载锰活性炭纤维(SACF-Mn)的制备及对乙基硫醇吸附性能的研究ⅠSACF-Mn的制备及结构研究 被引量：6

1

作者 杜秀英 陆耘 +1 位作者 符若文 曾汉民 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 1998年第4期13-18,共6页

制备了载锰剑麻基活性炭纤维（ＳＡＣＦ－Ｍｎ），并研究了制备条件对ＳＡＣＦ－Ｍｎ的结构及表面形态的影响。研究表明：增大锰溶液的浓度，提高ｐＨ值，高价态的锰离子都有利于ＳＡＣＦ对锰的吸附；锰化合物的阴离子类型，不仅影响Ｓ... 制备了载锰剑麻基活性炭纤维（ＳＡＣＦ－Ｍｎ），并研究了制备条件对ＳＡＣＦ－Ｍｎ的结构及表面形态的影响。研究表明：增大锰溶液的浓度，提高ｐＨ值，高价态的锰离子都有利于ＳＡＣＦ对锰的吸附；锰化合物的阴离子类型，不仅影响ＳＡＣＦ对锰的吸附。 展开更多

关键词 活性炭纤维 锰盐 结构 表面形态 乙基硫醇 吸附

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微弧氧化工艺对Ti-6Al-4V钛合金表面氧化膜厚度及表面形态的影响 被引量：8

2

作者 荣晖 马凤仓 +4 位作者 刘平 李伟 刘新宽 陈小红 何代华 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2014年第12期23-27,共5页

为了提高Ti-6Al-4V钛合金表面的生物活性,在乙酸钙和磷酸二氢钠溶液中对Ti-6Al-4V钛合金进行微弧氧化,研究氧化时间、电压、占空比等对氧化膜厚度及其表面形态的影响。结果表明,在一定条件下,随氧化时间的增加,氧化膜厚度以指数关系增加... 为了提高Ti-6Al-4V钛合金表面的生物活性,在乙酸钙和磷酸二氢钠溶液中对Ti-6Al-4V钛合金进行微弧氧化,研究氧化时间、电压、占空比等对氧化膜厚度及其表面形态的影响。结果表明,在一定条件下,随氧化时间的增加,氧化膜厚度以指数关系增加,而膜层表面孔洞逐渐变小,最终封闭;随着电压的提高,膜层厚度增加平缓,但电压过大时,膜层反而变薄,氧化膜表面微孔的数量减少,但微孔的孔径逐渐增大;占空比的提高使得膜层厚度增加,同时伴随有膜层孔洞分布的均匀性变差,表面粗糙度增加。 展开更多

关键词 TI-6AL-4V钛合金 微弧氧化参数 氧化膜 厚度 表面形态

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AZ31合金用于镁二次电池负极材料的电化学性能 被引量：7

3

作者 石春梅 曾小勤 +2 位作者 常建卫 努丽燕娜 丁文江 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期885-890,共6页

采用扣式电池循环伏安测试(CV)、充放电测试和扫描电子显微(SEM)技术,研究AZ31合金与工业纯镁(99.95%)作为镁二次电池负极材料时的电化学性能和镁在电极表面的沉积形貌。结果表明:作为镁二次电池的负极材料,AZ31合金与工业纯镁相比,其... 采用扣式电池循环伏安测试(CV)、充放电测试和扫描电子显微(SEM)技术,研究AZ31合金与工业纯镁(99.95%)作为镁二次电池负极材料时的电化学性能和镁在电极表面的沉积形貌。结果表明:作为镁二次电池的负极材料,AZ31合金与工业纯镁相比,其镁的溶解-沉积的过电位稍高,初始循环过程的库仑效率略低,但长期循环的库仑效率稳定,并能有效抑制枝晶镁的形成,且其长期循环性能优于工业纯镁的。 展开更多

关键词 镁二次电池 AZ31合金 工业纯镁 负极材料 电化学性能 表面形貌

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磁控溅射制备钛薄膜的结构和光学性质 被引量：5

4

作者 吴杨微 郑明志 +3 位作者 林丽梅 林建平 郑卫锋 赖发春 《福建师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期31-35,共5页

利用直流磁控溅射技术在石英基片上沉积厚度为35～112nm的钛薄膜.采用X射线衍射仪和原子力显微镜分别对薄膜的微结构和表面形貌进行观测,用分光光度计测量样品的透射和反射光谱.选用德鲁特光学介电模型,通过拟合样品的透射和反射光谱数... 利用直流磁控溅射技术在石英基片上沉积厚度为35～112nm的钛薄膜.采用X射线衍射仪和原子力显微镜分别对薄膜的微结构和表面形貌进行观测,用分光光度计测量样品的透射和反射光谱.选用德鲁特光学介电模型,通过拟合样品的透射和反射光谱数据的方法求解钛薄膜的折射率、消光系数和厚度.结果表明,随着厚度的增加,(100)面衍射峰强度增强,薄膜的结晶性能提高;膜厚为56nm时,样品的表面为多孔结构,而大于56nm时表面为连续膜的球形颗粒结构;随膜厚的增加,表面颗粒直径逐渐增大,表面粗糙度减小.在400～2 000nm波长范围内,薄膜的透射率随膜厚的增加而减小,反射率升高;折射率在2.5与3.4之间,消光系数在0.7与1.4之间,折射率和消光系数均随膜厚的增加而增加. 展开更多

关键词 钛 薄膜 光学性质 表面形貌

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双离子束溅射制备近红外窄带通滤光片的光谱和表面形貌 被引量：5

5

作者 陈刚 刘定权 +3 位作者 马冲 王凯旋 张莉 高凌山 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第21期206-212,共7页

为了观测大气层中的水汽含量以及CH4和CO2的浓度,在蓝宝石(Al2O3)基片上制备了两种窄带通滤光片,其中心波长分别为1375nm和1610nm,带宽分别为15nm和60nm,透过率均达到了95%。基于法布里-珀罗腔结构设计了带通滤光膜系,并对其进行了优化... 为了观测大气层中的水汽含量以及CH4和CO2的浓度,在蓝宝石(Al2O3)基片上制备了两种窄带通滤光片,其中心波长分别为1375nm和1610nm,带宽分别为15nm和60nm,透过率均达到了95%。基于法布里-珀罗腔结构设计了带通滤光膜系,并对其进行了优化。与电子束蒸镀薄膜相比,采用双离子束溅射沉积方法制备的Nb2O5/SiO2滤光片薄膜,其表面质量明显改善,缺陷减少,表面粗糙度均方根降低到1nm以下,显著改善了与光电探测器光耦合时的不均匀性。 展开更多

关键词 薄膜 离子束溅射沉积 窄带通滤光片 表面形貌

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超疏水表面形貌对层流减阻的数值模拟 被引量：4

6

作者 喻超 陈晓玲 孙蕾 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期312-316,322,共6页

为了研究超疏水表面形貌结构对其流动减阻的影响,设计了4种不同形貌的表面结构.针对超疏水表面的流动特点,建立微通道气-液两相流动的VOF(Volume of Fluid)模型,对超疏水表面在层流状态下的表面形貌结构对流动减阻的影响规律进行了研究... 为了研究超疏水表面形貌结构对其流动减阻的影响,设计了4种不同形貌的表面结构.针对超疏水表面的流动特点,建立微通道气-液两相流动的VOF(Volume of Fluid)模型,对超疏水表面在层流状态下的表面形貌结构对流动减阻的影响规律进行了研究.结果表明,超疏水表面的减阻效果随微凸起间距的增大而明显增大,而与微凸起高度的变化关系不大,且三角形和圆顶矩形微凸起结构表面比圆形和平顶矩形微凸起结构表面具有更好的减阻效果. 展开更多

关键词 超疏水表面 表面形貌 层流 流动减阻 数值模拟

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a-C:F薄膜的工艺及热稳定性研究 被引量：4

7

作者 李幼真 刘雄飞 +1 位作者 肖剑荣 张云芳 《真空电子技术》 2004年第3期23-26,共4页

以CF4和CH4为源气体,用PECVD法制备了不同沉积条件下的a C:F薄膜,测量了薄膜的厚度,研究了薄膜沉积速率和沉积工艺的关系,用傅立叶变换红外谱(FTIR)分析了薄膜的化学键结构,用扫描电镜和原子力显微镜分析了薄膜表面形貌,对薄膜在真空中... 以CF4和CH4为源气体,用PECVD法制备了不同沉积条件下的a C:F薄膜,测量了薄膜的厚度,研究了薄膜沉积速率和沉积工艺的关系,用傅立叶变换红外谱(FTIR)分析了薄膜的化学键结构,用扫描电镜和原子力显微镜分析了薄膜表面形貌,对薄膜在真空中进行了退火,研究了薄膜的热稳定性。实验表明,沉积速率在5～8nm/min之间,薄膜表面平整、致密,在300℃内有较好的热稳定性。 展开更多

关键词 PECVD 沉积速率 a-C:F薄膜 表面形貌

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浸铝硅石墨复合材料氧化及滑动磨损性能 被引量：3

8

作者 阎冬 李自起 +1 位作者 姜超 商剑 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期69-72,共4页

为研究浸铝硅石墨材料在高温下动态密封性能,采用环块式磨损试验机考察浸铝硅石墨材料在高温下的抗氧化性能及室温下的干滑动磨损性能,通过光学及电子显微镜、X射线衍射表征浸铝硅石墨氧化表面及磨损表面形貌及组成,探讨浸铝硅石墨的氧... 为研究浸铝硅石墨材料在高温下动态密封性能,采用环块式磨损试验机考察浸铝硅石墨材料在高温下的抗氧化性能及室温下的干滑动磨损性能,通过光学及电子显微镜、X射线衍射表征浸铝硅石墨氧化表面及磨损表面形貌及组成,探讨浸铝硅石墨的氧化及磨损机制。结果表明,与石墨材料相比,浸铝硅石墨在300-500℃范围内具有较好的抗氧化能力;由于铝的浸渗,提高了基体材料的强度及承载能力,而其中的石墨在磨损过程中可在磨损表面形成一层摩擦层,因而显著提高了材料的抗磨性能。 展开更多

关键词 浸铝硅石墨 显微组织 滑动磨损 氧化 表面形貌

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钨酸钠和次磷酸钠浓度对脉冲电镀CeO_2-SiO_2/Ni-W-P纳米复合薄膜组织及性能的影响 被引量：3

9

作者 徐瑞东 王军丽 +1 位作者 郭忠诚 王华 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期106-112,共7页

通过Ni、W、P与CeO2和SiO2纳米颗粒的脉冲共沉积,在碳钢表面制备了CeO2-SiO2/Ni-W-P纳米复合薄膜,主要研究了电解液中钨酸钠和次磷酸钠浓度对纳米复合薄膜组织及性能的影响,采用化学组成、沉积速率、显微硬度和表面形貌进行表征。结果表... 通过Ni、W、P与CeO2和SiO2纳米颗粒的脉冲共沉积,在碳钢表面制备了CeO2-SiO2/Ni-W-P纳米复合薄膜,主要研究了电解液中钨酸钠和次磷酸钠浓度对纳米复合薄膜组织及性能的影响,采用化学组成、沉积速率、显微硬度和表面形貌进行表征。结果表明,当钨酸钠和次磷酸钠浓度分别为100和4 g/L时,纳米复合薄膜的沉积速率和显微硬度较高,分别为25.03μm/h和HV649。增加钨酸钠浓度,纳米复合薄膜晶粒得到细化。当钨酸钠浓度提高到160 g/L时,基质金属晶粒轮廓清晰,细小而均匀,呈规则的圆球型,CeO2、SiO2纳米颗粒均匀弥散分布在Ni-W-P基质金属中。次磷酸钠浓度的增加对纳米复合薄膜的表面形貌影响较小,但会明显降低显微硬度。 展开更多

关键词 纳米复合薄膜 显微硬度 表面形貌 脉冲电镀 性能

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纳滤和反渗透膜形貌结构与膜性能关系探索 被引量：3

10

作者 王伟 陈中海 +1 位作者 潘巧明 谭惠芬 《工业水处理》 CAS CSCD 北大核心 2016年第7期39-42,共4页

纳滤和反渗透膜表面形貌结构、亲疏水性的性质与膜脱盐率、水通量等性能存在一定关系。对几款商用纳滤、反渗透膜进行表面形貌结构、表面粗糙度、亲水性表征。结果表明,纳滤膜表面平整粗糙度低、亲水性强、脱盐率较低,但水通量高。反渗... 纳滤和反渗透膜表面形貌结构、亲疏水性的性质与膜脱盐率、水通量等性能存在一定关系。对几款商用纳滤、反渗透膜进行表面形貌结构、表面粗糙度、亲水性表征。结果表明,纳滤膜表面平整粗糙度低、亲水性强、脱盐率较低,但水通量高。反渗透膜表面存在大量疏松的峰谷结构,比纳滤膜粗糙度更大、亲水性强。对比两款海水反渗透膜,推测调整反渗透膜"叶片"大小和数量可调节反渗透膜的脱盐率和水通量性能。 展开更多

关键词 纳滤膜 反渗透膜 表面形貌 膜性能

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磁控溅射制备Au纳米颗粒及其局域表面等离激元共振特性研究 被引量：2

11

作者 董大银 潘傲秋 +3 位作者 李培刚 沈静琴 王顺利 李超荣 《浙江理工大学学报（自然科学版）》 2015年第6期882-886,共5页

通过磁控溅射的方法在石英衬底上沉积了Au薄膜,经过热退火处理形成了不同表面形貌和尺寸的Au纳米颗粒。通过XRD、AFM和紫外可见光谱研究了薄膜的质量、表面形貌、尺寸和光谱特性,分析了不同表面形貌和尺寸的Au纳米颗粒对局域表面等离激... 通过磁控溅射的方法在石英衬底上沉积了Au薄膜,经过热退火处理形成了不同表面形貌和尺寸的Au纳米颗粒。通过XRD、AFM和紫外可见光谱研究了薄膜的质量、表面形貌、尺寸和光谱特性,分析了不同表面形貌和尺寸的Au纳米颗粒对局域表面等离激元共振的影响。研究表明:随着退火温度的升高,Au薄膜由各向异性的蠕虫状结构逐渐变成规则的纳米颗粒,退火温度越高,Au纳米颗粒越接近于圆形,颗粒间距越大,导致局域表面等离激元共振峰位发生蓝移,半峰宽变窄;另外溅射时间对Au纳米颗粒的影响也很大,随着溅射时间的增加,颗粒尺寸变大,变得不再均匀,局域表面等离激元共振峰发生红移、宽化和向长波段上扬。 展开更多

关键词 Au薄膜 局域表面等离激元共振 热退火 表面形貌

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不同等温温度对珠光体型高铁车轮钢组织及耐磨性的影响 被引量：2

12

作者 娄殿川 赵爱民 +1 位作者 裴伟 刘涵赜 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2020年第11期56-61,共6页

利用激光共聚焦显微镜和扫描电镜对一种珠光体型高铁车轮钢的组织和磨损形貌等进行了观察,研究了不同等温温度对其组织及耐磨性的影响。试验结果表明:在珠光体转变温度内对试验钢进行热处理得到了珠光体组织,随着等温温度的升高,珠光体... 利用激光共聚焦显微镜和扫描电镜对一种珠光体型高铁车轮钢的组织和磨损形貌等进行了观察,研究了不同等温温度对其组织及耐磨性的影响。试验结果表明:在珠光体转变温度内对试验钢进行热处理得到了珠光体组织,随着等温温度的升高,珠光体片层间距增加,珠光体团尺寸减小,试验钢的显微硬度减小,珠光体钢的磨损量则增加。使用Si C粒度大的砂纸研磨后,珠光体钢的磨损量也增加了。珠光体钢的磨损表面呈现深浅程度不一的犁沟,磨损表面还存在一系列的剥离坑和细小的微裂纹,犁沟深度随着等温温度升高而逐渐增加。充分证明了珠光体片层间距越小的试验钢,其耐磨性能也越优异。 展开更多

关键词 珠光体型高铁车轮钢 等温温度 磨料磨损 表面形貌 耐磨性

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BST薄膜的磁增强反应离子刻蚀研究 被引量：2

13

作者 张柏顺 全祖赐 +1 位作者 郭涛 章天金 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期10-13,共4页

分别以CF4/Ar和CF4/Ar/O2作为刻蚀气体,采用磁增强反应离子刻蚀(MERIE)技术对sol-gel法制备的BST薄膜进行刻蚀。结果表明,刻蚀速率与刻蚀气体的混合比率呈现非单调特性。当CF4/Ar的气体流量比R(CF4:Ar)为10:40时,刻蚀速率达到极大值。当... 分别以CF4/Ar和CF4/Ar/O2作为刻蚀气体,采用磁增强反应离子刻蚀(MERIE)技术对sol-gel法制备的BST薄膜进行刻蚀。结果表明,刻蚀速率与刻蚀气体的混合比率呈现非单调特性。当CF4/Ar的气体流量比R(CF4:Ar)为10:40时,刻蚀速率达到极大值。当CF4/Ar/O2的气体流量比R(CF4:Ar:O2)为9:36:5时,刻蚀速率达到最大值,最大刻蚀速率为8.47nm/min。原子力显微镜(AFM)分析表明,刻蚀后的薄膜表面粗糙度变大。对刻蚀后的薄膜再进行适当的热处理,可以去除部分残留物。 展开更多

关键词 无机非金属材料 BST薄膜 MERLE 刻蚀速率 表面形貌

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微弧氧化法制备BaTiO_3薄膜的结构特性 被引量：1

14

作者 韩冰 李文芳 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期117-120,共4页

利用微弧氧化技术在钛衬底上制备了钛酸钡铁电薄膜.利用x射线(XRD)、扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)等手段研究了电流密度和电解液浓度对微弧氧化薄膜的化学成分、相组成、结构和表面形貌的影响.结果表明,随着电流密度和电解液浓度的增加,B... 利用微弧氧化技术在钛衬底上制备了钛酸钡铁电薄膜.利用x射线(XRD)、扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)等手段研究了电流密度和电解液浓度对微弧氧化薄膜的化学成分、相组成、结构和表面形貌的影响.结果表明,随着电流密度和电解液浓度的增加,BaTiO3的形成能力增强,薄膜的致密度下降,表面粗糙度增加;当Ba(OH)2浓度为0.2 mol/l,电流密度为5 A/cm2,微弧氧化反应18 min后,可获得具有较高简单四方结构和底心正交结构BaTiO3含量的薄膜,且薄膜与衬底具有良好的结合性能. 展开更多

关键词 微弧氧化 铁电薄膜 BATIO3 结构 表面形貌

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磁控共溅射沉积Al-Al_2O_3复合膜的结构与性能 被引量：1

15

作者 王凯亮 孙勇 +2 位作者 郭中正 段永华 孙国琪 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期184-189,共6页

用直流(DC)和射频(RF)磁控共溅射法在硅衬底上制备Al-Al_2O_3复合膜,用射频磁控溅射Al_2O_3膜作对比。通过XPS、XRD、HRTEM、FESEM和SPM研究了Al-Al_2O_3复合膜和纯Al_2O_3膜的微观结构和表面形貌,用纳米压痕仪和材料表面性能测试仪测... 用直流(DC)和射频(RF)磁控共溅射法在硅衬底上制备Al-Al_2O_3复合膜,用射频磁控溅射Al_2O_3膜作对比。通过XPS、XRD、HRTEM、FESEM和SPM研究了Al-Al_2O_3复合膜和纯Al_2O_3膜的微观结构和表面形貌,用纳米压痕仪和材料表面性能测试仪测试了样品的显微硬度和抗摩擦磨损性能。结果表明,当射频功率PRF恒定时,Al-Al_2O_3复合膜中Al相的含量和晶粒尺寸与直流功率PDC呈正比关系,Al的加入使Al-Al_2O_3复合膜中非晶态的Al_2O_3颗粒细化,相比纯Al_2O_3膜,表面粗糙度明显降低,并对复合膜力学性能产生影响。Al-Al_2O_3复合膜的硬度高于纯Al_2O_3膜,并具有更加优异的抗摩擦磨损性。直流功率PDC=50 W时,Al-Al_2O_3复合膜综合性能最佳,硬度达到14.4 GPa,摩擦因数低至0.15。 展开更多

关键词 磁控共溅射 Al-Al2O3复合膜 微观结构 表面形貌 显微硬度 抗摩擦磨损性能

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PET基纳米Ag薄膜形貌与导电及电磁屏蔽性能的分形表征 被引量：1

16

作者 王鸿博 赵晓燕 +1 位作者 魏取福 高卫东 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期119-121,125,共4页

采用磁控溅射法在PET非织造布上制备了不同厚度的纳米结构Ag薄膜,用高度相关函数法对薄膜的原子力显微镜(AFM)图像进行分形维计算,用AFM分析不同厚度纳米结构Ag薄膜形貌及粒径的变化;用网络测试仪测试了不同厚度样品的电磁屏蔽效能。结... 采用磁控溅射法在PET非织造布上制备了不同厚度的纳米结构Ag薄膜,用高度相关函数法对薄膜的原子力显微镜(AFM)图像进行分形维计算,用AFM分析不同厚度纳米结构Ag薄膜形貌及粒径的变化;用网络测试仪测试了不同厚度样品的电磁屏蔽效能。结果表明,随着薄膜厚度的增加,薄膜表面质量提高,分形维增大;电磁屏蔽效能也随分形维的增大而增加。可以认为,分形维能有效地表征薄膜的表面形貌,分形维与导电及屏蔽效能存在明显的对应关系,并可以用分形维优化磁控溅射的工艺条件。 展开更多

关键词 分形 纳米银薄膜 表面形貌 屏蔽效能 磁控溅射

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调制比对GDC/YSZ多层氧离子导体薄膜结构与电学性能的影响 被引量：1

17

作者 孟昕 孟宪芹 +3 位作者 姜雪宁 庞胜利 李向楠 张庆瑜 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1120-1123,共4页

采用反应射频磁控溅射技术在(0001)蓝宝石基片上制备了不同调制结构的(GDC/YSZ)12多层氧离子导体电解质薄膜。利用电子探针微区分析技术测得薄膜的摩尔质量比为m(Zr):m(Y)=5.73:1、m(Ce):m(Gd)=4.12:1;X射线衍射(XRD)与小角X射线反射(X... 采用反应射频磁控溅射技术在(0001)蓝宝石基片上制备了不同调制结构的(GDC/YSZ)12多层氧离子导体电解质薄膜。利用电子探针微区分析技术测得薄膜的摩尔质量比为m(Zr):m(Y)=5.73:1、m(Ce):m(Gd)=4.12:1;X射线衍射(XRD)与小角X射线反射(XRR)结果表明,GDC/YSZ调制比为5:1、2:1和1:2的样品(A1～A3)具有好的超晶格结构,而A4样品未形成超晶格结构;原子力显微镜形貌分析结果表明多层膜呈密集岛状生长形貌,与GDC、YSZ单层膜比较,多层膜生长岛尺寸减小,密度增大,表面粗糙度明显减小;电学性能测试与理论分析结果表明,界面缺陷使多层膜电导率提高,而GDC成分增多,则超晶格多层膜电导率增大。 展开更多

关键词 GDC/YSZ多层薄膜 结构 表面形貌 电学性质

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Pt电极的磁增强反应离子刻蚀的研究 被引量：1

18

作者 吴小鹏 陈侃松 +2 位作者 顾豪爽 胡宽 熊娟 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期62-64,共3页

以SF6/O2作为刻蚀气体,用磁增强反应离子刻蚀(MERIE)技术,对磁控溅射法制备的Pt电极进行了刻蚀。结果表明:Pt的刻蚀速率与刻蚀气体的混合比率以及刻蚀功率都有一定关系。在相同功率下,R[O2∶(SF6+O2)]=2/6,刻蚀速率达到极大值,功率为120... 以SF6/O2作为刻蚀气体,用磁增强反应离子刻蚀(MERIE)技术,对磁控溅射法制备的Pt电极进行了刻蚀。结果表明:Pt的刻蚀速率与刻蚀气体的混合比率以及刻蚀功率都有一定关系。在相同功率下,R[O2∶(SF6+O2)]=2/6,刻蚀速率达到极大值,功率为120W时,刻蚀速率极大值为12.4nm/min。AFM分析表明,薄膜表面的粗糙度随刻蚀功率增加而变大,均方根粗糙度从120W时的0.164nm增加到160W时的0.285nm。经优化工艺参数刻蚀后的Pt电极图形结构平整,边缘整齐。 展开更多

关键词 电子技术 PT电极 MERIE 刻蚀速率 表面形貌

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微/纳纤丝的分离工艺及其表观形态和粒径分析 被引量：1

19

作者 吴霞 王晓宇 +4 位作者 王超 李文定 吴燕 张洋 樊世坤 《木材加工机械》 北大核心 2014年第5期51-52,25,共3页

近年来,如何从天然纤维素中分离微/纳纤丝和用其来增强高分子聚合物的研究受到许多学者的关注。本论文重点研究了木质材料分离微/纳纤丝的工艺和特性,通过酶处理结合化学法制备微/纳纤丝,并且通过扫描电子显微镜、激光粒度仪等现代仪器... 近年来,如何从天然纤维素中分离微/纳纤丝和用其来增强高分子聚合物的研究受到许多学者的关注。本论文重点研究了木质材料分离微/纳纤丝的工艺和特性,通过酶处理结合化学法制备微/纳纤丝,并且通过扫描电子显微镜、激光粒度仪等现代仪器分析微/纳纤丝的粒径和表观形态等性能,为其应用提供新的试验数据。 展开更多

关键词 微/纳纤丝 分离工艺 表观形态 粒径 分析

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沉积在硅油表面铜薄膜的特征表面形貌 被引量：1

20

作者 陈苗根 余森江 周红 《台州学院学报》 2009年第3期29-34,43,共7页

采用真空蒸发方法在硅油表面制备了一种具有自由支撑边界条件的铜薄膜系统并研究了其成膜机理和带状有序结构。实验发现:此类铜薄膜的生长机制近似服从二阶段生长模型。进一步实验发现:铜分枝状凝聚体在大气中作无规扩散和旋转,直到在... 采用真空蒸发方法在硅油表面制备了一种具有自由支撑边界条件的铜薄膜系统并研究了其成膜机理和带状有序结构。实验发现:此类铜薄膜的生长机制近似服从二阶段生长模型。进一步实验发现:铜分枝状凝聚体在大气中作无规扩散和旋转,直到在某处堆积或者连接。在该连续铜薄膜系统中,我们观察到了带状有序结构。该有序结构是由一系列长度基本一致而宽度不尽相同的平行键块组成。实验结果表明:该有序结构是在样品被取出真空腔之前,由于液体基底的收缩导致薄膜压应力而形起的。理论推测铜薄膜中可能同时存在一系列不同类型的正弦型内应力分布,而这种内应力分布最终导致带状有序结构的形成。 展开更多

关键词 铜薄膜 液体基底 表面形貌 生长机制

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