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接触式轮廊测量中触针测量力的分析 被引量：2
1
作者 王云庆 李庆祥 周兆英 《现代计量测试》 1996年第1期18-21,17,共5页
接触式轮廓测量仪中，适当测量力的施加是十分重要的，本文介绍了依靠十字片簧弹性支承变形来提供测量力的测量机构．在分析其动态特性的基础上，导出了触针测量力的变化规律。
关键词 轮廓仪 片簧支承 触针 测量力
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触针式轮廓测量机构的动态分析及非线性误差的消除 被引量：1
2
作者 王云庆 李庆祥 +1 位作者 周兆英 薛实福 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期606-611,共6页
在接触式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是实现高精度轮廓测量的关键。本文介绍了一种新型的十字片贫弹性支承的测量机构，建立了数学模型，对该机构的动态进行了分析，并得到触针测量力变化规律。同时，通过合理设计位移传感器的安... 在接触式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是实现高精度轮廓测量的关键。本文介绍了一种新型的十字片贫弹性支承的测量机构，建立了数学模型，对该机构的动态进行了分析，并得到触针测量力变化规律。同时，通过合理设计位移传感器的安装角度，消除了测量中的非线性二次项误差，保证了测量结果的真实性。 展开更多
关键词 轮廓仪 片簧支承 测量力 非线性误差 位移传感器
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数字式测高仪的动态特性测试分析
3
作者 卢继敏 林虎 +1 位作者 陈洪芳 殷建杰 《北京工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期801-805,共5页
数字式测高仪的测量速度、定位精度和测量力是表征其动态特性的3个主要方面.为此,论述了它们的具体测量方法,以某数字式测高仪为对象,采用微平面镜激光干涉仪、精密测力计等器具进行动态特性测试,给出了测试结果,分析了误差来源及其变... 数字式测高仪的测量速度、定位精度和测量力是表征其动态特性的3个主要方面.为此,论述了它们的具体测量方法,以某数字式测高仪为对象,采用微平面镜激光干涉仪、精密测力计等器具进行动态特性测试,给出了测试结果,分析了误差来源及其变化规律,其中,对测高仪定位误差的测试与分析是新的尝试.测试结论对改进测高仪的设计、提高测量精度具有实际价值. 展开更多
关键词 测高仪 动态响应 定位误差 测量力
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亚微米微位移工作台升降模糊控制系统
4
作者 王云庆 李庆祥 周兆英 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期47-50,共4页
对微位移工作台升降运动的精确控制是实现大规模集成电路中薄膜台阶高度测量自动化的关键。本文介绍了一种新型的微位移工作台升降模糊控制系统，它具有亚微米级的运动精度，保证了工作台升降快速、准确，运行平稳，对触针无冲击。在台... 对微位移工作台升降运动的精确控制是实现大规模集成电路中薄膜台阶高度测量自动化的关键。本文介绍了一种新型的微位移工作台升降模糊控制系统，它具有亚微米级的运动精度，保证了工作台升降快速、准确，运行平稳，对触针无冲击。在台阶高度测量中，应根据被测样品材料选择适当的测量力，该文测量力的设定是通过工作台上升或下降到相应位置来完成的。实验表明：工作台上升时间仅１０ｓ左右，测量力设定误差小于６μＮ。 展开更多
关键词 台阶测量 工作台 模糊控制 大规模集成电路 薄膜
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