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作者 荣烈润 《金属加工(冷加工)》 2011年第14期41-42,共2页
5.电子束和离子束加工 微细电子束和离子束加工是近十年来得到较大发展的新兴特种微细加工。它们在精密微细加工方面,尤其是在微电子学领域得到较多的应用。近期发展起来的亚微米加工和纳米加工技术,主要是用电子束和离子束微细加工。
关键词 微细加工 制造技术 特种加工 离子束加工 纳米加工技术 微米加工 电子束 微电子学
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亚微米加工技术中的一个能量函数及其算法
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作者 尹晓燕 《山东电子》 2000年第4期22-23,共2页
用微细电子流进行亚微米加工时,背散射电子产生的接近效应降低了加工精度。本文给出一个电子流的能量函数及其在计算机上实现的算法,用于接近效应的补偿。
关键词 能量函数 微电子 制造技术 微米加工 算法
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单片系统(SoC)设计技术 被引量:12
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作者 陈岚 唐志敏 《计算机研究与发展》 EI CSCD 北大核心 2002年第1期9-16,共8页
集成电路技术在近 10年里有了飞速的发展 ,加工工艺从 0 .5μm ,0 .6μm亚微米级工艺发展到 0 .2 5μm ,0 .18μm甚至 0 .1μm的深亚微米 (DSM)和超深亚微米级工艺 (VDSM) .单芯片集成度大大提高 ,加上集成电路设计的多年积累 ,单个芯... 集成电路技术在近 10年里有了飞速的发展 ,加工工艺从 0 .5μm ,0 .6μm亚微米级工艺发展到 0 .2 5μm ,0 .18μm甚至 0 .1μm的深亚微米 (DSM)和超深亚微米级工艺 (VDSM) .单芯片集成度大大提高 ,加上集成电路设计的多年积累 ,单个芯片有能力实现复杂系统 ,这就是单片系统 (system on a chip) .在单芯片上实现复杂系统不是简单地将过去的设计在同一芯片上简单的集成 ,需要考虑许多新的技术问题 .将介绍单片系统的设计特点以及涉及单片系统设计的关键技术 ,其中包括设计复用技术、使用 IP核的注意事项以及端口标准化等问题 ;深亚微米设计的设计要点和难点 :深亚微米电路的电学模型以及连线延迟计算方法和避免传输线效应的方法 ;同时还将介绍单片系统的测试技术和一些测试方案 ,物理综合概念和目前流行的能提供深亚微米设计能力的主流 展开更多
关键词 单片系统 可测试性设计 物理综合 集成电路 微米加工
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亚微米电解加工的试验研究 被引量:3
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作者 吴修娟 曲宁松 +2 位作者 曾永彬 王玉峰 朱荻 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期777-781,共5页
为了增强Ag纳米线在亚微米电解加工中的稳定性,对其表面溅射金属Au.Ag纳米线的稳定性试验结果表明,溅射层越厚,Ag纳米线在电解加工环境中的稳定性越好,但是过厚的溅射层会使纳米线发生弯曲.当溅射层厚度约为55 nm时,溅射层不够致密,电... 为了增强Ag纳米线在亚微米电解加工中的稳定性,对其表面溅射金属Au.Ag纳米线的稳定性试验结果表明,溅射层越厚,Ag纳米线在电解加工环境中的稳定性越好,但是过厚的溅射层会使纳米线发生弯曲.当溅射层厚度约为55 nm时,溅射层不够致密,电解加工时亚微米工具电极会发生溶解;当溅射层厚度约为310 nm时,溅射层的内应力过大,亚微米工具电极出现弯曲.因此,采用溅射层厚度约为150 nm的亚微米工具电极进行亚微米电解加工.在浓度为0.1mol/L的H2SO4电解液中,施加电压为4 V、周期为50 ns、脉宽为6 ns的纳秒脉宽脉冲电流,于高温合金试件表面成功加工出亚微米沟槽,沟槽长约30μm,深约80 nm,底部最窄处约为450 nm,入口最宽处约1μm. 展开更多
关键词 微纳电解加工 微米电解加工 AG纳米线 工具电极
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用于亚微米图形加工的离轴照明技术 被引量:2
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作者 童志义 陈英 《电子工业专用设备》 1995年第3期2-8,共7页
本文主要介绍了国外用于提高光学片子步进机成像性能的高分辨率、大焦深的离轴照明技术。通过几种照明技术的比较,指出了可用于亚半微米器件图形转印的环形照明技术在未来64M~256MDRAM器件时代进行规模生产的潜力所在。
关键词 微米图形加工 光学步进机 曝光 离轴照明
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激光微加工系统
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《光机电信息》 2004年第3期41-41,共1页
关键词 激光加工 加工系统 微米加工 激光切割 ITO膜 干蚀刻
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AVIZA科技公司与北京七星华创电子公司合作生产专为本地市场而设计的系统
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作者 彭慈华 《集成电路应用》 2004年第4期30-30,共1页
不久前,Aviza公司与中国最大的半导体设备制造商北京七星华创电子公司签约,向中国引进生产Aviza科技公司设备的技术。该协议规定,七星华创将制造专门针对中国半导体制造商需要的Aviza科技公司亚微米级热加工和沉积系统。
关键词 AVIZA科技公司 北京七星华创电子公司 中国市场 微米级热加工系统 沉积系统
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AVIZA科技公司与北京七星华创电子公司(www.sevenstar.cn)合作生产
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《微纳电子技术》 CAS 2004年第4期48-48,共1页
关键词 Aviza科技公司 北京七星华创电子公司 半导体设备制造商 微米级热加工 沉积系统
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