NiCr-NiSi传感器薄膜附着力测试与分析 被引量：1

1

作者 郑晓峰 曾其勇 +2 位作者 李柱 吴凯 朱明 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期109-112,共4页

采用磁控溅射法制备NiCr-NiSi薄膜,以溅射功率、溅射时间、溅射气压及基片负偏压作为四因素进行正交试验,制备了9种性能不同的NiCr-NiSi薄膜热电偶测温刀头,对每片测温刀头上薄膜与刀体之间的附着力进行了测试,并对测试结果进行了极差... 采用磁控溅射法制备NiCr-NiSi薄膜,以溅射功率、溅射时间、溅射气压及基片负偏压作为四因素进行正交试验,制备了9种性能不同的NiCr-NiSi薄膜热电偶测温刀头,对每片测温刀头上薄膜与刀体之间的附着力进行了测试,并对测试结果进行了极差分析。分析结果表明:在4个溅射因素当中,基片负偏压是影响薄膜附着力大小的最主要因素,在一定范围内,增大基片的负偏压值可提高薄膜的附着力。验证试验表明,NiCr薄膜溅射参数为溅射功率90W、溅射时间30min、溅射气压0.45Pa、基片偏压-110V,NiSi薄膜溅射参数为溅射功率100W、溅射时间40min、溅射气压0.4Pa、基片偏压-110V,可使NiCr和NiSi薄膜的附着力值分别约增大3.2N和1.5N。 展开更多

关键词 薄膜热电偶 正交试验 极差分析 薄膜附着力

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一种新型测温刀具的研制

2

作者 郑晓峰 曾其勇 +2 位作者 李柱 陈锋 蒋立正 《机床与液压》 北大核心 2016年第7期18-20,共3页

采用磁控溅射法在PCBN刀具的前刀面上镀制NiCr和NiSi薄膜,形成一种新型的NiCr-NiSi薄膜热电偶测温刀具。详细阐述了薄膜热电偶的制作过程,结合WS-2005涂层附着力自动划痕仪和Jsm-5610扫描电子显微镜分别测试分析了NiCr和NiSi薄膜的附着... 采用磁控溅射法在PCBN刀具的前刀面上镀制NiCr和NiSi薄膜,形成一种新型的NiCr-NiSi薄膜热电偶测温刀具。详细阐述了薄膜热电偶的制作过程,结合WS-2005涂层附着力自动划痕仪和Jsm-5610扫描电子显微镜分别测试分析了NiCr和NiSi薄膜的附着力和成分。通过现场切削试验表明,制备的NiCr-NiSi薄膜热电偶测温刀具能够实时、快速、准确地测量切削温度。 展开更多

关键词 薄膜热电偶 附着力 薄膜成分 测温刀具

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电化学机械复合抛光薄膜太阳能电池柔性不锈钢衬底 被引量：2

3

作者 张克华 石栋 +2 位作者 刘润之 肖志兰 程光明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期343-349,共7页

设计了针对薄膜太阳能电池柔性不锈钢衬底的电化学机械复合抛光法以满足其对表面粗糙度、光反射率和有害物质扩散的要求。首先,设计并制造了一种用于平面加工的复合阴极刀具,理论分析了它的材料去除机理。然后,结合法拉第原理和黏着摩... 设计了针对薄膜太阳能电池柔性不锈钢衬底的电化学机械复合抛光法以满足其对表面粗糙度、光反射率和有害物质扩散的要求。首先,设计并制造了一种用于平面加工的复合阴极刀具,理论分析了它的材料去除机理。然后,结合法拉第原理和黏着摩擦理论分析了电化学腐蚀行为和摩擦力作用行为,解决了电化学腐蚀和机械去除钝化膜的匹配一致性问题。最后,以50mm×50mm×0.3mm规格的304不锈钢为阳极工件,对提出的方法进行了实验验证。结果显示:对衬底加工20min后,其表面粗糙度Ra从124nm降到10nm;表面反射率从加工前的56.8%提高到62.4%;表面金属氧化层的形成(氧化铁和氧化铬),有效阻挡了Fe和Cr离子的扩散。实验显示,提出的方法是处理柔性不锈钢表面的有效方法,成本低、效率高。 展开更多

关键词 电化学复合抛光 薄膜太阳能电池 柔性衬底 不锈钢薄片 材料去除 黏着摩擦 光反射率

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划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度 被引量：46

4

作者 冯爱新 张永康 +1 位作者 谢华琨 范真 《江苏大学学报（自然科学版）》 EI CAS 2003年第2期15-19,共5页

薄膜-基体界面结合性能是直接关系到膜-基体系最终使用性能和可靠性的关键因素和首要指标 划痕试验法是唯一广泛应用于测量硬质薄膜-基体界面结合强度的实用的检验方法 文中给出划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度的原理、方法与过程,... 薄膜-基体界面结合性能是直接关系到膜-基体系最终使用性能和可靠性的关键因素和首要指标 划痕试验法是唯一广泛应用于测量硬质薄膜-基体界面结合强度的实用的检验方法 文中给出划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度的原理、方法与过程,以及临界载荷Lc的确定方法,分析影响临界载荷Lc和压头与薄膜-基体组合体之间摩擦系数μ因素 最后。 展开更多

关键词 薄膜涂层 界面结合强度 划痕试验法 可靠性 使用寿命 薄膜技术

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金刚石薄膜涂层刀具的研究进展与应用现状 被引量：14

5

作者 匡同春 王晓初 刘正义 《硬质合金》 CAS 1999年第1期41-50,共10页

CVD金刚石是采用化学气相沉积的方法制备出来的一种全晶质多晶纯金刚石材料，它可以呈膜状附着于刀（基）体表面，亦可以是脱离基体的纯金刚石厚片。CVD金刚石的物理性能和天然金刚石非常接近，化学性质则完全相同。本文重点对金刚石薄... CVD金刚石是采用化学气相沉积的方法制备出来的一种全晶质多晶纯金刚石材料，它可以呈膜状附着于刀（基）体表面，亦可以是脱离基体的纯金刚石厚片。CVD金刚石的物理性能和天然金刚石非常接近，化学性质则完全相同。本文重点对金刚石薄膜涂层刀具的研究进展、切削试验结果及应用前景进行简要的综述。 展开更多

关键词 金刚石薄膜 刀具 涂层刀具 应用现状 研究进展

原文传递

金刚石薄膜膜基界面结合强度测量技术的研究进展 被引量：9

6

作者 简小刚 孙方宏 +2 位作者 赵国伟 刘国良 陈明 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2002年第3期3-7,共5页

膜基界面结合强度的测量与评价是金刚石薄膜制备与应用关键问题 ,本文介绍了国内外金刚石薄膜膜基界面结合强度的几种典型的测量方法 ,着重探讨了膜基界面结合强度的精确定量测量技术的研究现状以及发展趋势 ,提出了用一种新的内涨鼓泡... 膜基界面结合强度的测量与评价是金刚石薄膜制备与应用关键问题 ,本文介绍了国内外金刚石薄膜膜基界面结合强度的几种典型的测量方法 ,着重探讨了膜基界面结合强度的精确定量测量技术的研究现状以及发展趋势 ,提出了用一种新的内涨鼓泡测量法 ,对复杂形状基体上金刚石薄膜膜基界面结合强度进行精确定量检测 ,为金刚石薄膜的制备工艺优化及其质量的评估提供可靠的依据和标准。 展开更多

关键词 金刚石薄膜 结合强度 鼓泡 测量方法

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高密度通孔薄膜电路工艺技术研究 被引量：14

7

作者 柳龙华 解启林 《电子工艺技术》 2012年第3期142-144,181,共4页

通过对薄膜电路制作工艺的系统研究,提出了一种新型的制作高密度通孔薄膜电路工艺方法,克服了高密度通孔薄膜电路对溅射用金靶、喷雾式涂胶和反应离子刻蚀等工艺技术和设备的依赖,降低了高密度通孔薄膜电路研制成本。该新型工艺方法已... 通过对薄膜电路制作工艺的系统研究,提出了一种新型的制作高密度通孔薄膜电路工艺方法,克服了高密度通孔薄膜电路对溅射用金靶、喷雾式涂胶和反应离子刻蚀等工艺技术和设备的依赖,降低了高密度通孔薄膜电路研制成本。该新型工艺方法已成功应用于延时电路、变频电路和低噪声放大器等微波组件中高密度通孔薄膜电路基板的研制。 展开更多

关键词 薄膜电路 通孔金属化 膜层附着力

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薄膜与基体间的附着力测试 被引量：12

8

作者 崔彩娥 缪强 潘俊德 《电子工艺技术》 2005年第5期294-297,共4页

薄膜是一种特殊形态的材料,在微电子等领域得到了广泛的应用。薄膜与基体间的附着性能在很大程度上决定了薄膜应用的可能性和可靠性,但是,迄今为止对薄膜与基体间界面的了解还不够深入,也没有一种通用的测量技术。阐述了薄膜与基体间的... 薄膜是一种特殊形态的材料,在微电子等领域得到了广泛的应用。薄膜与基体间的附着性能在很大程度上决定了薄膜应用的可能性和可靠性,但是,迄今为止对薄膜与基体间界面的了解还不够深入,也没有一种通用的测量技术。阐述了薄膜与基体间的附着机理和增加附着力的途径,介绍了胶粘法、划痕法等各种比较常用的附着力测试方法。 展开更多

关键词 薄膜 基体附着力 测试

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PET表面锐钛矿-板钛矿相TiO_2薄膜的制备及表征 被引量：6

9

作者 周立君 燕姗姗 +4 位作者 田宝柱 陈锋 张金龙 黄家祯 张利中 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第5期569-573,共5页

利用改进的溶胶-凝胶法在经表面改性的PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)表面制备得到TiO2薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、UV-Vis透光率曲线、接触角测试仪等测试手段对TiO2样品的性能进行表征.结果表明,PET表面过渡层的引入有... 利用改进的溶胶-凝胶法在经表面改性的PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)表面制备得到TiO2薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、UV-Vis透光率曲线、接触角测试仪等测试手段对TiO2样品的性能进行表征.结果表明,PET表面过渡层的引入有效地改善了有机基底与无机薄膜之间的界面相容性,在其表面形成透明、均一、附着力良好且具有光催化活性的TiO2薄膜.通过控制实验过程,在低温下成功制备了不同锐钛矿/板钛矿比的TiO2薄膜,同时发现适量板钛矿相的存在能有效提高薄膜的光致亲水性. 展开更多

关键词 PET TIO2薄膜 附着力 锐钛矿-板钛矿 光致亲水性

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金刚石涂层与硬质合金刀具附着力的研究进展 被引量：7

10

作者 陈靖 王小平 张兵临 《真空与低温》 1998年第2期121-124,共4页

介绍了国内外在低压合成金刚石涂层刀具中提高薄膜基体附着力的几种典型工艺方法。给出了ＷＣ－Ｃｏ基底刀具预处理对低压合成金刚石薄膜附着力的影响。

关键词 金刚石 薄膜 附着力 硬质合金 刀具

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Cr过渡层沉积粘附型CVD金刚石膜的机理研究 被引量：5

11

作者 卢文壮 左敦稳 +2 位作者 王珉 黎向锋 徐锋 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第18期1676-1680,共5页

研究了电沉积层作为过渡层沉积CVD金刚石膜的工艺 ,在硬质合金的Cr电沉积层上用热丝法沉积出CVD金刚石膜。利用SEM分析了电沉积层的形貌 ,利用EPMA分析了H等离子处理后电沉积层的断面 ,利用SEM和Ra man分析了金刚石膜的表面形貌、成分 ... 研究了电沉积层作为过渡层沉积CVD金刚石膜的工艺 ,在硬质合金的Cr电沉积层上用热丝法沉积出CVD金刚石膜。利用SEM分析了电沉积层的形貌 ,利用EPMA分析了H等离子处理后电沉积层的断面 ,利用SEM和Ra man分析了金刚石膜的表面形貌、成分 ,利用XRD分析了过渡层和CVD金刚石膜的结合面 ,利用压痕法研究了金刚石薄膜与基体的结合力。结果表明 ,H等离子处理使得硬质合金与Cr镀层成为冶金结合 ,提高了电沉积层的结合强度 ;在Cr过渡层与金刚石膜之间形成的Cr3C2 展开更多

关键词 CVD金刚石膜 硬质合金 电沉积Cr 过渡层 结合强度

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磁控溅射薄膜附着性能的影响因素 被引量：7

12

作者 宋文龙 邓建新 赵金龙 《工具技术》 北大核心 2007年第10期20-23,共4页

磁控溅射薄膜技术的应用日趋广泛,溅射薄膜的附着性是制约薄膜性能和使用效果的关键因素。本文结合作者进行的研究,参考国内外参考资料和文献,对薄膜附着性的影响因素做了综合评述,为提高和改善薄膜使用性能提供指导和参考。

关键词 磁控溅射 薄膜 附着性

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CVD金刚石厚膜刀具的研究进展与应用现状 被引量：2

13

作者 匡同春 王晓初 +3 位作者 成晓玲 白晓军 王成勇 刘正义 《硬质合金》 CAS 1999年第2期98-103,共6页

金刚石厚膜片是采用化学气相沉积的方法制备出来的一种全晶质多晶纯金刚石材料，其物理性能和天然金刚石非常接近．而化学性质则完全相同。本文对CVD金刚石厚膜刀具的研究进展、制备方法、性能特点、切削试验结果及应用前景进行了简要... 金刚石厚膜片是采用化学气相沉积的方法制备出来的一种全晶质多晶纯金刚石材料，其物理性能和天然金刚石非常接近．而化学性质则完全相同。本文对CVD金刚石厚膜刀具的研究进展、制备方法、性能特点、切削试验结果及应用前景进行了简要的综述。 展开更多

关键词 CVD 金刚石厚膜 刀具 研究进展 应用现状

原文传递

沃拉斯顿棱镜可见光区减反射膜研制 被引量：6

14

作者 郝殿中 吴福全 +3 位作者 王召兵 宋连科 刘涛 李国华 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1143-1144,共2页

为了提高镀膜材料和冰洲石基底的附着力以及提高棱镜的透过比,拓宽有效使用带宽,借助于计算机辅助设计方法,设计了高性能多层减反射膜系;选用合适的光学薄膜材料,利用电子束蒸镀,借助于离子源辅助蒸镀,制作了高性能的宽带减反射膜.测试... 为了提高镀膜材料和冰洲石基底的附着力以及提高棱镜的透过比,拓宽有效使用带宽,借助于计算机辅助设计方法,设计了高性能多层减反射膜系;选用合适的光学薄膜材料,利用电子束蒸镀,借助于离子源辅助蒸镀,制作了高性能的宽带减反射膜.测试结果表明:e光,o光的平均剩余反射率小于0.5%,有效使用带宽覆盖可见光区;为了改善薄膜和基底间的附着力,采用Al2O3做过渡层。 展开更多

关键词 薄膜光学 薄膜 沃拉斯顿棱镜 减反射膜 附着力 带宽

原文传递

磁控溅射沉积TiN薄膜工艺优化 被引量：6

15

作者 贺春林 朱跃长 +2 位作者 张金林 马国峰 王建明 《沈阳大学学报（自然科学版）》 CAS 2014年第4期272-276,共5页

磁控溅射TiN薄膜的力学和腐蚀性能与薄膜的结构密切相关,而其结构又取决于薄膜的制备工艺.采用正交实验方法对影响TiN薄膜结构和性能的重要参数如电流、负偏压、氮流量和基体温度等进行优化,以期获得更优的制备工艺条件.实验结果显示,其... 磁控溅射TiN薄膜的力学和腐蚀性能与薄膜的结构密切相关,而其结构又取决于薄膜的制备工艺.采用正交实验方法对影响TiN薄膜结构和性能的重要参数如电流、负偏压、氮流量和基体温度等进行优化,以期获得更优的制备工艺条件.实验结果显示,其对TiN薄膜纳米硬度影响由大到小的次序为:基体温度>负偏压>电流>氮流量;对膜/基结合力的影响由大到小的顺序为:基体温度>氮流量>电流>负偏压.综合考虑TiN薄膜的纳米硬度和膜/基结合力,获得的最优方案为:基体温度300℃,电流0.2A,负偏压-85V,标准状态下氮流量4mL/min. 展开更多

关键词 正交设计 TIN薄膜 磁控溅射 纳米硬度 结合力 工艺优化

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链长对离子液体超薄膜微/纳摩擦学性能的影响 被引量：6

16

作者 赵文杰 黄德明 +1 位作者 王立平 薛群基 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期614-619,共6页

采用浸渍-提拉法在单晶硅片表面成功制备了纳米厚度的具有不同烷基链长的离子液体超薄膜,系统考察了烷基链长对离子液体超薄膜微/纳摩擦学性能的影响.用Mettler热重分析仪测定了离子液体在氮气气氛条件下的热稳定性,采用多功能X射线光... 采用浸渍-提拉法在单晶硅片表面成功制备了纳米厚度的具有不同烷基链长的离子液体超薄膜,系统考察了烷基链长对离子液体超薄膜微/纳摩擦学性能的影响.用Mettler热重分析仪测定了离子液体在氮气气氛条件下的热稳定性,采用多功能X射线光电子能谱分析了离子液体超薄膜表面的化学组分,并用接触角仪测定了其亲/疏水性质,薄膜的表面形貌、黏着和纳米摩擦学性质采用原子力显微镜进行了测定,采用微摩擦试验机评价了薄膜的微摩擦学性质.结果表明:离子液体的侧链烷基链长对其作为超薄膜的纳米摩擦学和黏着性质有重要的影响,随着烷基链长的增加,黏着力和纳米摩擦力大幅度降低,但对其微摩擦性能影响不大.同时根据试验结果提出了离子液体超薄膜减摩抗磨机理. 展开更多

关键词 离子液体 超薄膜 链长 微/纳摩擦 黏着 原子力显微镜

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基于电沉积过渡层沉积CVD金刚石薄膜的研究 被引量：6

17

作者 卢文壮 左敦稳 +2 位作者 王珉 黎向锋 徐锋 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期13-17,共5页

在硬质合金的Cu、Ni、Cr电沉积过渡层上采用热丝CVD法沉积出金刚石薄膜。利用SEM和Raman对金刚石薄膜进行了研究,对影响膜基结合强度的因素进行了分析,利用压痕法对金刚石薄膜与基体的结合强度进行了检验。结果表明,在Cr过渡层上沉积的... 在硬质合金的Cu、Ni、Cr电沉积过渡层上采用热丝CVD法沉积出金刚石薄膜。利用SEM和Raman对金刚石薄膜进行了研究,对影响膜基结合强度的因素进行了分析,利用压痕法对金刚石薄膜与基体的结合强度进行了检验。结果表明,在Cr过渡层上沉积的金刚石薄膜的质量和膜基结合性能较好,优于在Cu、Ni过渡层上沉积的金刚石薄膜的质量和膜基结合性能。 展开更多

关键词 CVD金刚石膜 电沉积 过渡层 硬质合金 结合强度 热丝CVD法

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ZrO_2薄膜的力学性能和摩擦学性能研究 被引量：6

18

作者 王金清 刘晓红 +1 位作者 单小东 杨生荣 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期669-673,共5页

在单晶硅表面成功地获得了自组装单层薄膜 (MPTS SAM) ,并将薄膜表面的巯基 ( SH)完全氧化成磺酸基 ( SO3H) ,从而获得了磺酸化的MPTS SAM。采用静电自组装技术成功使ZrO2 纳米微粒组装到磺酸化的MPTS SAM表面获得淀积ZrO2 薄膜。将ZrO2... 在单晶硅表面成功地获得了自组装单层薄膜 (MPTS SAM) ,并将薄膜表面的巯基 ( SH)完全氧化成磺酸基 ( SO3H) ,从而获得了磺酸化的MPTS SAM。采用静电自组装技术成功使ZrO2 纳米微粒组装到磺酸化的MPTS SAM表面获得淀积ZrO2 薄膜。将ZrO2 薄膜分别在 5 0 0°C和 80 0°C进行热处理后 ,ZrO2 薄膜的厚度逐渐减小 ,这可能是随着温度的升高薄膜的表面密度逐渐增大所致。对ZrO2 薄膜的力学和抗划伤性能分析发现 :随着温度的升高 ,ZrO2 薄膜的硬度和弹性模量依次增加 ,同时薄膜的抗划伤性能也逐渐提高。摩擦磨损实验表明 :利用该方法制备的ZrO2 薄膜经 80 0°C烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层。 展开更多

关键词 氧化锆薄膜 力学性能 抗划伤性能 摩擦学性能

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可粘贴超疏水薄膜的制备 被引量：6

19

作者 马浩翔 来华 +3 位作者 张恩爽 吕通 成中军 刘宇艳 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期560-566,共7页

通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)与碳纤维织物复合,采用模板法在PDMS聚合物表面构筑微阵列结构,制备了一种具有可重复粘贴性的超疏水薄膜.研究结果表明,该薄膜微结构表面的接触角为154°,滚动角为14°,具有低黏附的超疏水特性.而PDMS... 通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)与碳纤维织物复合,采用模板法在PDMS聚合物表面构筑微阵列结构,制备了一种具有可重复粘贴性的超疏水薄膜.研究结果表明,该薄膜微结构表面的接触角为154°,滚动角为14°,具有低黏附的超疏水特性.而PDMS与碳纤维织物的紧密结合,赋予了超疏水薄膜较高的黏接力和力学性能,断裂强度达到116. 96 MPa.所制备的超疏水薄膜可粘贴于多种材料表面,同时经过30 d的长时间粘贴以及50次的循环粘贴后,该薄膜依然保持着较高的黏附性能及超疏水特征,表明超疏水薄膜具有良好的力学稳定性及耐久性,满足长时间可重复使用的要求,可应用于对破损超疏水涂层的快速、大面积粘贴修复. 展开更多

关键词 可粘贴超疏水薄膜 表面微结构 黏附性 修复

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高分子基材料表面改性研究进展 被引量：5

20

作者 高原 邢安 +2 位作者 殷军港 秦晓刚 刘惠涛 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期172-175,共4页

大多数高分子材料表面硬度低、耐划伤性能差,影响了其使用寿命和应用范围。在高分子基体材料表面制备防护薄膜是一种简单有效的解决方法,成为表面防护的研究热点。然而,大多数高分子及其复合材料的表面自由能低,薄膜与基体间固有的界面... 大多数高分子材料表面硬度低、耐划伤性能差,影响了其使用寿命和应用范围。在高分子基体材料表面制备防护薄膜是一种简单有效的解决方法,成为表面防护的研究热点。然而,大多数高分子及其复合材料的表面自由能低,薄膜与基体间固有的界面粘附力较差,制约了其实际应用。文中探讨了机械啮合、化学键合和热力学粘附等三种主要的粘附机理,阐述了高分子基体材料表面改性的研究进展,指出了不同改性方法的优缺点,提出了薄膜界面粘附力研究存在的问题和发展方向。 展开更多

关键词 高分子基体 表面改性 薄膜 粘附机理

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