基于微细特种加工的微细制造技术(下)

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摘要 5.电子束和离子束加工微细电子束和离子束加工是近十年来得到较大发展的新兴特种微细加工。它们在精密微细加工方面,尤其是在微电子学领域得到较多的应用。近期发展起来的亚微米加工和纳米加工技术,主要是用电子束和离子束微细加工。

作者荣烈润

机构地区原中国航空精密机械研究所

出处《金属加工（冷加工）》 2011年第14期41-42,共2页 MW Metal Cutting

关键词微细加工制造技术特种加工离子束加工纳米加工技术亚微米加工电子束微电子学

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金属加工（冷加工）

2011年第14期

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