-
题名PERC背钝化工艺卡点位置缺陷导致EL不良研究
- 1
-
-
作者
张福庆
李文涛
张若凡
胡明强
张朔龙
-
机构
晶澳太阳能有限公司
-
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第8期385-390,共6页
-
文摘
以二合一管式PECVD背钝化镀膜工艺过程中出现的石墨舟空心卡点EL发黑品质异常为研究对象,分析讨论二合一管式PECVD背钝化工艺中射频功率、工艺温度、氧化铝沉积厚度等对晶硅太阳电池空心卡点EL发黑品质异常的影响。结果表明,在二合一管式PECVD背钝化工艺时采用12~16 nm厚度的氧化铝薄膜、350~370℃的预淀积工艺温度,能有效解决镀膜空心卡点EL发黑品质异常,显著提升晶硅太阳电池在二合一管式PECVD的镀膜品质。
-
关键词
太阳电池
EL发黑
背钝化
预淀积
二合一管式pecvd
卡点钝化缺陷
-
Keywords
solar cell
EL black
dorsal passivation
predeposition
two-in-one tubular pecvd
stuck point passivation defect
-
分类号
TK514
[动力工程及工程热物理—热能工程]
-
-
题名TMA杂质元素对二合一管式PECVD影响分析
- 2
-
-
作者
邵海娇
张永
王贵梅
张志敏
刘苗
-
机构
晶澳太阳能有限公司
-
出处
《中国科技纵横》
2023年第15期104-107,共4页
-
文摘
二合一管式PECVD是晶硅太阳能电池生产环节中用于制备氧化铝+氮化硅钝化减反射薄膜的常用机台,是提升电池光电转换效率不可或缺的工序,同时也是影响良率的重要工序。TMA(三甲基铝)作为氧化铝制备时的反应气体,其纯度以及杂质含量严重影响电池的光电转化效率、良率。经研究发现,TMA中Cl元素杂质含量过高,可能导致机台尾排粉末量大、喷气嘴堵塞等现象,最终影响电池效率。
-
关键词
PERC晶硅电池
二合一管式pecvd
TMA
杂质Cl元素
-
Keywords
PERC crystal silicon cell
two-in-one tube pecvd
TMA
impurity Cl element
-
分类号
TK514
[动力工程及工程热物理—热能工程]
-
