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包覆型磁性磨粒的制备工艺及性能研究
被引量：
2
1
作者
刘静
陈红玲
+3 位作者
侯志燕
李唯东
刘静远
白旭
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第1期101-104,共4页
针对黏接法和烧结法制备磁性磨粒工艺过程中的破碎难题,采用化学法制备以Fe_3O_4为核、SiO_2为壳的包覆型磁性磨粒。通过透射电镜、X射线衍射、红外光谱和磁感应强度对该磨粒进行性能分析,用制备出的包覆型磁性磨粒加工硅片,并进行加工...
针对黏接法和烧结法制备磁性磨粒工艺过程中的破碎难题,采用化学法制备以Fe_3O_4为核、SiO_2为壳的包覆型磁性磨粒。通过透射电镜、X射线衍射、红外光谱和磁感应强度对该磨粒进行性能分析,用制备出的包覆型磁性磨粒加工硅片,并进行加工性能研究。结果表明,包覆型磁性磨粒的制备工艺简单,性能良好,且用此包覆型磁性磨粒可以有效加工硅片。
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关键词
包覆型磁性磨粒
性能分析
硅片加工试验
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职称材料
题名
包覆型磁性磨粒的制备工艺及性能研究
被引量：
2
1
作者
刘静
陈红玲
侯志燕
李唯东
刘静远
白旭
机构
太原理工大学机械工程学院精密加工山西省重点实验室
出处
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第1期101-104,共4页
基金
国家自然科学基金(51175365)
山西省自然科学基金(201701D12076)
文摘
针对黏接法和烧结法制备磁性磨粒工艺过程中的破碎难题,采用化学法制备以Fe_3O_4为核、SiO_2为壳的包覆型磁性磨粒。通过透射电镜、X射线衍射、红外光谱和磁感应强度对该磨粒进行性能分析,用制备出的包覆型磁性磨粒加工硅片,并进行加工性能研究。结果表明,包覆型磁性磨粒的制备工艺简单,性能良好,且用此包覆型磁性磨粒可以有效加工硅片。
关键词
包覆型磁性磨粒
性能分析
硅片加工试验
Keywords
coated
magnetic
abrasive
performance
anatysis
silicon
wafers
processing
experiment
分类号
TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
包覆型磁性磨粒的制备工艺及性能研究
刘静
陈红玲
侯志燕
李唯东
刘静远
白旭
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
2018
2
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