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垂直腔面发射半导体激光器 被引量:13
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作者 李林 钟景昌 +1 位作者 苏伟 赵英杰 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2003年第2期68-72,共5页
描述了垂直腔面发射半导体激光器(VCSELs)的结构特点,比较了它与边发射激光器的不同。介绍了VCSELs的历史、现状、发展趋势和应用前景。
关键词 半导体激光器 垂直腔 面发射 VCSELS 边发射
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倍频外腔面发射激光器研究进展 被引量:2
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作者 蒋丽丹 张晓华 +3 位作者 詹小红 朱仁江 蒋茂华 张鹏 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2016年第9期1-9,共9页
腔内倍频垂直外腔面发射激光器(VECSEL)具有较大的腔内循环功率,能够获得较为理想的倍频转换效率。综述了腔内倍频VECSEL的研究进展,总结了不同倍频VECSEL中倍频晶体的使用情况,并通过倍频VECSEL获得的不同波长分析了倍频VECSEL的发展... 腔内倍频垂直外腔面发射激光器(VECSEL)具有较大的腔内循环功率,能够获得较为理想的倍频转换效率。综述了腔内倍频VECSEL的研究进展,总结了不同倍频VECSEL中倍频晶体的使用情况,并通过倍频VECSEL获得的不同波长分析了倍频VECSEL的发展趋势及未来工作所面临的一些问题。 展开更多
关键词 激光器 倍频 外腔 面发射激光器
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高质量的AlGaN外延结构和UVC垂直腔面发射激光器的实现 被引量:1
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作者 郑重明 王玉坤 +6 位作者 胡建正 郭世平 梅洋 龙浩 应磊莹 郑志威 张保平 《Science China Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第5期1978-1988,共11页
AlGaN基垂直腔面发射激光器(VCSEL)因其优越的材料性质和器件优点吸引了很多关注.然而,由于材料外延生长和器件制备工艺的局限,AlGaN基VCSEL制备很困难.本工作通过侧向外延生长技术制备了高质量的AlGaN多量子阱(MQWs)结构的外延片,并通... AlGaN基垂直腔面发射激光器(VCSEL)因其优越的材料性质和器件优点吸引了很多关注.然而,由于材料外延生长和器件制备工艺的局限,AlGaN基VCSEL制备很困难.本工作通过侧向外延生长技术制备了高质量的AlGaN多量子阱(MQWs)结构的外延片,并通过X射线衍射(XRD)和光致发光(PL)实验对外延片进行了分析.XRD测量显示,外延片中的AlN模板层几乎是弛豫的,刃位错密度为10^(9)cm^(-2).随后,生长的AlGaN/AlN超晶格(SL)层被用来减少刃位错密度,使得量子阱中的位错密度为10^(8)cm^(-2).根据PL测试结果,MQWs的内量子效率(IQE)为62%,且在室温下的发光以辐射复合为主.通过激光剥离(LLO)和化学机械抛光(CMP)技术,将这些外延片制备成UVC VCSEL.经过这些工艺,MQWs的晶体质量没有受到影响,还在抛光之后的表面观察到了UVC波段的受激辐射.这些AlGaN基UVC VCSEL在275.91,276.28和277.64 nm实现了激射,最小激射阈值为0.79 MW cm^(-2). 展开更多
关键词 ALGAN vertical-cavity surface-emitting lasers epitaxial lateral overgrowth laser lift-off UVC
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VCSEL氧化物限制工艺研究 被引量:2
4
作者 赵英杰 刘文莉 +4 位作者 李林 郝永芹 姜晓光 苏伟 晏长岭 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2004年第1期56-58,共3页
介绍了研制垂直腔面发射半导体激光器 (VCSEL)核心技术之一 ,氧化物限制工艺 ,讨论了温度与氧化速率之间的关系。
关键词 垂直腔 面发射 半导体激光器 VCSEL 氧化物限制工艺
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外腔面发射激光器中纳米结构的热导率 被引量:1
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作者 张鹏 蒋茂华 +2 位作者 朱仁江 崔玉亭 张玉 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期1-7,共7页
优化有源区的量子结构和改善热管理,是提高外腔面发射激光器输出功率的关键。以上两项措施都基于对激光器准确的热分析,依赖于热导率这一关键的材料参数。鉴于外腔面发射激光器中多量子阱和分布布拉格反射镜均为典型的纳米结构,考虑纳... 优化有源区的量子结构和改善热管理,是提高外腔面发射激光器输出功率的关键。以上两项措施都基于对激光器准确的热分析,依赖于热导率这一关键的材料参数。鉴于外腔面发射激光器中多量子阱和分布布拉格反射镜均为典型的纳米结构,考虑纳米尺度传热特性,用三种不同的解析方法,分别计算了不同厚度Ga As/Al As分布布拉格反射镜的热导率,并与已有实验报道对比,优选出更适合于计算Ga As/Al As材料系纳米结构热导率的一种方法。采用优选出的方法,对980 nm外腔面发射激光器中In Ga As/Ga As多量子阱和Ga As/Al As分布布拉格反射镜的热导率进行计算,发现分布布拉格反射镜的法向热导率只有块体材料数值的约40%,多量子阱的法向热导率则略小于块体材料数值的一半。把所得热导率数据用于增益芯片中温度上升的数值分析,结果与实验相符。 展开更多
关键词 激光器 热导率 面发射激光器 外腔 纳米结构
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Polarization Self-Modulation Phenomenon in a Free Oscillated Nd:YAG Laser
6
作者 杨乾锁 罗耕星 +2 位作者 邹念育 杨国伟 竺乃宜 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2005年第9期2278-2281,共4页
Polarization self-modulation effect in a free oscillated Nd:YAG laser is investigated after a quarter wave plate is introduced independently in the two positions of the cavity. As described in the previous experiment... Polarization self-modulation effect in a free oscillated Nd:YAG laser is investigated after a quarter wave plate is introduced independently in the two positions of the cavity. As described in the previous experiments, the intensity components in the orthogonal directions are modulated with a period of the round-trip time or twice. Different pulse shapes reveal that the seed field from the spontaneous emission is not uniform and seems to be stochastic for each pulse. 展开更多
关键词 surface-emitting lasers CAVITY
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Time-delay signature concealment of polarizationresolved chaos outputs in vertical-cavity surface-emitting lasers with variable-polarization filtered optical feedback 被引量:1
7
作者 周立 夏光琼 +3 位作者 钟祝强 吴加贵 王顺天 吴正茂 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第9期39-43,共5页
Through employing permutation entropy and the self-correlation function, the time-delay signature (TDS) of a vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL) with variable-polarization filtered optical feedback (VP... Through employing permutation entropy and the self-correlation function, the time-delay signature (TDS) of a vertical-cavity surface-emitting laser (VCSEL) with variable-polarization filtered optical feedback (VPFOF) is evaluated theoretically. The work shows that the feedback rate η, polarizer angle Op, and filter bandwidth A have an obvious influence on the TDS. The evolution maps of the TDS in parameter space (η, A) and (ηθp) are simulated for searching the chaos with weak TDS. Furthermore, compared with a VCSEL with polarization-preserved filtered optical feedback and a VCSEL with variable-polarization mirror optical feedback, this VPFOF-VCSEL shows superiority in TDS suppression. 展开更多
关键词 VCSEL TDS Time-delay signature concealment of polarizationresolved chaos outputs in vertical-cavity surface-emitting lasers with variable-polarization filtered optical feedback
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Polarization-Stable 980 nm Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers with Diamond-Shaped Oxide Aperture 被引量:1
8
作者 武华 李冲 +6 位作者 韩明夫 王文娟 史磊 刘巧莉 刘白 董建 郭霞 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第4期58-61,共4页
Polarization-stable 980 nm oxide-confined vertical-cavity surface-emitting lasers with 3 μm diamond-shaped aper- ture are fabricated by comprehensively utilizing the anisotropic properties of wet etching and wet nitr... Polarization-stable 980 nm oxide-confined vertical-cavity surface-emitting lasers with 3 μm diamond-shaped aper- ture are fabricated by comprehensively utilizing the anisotropic properties of wet etching and wet nitrogen oxida- tion of Ⅲ-Ⅴ semiconductor materials. Polarization-stable operation along the major axis of the diamond-shaped oxide aperture with 11 dB orthogonal polarization suppression ratio is achieved in a temperature range of 15-55℃ from the threshold to 4 mA. 展开更多
关键词 Polarization-Stable 980 nm Vertical-Cavity surface-emitting lasers with Diamond-Shaped Oxide Aperture VCSEL
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Stable anticipation synchronization in mutually coupled vertical-cavity surface-emitting lasers system
9
作者 江宁 潘炜 +2 位作者 罗斌 张伟利 郑狄 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第7期517-519,共3页
Two vertical-cavity surface-emitting lasers(VCSELs) are mutually coupled through a partially transparent mirror (PTM) placed in the pathway. The PTM plays the role of external mirror, which controls the feedback s... Two vertical-cavity surface-emitting lasers(VCSELs) are mutually coupled through a partially transparent mirror (PTM) placed in the pathway. The PTM plays the role of external mirror, which controls the feedback strength and coupling strength. We numerically simulate this system by establishing a visible SIMULINK model. The results demonstrate that the anticipation synchronization is achieved and it can tolerate some extent frequency detuning. Moreover, the system shows similar chaos-pass filtering effect on unidireetionally coupled system even both VCSELs are modulated. This system allows simultaneously bidirectional secure message transmission on public channels. 展开更多
关键词 VCSEL PTM Stable anticipation synchronization in mutually coupled vertical-cavity surface-emitting lasers system
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Rate-equation-based VCSEL thermal model and simulation
10
作者 LIU Jie CHEN Wen-lu LI Yu-quan 《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第12期1968-1972,共5页
In this paper, we present a simple thermal model of Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser (VCSEL) light-current (L1) characteristics based on the rate-equation. The model can be implemented in conventional SPICE-... In this paper, we present a simple thermal model of Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser (VCSEL) light-current (L1) characteristics based on the rate-equation. The model can be implemented in conventional SPICE-like circuit simulators, including HSPICE, and be used to simulate the key features of VCSEL. The results compare favorably with experimental data from a device reported in the literature. The simple empirical model is especially suitable for Computer Aided Design (CAD), and greatly simplifies the design of optical communication systems. 展开更多
关键词 Carrier leakage Vertical-Cavity surface-emitting lasers (VCSELs) Rate-equation Thermal model SPICE simulation
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850 nm Implant-confined VCSEL Temperature Characteristics
11
作者 LILin ZHONGJing-chang LIUWen-li ZHAOYing-jie ZHANGYong-ming SUWei 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2004年第1期35-37,共3页
The temperature characteristics of VCSEL using proton implantation are described,compared with its edge-emitting counterpart.Implant-confined VCSEL operation has been realized up to 120 ℃.These records of high operat... The temperature characteristics of VCSEL using proton implantation are described,compared with its edge-emitting counterpart.Implant-confined VCSEL operation has been realized up to 120 ℃.These records of high operating temperature are caused by high characteristic temperature. The relevant physical mechanisms including their dependence on temperature and carrier density are considered. The temperature sensitivity of the threshold current is not strongly increasing with higher temperature. 展开更多
关键词 Temperature characteristic Vertical-cavity surface-emitting lasers Optical losses Laser measurements Laser thermal factors
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Effect of Mesa Size on Thermal Characteristics of Ver tical-cavity Surface-emitting Lasers
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作者 HOU Shi-hua ZHAO Ding +2 位作者 SUN Yong-wei TAN Man-qing CHEN Liang-hui 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2005年第3期170-173,共4页
The effect of mesa size on th e thermal characteristics of etched mesa vertical-cavity surface-emitting lase rs(VCSELs) is studied. The numerical results show that the mesa size of the top mirror strongly influences t... The effect of mesa size on th e thermal characteristics of etched mesa vertical-cavity surface-emitting lase rs(VCSELs) is studied. The numerical results show that the mesa size of the top mirror strongly influences the temperature distribution inside the etched mesa V CSEL. Under a certain driving voltage, with decreasing mesa size, the location o f the maximal temperature moves towards the p-contact metal, the temperature in the core region of the active layer rises greatly, and the thermal characterist ics of the etched mesa VCSELs will deteriorate. 展开更多
关键词 Vertical-cavity surface-emitting lasers Etched mesa Mesa size Temperature distribution Location of the maximal temperature Finite difference method
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单模直调垂直腔面发射激光器研究进展 被引量:14
13
作者 刘安金 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期55-70,共16页
垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有尺寸小、功耗低、效率高、调制带宽大、寿命长、圆形光束、在片测试、易于二维阵列排列等优点,广泛应用于数据通信、传感、激光雷达、材料加工等领域。这些应用通常要求VCSEL具有优异的模式、速率、能效... 垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有尺寸小、功耗低、效率高、调制带宽大、寿命长、圆形光束、在片测试、易于二维阵列排列等优点,广泛应用于数据通信、传感、激光雷达、材料加工等领域。这些应用通常要求VCSEL具有优异的模式、速率、能效、高温性能等。人们基于“分离”限制思路发展了多种单模新型氧化限制VCSEL。采用新型VCSEL结构、改善有源区性能、减小寄生效应和减小热效应等方法,VCSEL在速率、功耗、高温性能等方面取得了显著进展。光子超结构具有优异的性能,它为VCSEL控制模式和光场,以及其和平面光子回路的集成提供了新思路。 展开更多
关键词 激光器 垂直腔面发射激光器 单模 调制速率 光子超结构
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单端反馈互耦合垂直腔面发射激光器混沌输出的时延特征和带宽分析 被引量:12
14
作者 张晓旭 吴天安 +1 位作者 常凯歌 张胜海 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期61-67,共7页
针对无反馈互耦合垂直腔面发射激光器(VCSELs)系统的混沌输出不能同时实现时延特征隐藏和带宽展宽的问题,通过对无反馈互耦合VCSELs系统中的一个激光器增加外反馈,数值分析了单端反馈互耦合VCSELs混沌输出的时延特征和带宽。结果表明,... 针对无反馈互耦合垂直腔面发射激光器(VCSELs)系统的混沌输出不能同时实现时延特征隐藏和带宽展宽的问题,通过对无反馈互耦合VCSELs系统中的一个激光器增加外反馈,数值分析了单端反馈互耦合VCSELs混沌输出的时延特征和带宽。结果表明,反馈强度、频率失谐和互耦合强度影响单端反馈互耦合VCSELs混沌输出的时延特征和带宽。有反馈端激光器不能同时实现时延特征隐藏和带宽展宽,无反馈端激光器可以在合适的互耦合强度和频率失谐参数区间内同时实现时延特征隐藏和带宽展宽。改变反馈强度不影响无反馈端激光器实现时延特征隐藏质量和带宽,但会影响无反馈端激光器同时实现时延特征隐藏和带宽展宽的频率失谐区域位置,且增大反馈强度时频率失谐区域位置整体向负失谐区域移动。 展开更多
关键词 激光器 垂直腔面发射激光器 时延特征 带宽
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光子晶体垂直腔面发射激光器的设计分析 被引量:10
15
作者 潘智鹏 李伟 +4 位作者 戚宇轩 吕家纲 刘素平 仲莉 马骁宇 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第14期123-129,共7页
光子晶体垂直腔面发射激光器(PCVCSEL)是在传统的氧化限制型垂直腔面发射激光器(VCSEL)的基础上引入二维光子晶体结构的一种新型激光器,可以实现大功率的基横模输出。提出了PCVCSEL结构的合理设计方法,当归一化频率Veff位于2.405附近时... 光子晶体垂直腔面发射激光器(PCVCSEL)是在传统的氧化限制型垂直腔面发射激光器(VCSEL)的基础上引入二维光子晶体结构的一种新型激光器,可以实现大功率的基横模输出。提出了PCVCSEL结构的合理设计方法,当归一化频率Veff位于2.405附近时实现了稳定的基横模输出。通过二维等效折射率模型分析对比了基横模PCVCSEL和缩小氧化孔径实现基横模的传统VCSEL,前者可以实现更大的横向限制并具备更宽的光场宽度。通过热电耦合模型分析了PCVCSEL的电流分布和温度分布,证明电流和热量主要集中在氧化限制孔所对应的区域。成功制备出了单模输出功率达到1.6 mW的PCVCSEL,其激射波长为932 nm。 展开更多
关键词 激光器 垂直腔面发射激光器 光子晶体 基横模 二维等效模型 热电耦合
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VCSEL中布拉格反射体的电流机制和伏安特性 被引量:8
16
作者 康香宁 陈良惠 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期50-54,59,共6页
采用张弛法数值求解静电势的泊松方程 ,得出垂直腔面发射激光器 (VCSEL)中 N型和 P型分布布拉格反射体 (DBR)中一个周期单元的精确能带图。并以此为依据 ,从理论上分别分析和比较了多子漂移扩散、纯漂移和热电子发射电流机制所起的作用... 采用张弛法数值求解静电势的泊松方程 ,得出垂直腔面发射激光器 (VCSEL)中 N型和 P型分布布拉格反射体 (DBR)中一个周期单元的精确能带图。并以此为依据 ,从理论上分别分析和比较了多子漂移扩散、纯漂移和热电子发射电流机制所起的作用。指出由一对反对称同型异质结构成的 DBR一个周期单元总是表现出欧姆性 ,但热电子发射电流机制的存在容易使每个结呈现整流特性 ,以致在电流输运过程中起主要作用的是其反向特性 ,导致偏压和电阻过大器件不能正常工作。但是漂移扩散机制具有明显欧姆性 ,在利用缓变 展开更多
关键词 VCSEL 垂直腔面发射激光器 布拉格反射体 扩散漂移电流 热电子发射电流
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Power-induced polarization switching and bistability characteristics in 1550-nm VCSELs subjected to orthogonal optical injection 被引量:8
17
作者 陈建军 夏光琼 吴正茂 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期186-190,共5页
The polarization switching(PS) and polarization bistability(PB) characteristics of a 1550-nm vertical-cavity surfaceemitting laser(VCSEL) subjected to orthogonal optical injection are systematically investigated... The polarization switching(PS) and polarization bistability(PB) characteristics of a 1550-nm vertical-cavity surfaceemitting laser(VCSEL) subjected to orthogonal optical injection are systematically investigated.The simulated results show that the PS and polarization-resolved nonlinear dynamical states of the VCSEL are critically dependent on the changing paths of the injected power.The polarization dynamics for different scanning directions of the injected power is presented to explain the polarization evolution during the formation of PS.In the case of forward scanning injected power,with the increase of frequency detuning level between the VCSEL and the injected light,the injected power required for PS gradually increases for negative frequency detuning but exhibits fluctuations for positive frequency detuning.In the case of reversely scanning injected power,the injected power required for PS displays fluctuant changes within the whole frequency detuning range.Specifically,PS may disappear under certain negative frequency detuning and large bias current.Furthermore,the hysteresis width as a function of the frequency detuning is calculated,and the regions for the appearance and disappearance of PB have been determined in the parameter space of the bias current and frequency detuning. 展开更多
关键词 1550-nm vertical-cavity surface-emitting lasers orthogonal optical injection polarization switching polarization bistability
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基于PAM4制的高速垂直腔面发射激光器研究进展 被引量:9
18
作者 杨卓凯 田思聪 +4 位作者 LARISCH Gunter 贾晓卫 佟存柱 王立军 BIMBERG Dieter 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期399-413,共15页
短距离光互联技术在云计算、5G通信、物联网技术等方面有重要的商业应用价值。基于高速垂直腔面发射激光器(Vertical-cavity surface-emitting laser,VCSEL)与多模光纤组成链路、采用直接调制检测、并使用如四电平脉冲幅度调制(Four-lev... 短距离光互联技术在云计算、5G通信、物联网技术等方面有重要的商业应用价值。基于高速垂直腔面发射激光器(Vertical-cavity surface-emitting laser,VCSEL)与多模光纤组成链路、采用直接调制检测、并使用如四电平脉冲幅度调制(Four-level pulse amplitude modulation,PAM4)等的高阶调制模式是现阶段短距离光互联链路方案的首选。本文首先介绍了短距离光互联应用的研究现状;第二部分介绍了VCSEL的发展、结构以及动态参数;第三部分介绍了PAM4调制方法及伴随使用的各种电子技术(均衡,前向纠错,脉冲整形);第四部分介绍了提高单链路速率的波分复用(Wavelength division multiplexing,WDM)技术;最后对以高速VCSEL、多模光纤、直接调制检测、PAM4调制以及波分复用技术的短距离光互联方案应用前景做了总结和展望。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 高速调制 四电平脉冲幅度调制(PAM4) 波分复用
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808nm垂直腔面发射激光器阵列抽运的全固态激光器研究进展 被引量:7
19
作者 刘芳华 龚鑫 +2 位作者 张雅楠 孟俊清 陈卫标 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第12期1-10,共10页
与传统的边发射半导体激光器相比,垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有线宽窄、光束质量好、可靠性高和制造成本低等优点。随着808nm VCSEL阵列的输出功率和转换效率的提高,VCSEL阵列成为了固态激光器抽运源的新选择。介绍了VCSEL的性能优势... 与传统的边发射半导体激光器相比,垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有线宽窄、光束质量好、可靠性高和制造成本低等优点。随着808nm VCSEL阵列的输出功率和转换效率的提高,VCSEL阵列成为了固态激光器抽运源的新选择。介绍了VCSEL的性能优势、应用场合及发展现状,综述了VCSEL阵列抽运的固态激光器的研究进展,讨论了其技术缺陷及发展前景。 展开更多
关键词 激光器 全固态激光器 垂直腔面发射激光器 高功率激光
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半导体可饱和吸收镜实现超短高功率脉冲激光研究进展 被引量:8
20
作者 舒强 舒永春 +4 位作者 刘如彬 陈琳 姚江宏 许京军 王占国 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期197-199,210,共4页
介绍了半导体可饱和吸收镜(SESAM)的基本结构及使用半导体可饱和吸收镜被动锁模固态激光器的基本原理。综述了利用半导体可饱和吸收镜被动锁模薄片式固态激光器及光泵浦垂直外腔面发射半导体激光器,获得高平均输出功率超短脉冲的最新进... 介绍了半导体可饱和吸收镜(SESAM)的基本结构及使用半导体可饱和吸收镜被动锁模固态激光器的基本原理。综述了利用半导体可饱和吸收镜被动锁模薄片式固态激光器及光泵浦垂直外腔面发射半导体激光器,获得高平均输出功率超短脉冲的最新进展,并指出量子点半导体可饱和吸收镜的使用将加速超短高功率脉冲的发展。 展开更多
关键词 激光技术 半导体可饱和吸收镜 被动锁模 薄片式固态激光器 光泵浦垂直外腔面发射半导体激光器
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