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基于硅透镜集成的高灵敏度室温太赫兹探测器 被引量:4
1
作者 孙云飞 孙建东 +5 位作者 秦华 班建民 罗恒 陶重犇 胡伏原 田学农 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第11期729-733,共5页
提出了一种基于硅透镜集成的高灵敏度GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的太赫兹模组探测器。在太赫兹波辐照下,超半球硅透镜可以有效提高太赫兹波收集效率和消除被测器件的衬底干涉效应,进而提高探测器的灵敏度。对集成有直径为6 mm... 提出了一种基于硅透镜集成的高灵敏度GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的太赫兹模组探测器。在太赫兹波辐照下,超半球硅透镜可以有效提高太赫兹波收集效率和消除被测器件的衬底干涉效应,进而提高探测器的灵敏度。对集成有直径为6 mm超半球硅透镜的太赫兹探测器件进行了仿真和测试。研究发现在频率为600和900 GHz的太赫兹波辐照下,硅透镜中心区域的太赫兹电场分别增加到原来的5.9倍和6.8倍。在300 K下器件的响应度和噪声等效功率分别为4.5 kV/W和30 pW/Hz0.5,在77 K下器件的响应度达到100 kV/W,噪声等效功率降至1 pW/Hz0.5。 展开更多
关键词 探测器 太赫兹 高电子迁移率晶体管(HEMT) 硅透镜 灵敏度
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一种基于透镜天线的宽带太赫兹准光检波器(英文) 被引量:2
2
作者 郭大路 牟进超 +3 位作者 马朝辉 李明迅 乔海东 吕昕 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期389-393,共5页
设计了一种能够工作在140~325 GHz频带的宽带准光检波器,由一颗高阻硅透镜和单片集成检波芯片组成.设计并加工出双缝天线,在天线馈电端集成了肖特基二极管,该紧凑结构使其能够接收空间中的太赫兹辐射并转换为基带信号.为增强片上天线... 设计了一种能够工作在140~325 GHz频带的宽带准光检波器,由一颗高阻硅透镜和单片集成检波芯片组成.设计并加工出双缝天线,在天线馈电端集成了肖特基二极管,该紧凑结构使其能够接收空间中的太赫兹辐射并转换为基带信号.为增强片上天线的方向性,利用MLFMM算法进行了扩展半球硅透镜的设计和优化,实现了良好的辐射特性.通过测试,天线在220 GHz和324 GHz处的辐射增益分别为26 dB和28 dB.在140~325 GHz,检波器测试得到的响应率可达到1 000~4 000 V/W,对应的等效噪声功率(NEP)估算为0.68~2.73pW/Hz(1/2). 展开更多
关键词 太赫兹(THz)检波器 宽带 双缝天线 硅透镜 肖特基二极管
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增生性糖尿病视网膜病变硅油填充眼白内障摘出人工晶状体植入的手术效果分析 被引量:2
3
作者 李闻思 张风 卢海 《眼科》 CAS 2008年第4期239-241,249,共4页
目的探讨增生性糖尿病视网膜病变(PDR)玻璃体视网膜手术同期联合白内障超声乳化人工晶状体(IOL)植入术与二期硅油取出联合白内障超声乳化吸除IOL植入术的术后炎症反应差异。设计回顾性病例对照研究。研究对象同期或二期行白内障手术的PD... 目的探讨增生性糖尿病视网膜病变(PDR)玻璃体视网膜手术同期联合白内障超声乳化人工晶状体(IOL)植入术与二期硅油取出联合白内障超声乳化吸除IOL植入术的术后炎症反应差异。设计回顾性病例对照研究。研究对象同期或二期行白内障手术的PDR伴牵拉性视网膜脱离或玻璃体积血者接受玻璃体视网膜手术联合硅油填充者91例104眼。方法术后平均随访6个月。同时联合白内障超声乳化吸除IOL植入手术(同期组)52眼,二期行白内障超声乳化吸除IOL植入联合硅油取出手术(二期组)52眼。分析两组间患眼术后视力、前节炎症反应程度的差异。主要指标视力及眼前节炎症反应。结果同期组及二期组患眼术后最佳矫正视力>0.1以上者分别为14/52、8152眼(X^2=-6.87,P=0.07);同期组及二期组患眼术后1周内出现角膜水肿分别为16/52、6/52眼(X^2=11.53,P=0.001);同期组及二期组患眼术后出现角膜后沉着物分别为20152、9/52眼(X^2=5.79.P= 0.019)。结论玻璃体视网膜手术一期联合白内障超声乳化吸除IOL植入术后眼前节炎症反应较严重。 展开更多
关键词 增生性糖尿病视网膜病变 硅油 白内障 超声乳化 人工晶状体
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High Efficient Tunable Fractal Axicon Based on LCoS
4
作者 王昕 戴海涛 徐克璹 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2008年第3期985-988,共4页
Based on the Cantor function and phase modulation, a tunable fractal axicon is formed on a liquid crystal on silicon (LCoS) with an improved generating method. It has higher focusing efficiency in higher fractal sta... Based on the Cantor function and phase modulation, a tunable fractal axicon is formed on a liquid crystal on silicon (LCoS) with an improved generating method. It has higher focusing efficiency in higher fractal stage and approaches to 100% theoretically. The on-axis intensity keeps its fractal structure unchanged in operation of fractal stages. The tunability of the axicon is demonstrated by tune fractal stage from 1 to 3 and focal length from 0.8 m to 1 m. We also provide details of theoretical analyses and experimental results. 展开更多
关键词 LIQUID-CRYSTAL silicon lens
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基于硅透镜与光子晶体的逆古斯汉欣位移监测系统及其温度特性研究 被引量:1
5
作者 汤大卫 梁斌明 季景 《光学仪器》 2022年第1期49-54,共6页
基于硅介质柱型光子晶体,采用时域有限差分方法(FDTD),探究高斯光束在光子晶体界面的逆古斯汉欣(GH)位移。通过在光子晶体下表面添加硅透镜,研究高斯光束的入射角度、硅透镜的曲率半径以及温度对光子晶体逆GH位移的影响。研究结果表明,... 基于硅介质柱型光子晶体,采用时域有限差分方法(FDTD),探究高斯光束在光子晶体界面的逆古斯汉欣(GH)位移。通过在光子晶体下表面添加硅透镜,研究高斯光束的入射角度、硅透镜的曲率半径以及温度对光子晶体逆GH位移的影响。研究结果表明,发生最大逆GH位移的角度大于几何理想全反射角。添加焦点位于光子晶体表面中心的硅透镜可以使逆GH位移显著增强,且当硅透镜的曲率半径为170时,逆GH位移增大为不加透镜时的1.7倍。研究不同入射角度下温度对光子晶体的逆GH位移的影响发现,当高斯光束的入射角为26º时,逆GH位移随着温度的变化最大且线性度较好,便于温度监测。 展开更多
关键词 光子晶体 逆古斯汉欣位移 硅透镜
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高精度LCOS动态星模拟器的光学系统设计 被引量:16
6
作者 陈启梦 张国玉 +2 位作者 孙向阳 王国名 王哲 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期278-284,共7页
针对高精度星敏感器对其功能测试设备精确模拟星点位置和星等的实际要求,设计了一种硅基液晶(LCOS)型高精度动态星模拟器的光学系统。分析星模拟器准直与照明光学系统的任务需求并给出了设计方案。为提高模拟器的成像精度,提出了LCOS... 针对高精度星敏感器对其功能测试设备精确模拟星点位置和星等的实际要求,设计了一种硅基液晶(LCOS)型高精度动态星模拟器的光学系统。分析星模拟器准直与照明光学系统的任务需求并给出了设计方案。为提高模拟器的成像精度,提出了LCOS的光学拼接方法,详细设计了大视场、大相对孔径、大出瞳距离的准直光学系统并进行了像质评价;为同时满足显示器件的照明条件和-1-7等星的准确模拟,对照明光学系统进行了详细设计并给出了仿真结果。提出了一种动态星模拟器星点位置修正方法,通过实验测试,动态星模拟器的星间角距误差优于12″,精确模拟-1-7等星,满足当前对高精度星敏感器的检测需要。 展开更多
关键词 光学设计 星模拟器 硅基液晶 光学拼接 复眼照明
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硅油填充状态下测算人工晶状体屈光度数准确性分析 被引量:12
7
作者 李石磊 才娜 《眼科新进展》 CAS 2008年第1期52-54,共3页
目的探讨一种利用数学矫正公式来准确测算硅油填充状态下人工晶状体屈光度数的方法。方法选取2005年1月至2006年10月在我院施行硅油取出联合白内障超声乳化吸出及人工晶状体植入术的患者共25例25眼,分成A、B2组。A组13眼,为对照组,采用... 目的探讨一种利用数学矫正公式来准确测算硅油填充状态下人工晶状体屈光度数的方法。方法选取2005年1月至2006年10月在我院施行硅油取出联合白内障超声乳化吸出及人工晶状体植入术的患者共25例25眼,分成A、B2组。A组13眼,为对照组,采用玻璃体切割硅油填充术前提前测定的晶状体度数作为参考值;B组12眼,为公式组,采用矫正公式来进行计算。A、B2组术前预期术后屈光度均为-1.5D。分析A、B2组术后屈光度分布情况,并和预期值之间进行比较。结果对照组和公式组术后屈光度与预期值(-1.5D)差值之间进行比较,P=0.035<0.05,差异均有统计学意义。从差值的均数来看,公式组要优于对照组。结论硅油填充眼预设晶状体度数时,数学矫正公式不失为一种准确、有效的办法,值得推广,但有一定的适用范围。 展开更多
关键词 硅油填充眼 联合手术 人工晶状体
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眼外伤硅油取出联合折叠型人工晶状体悬吊术的临床观察 被引量:6
8
作者 姜皓 刘鹏飞 +5 位作者 于迎娟 侯长军 李峰 张军 张怀强 廖奇志 《中国实用眼科杂志》 2016年第4期390-392,共3页
目的探讨复杂性眼外伤行晶状体玻璃体切除及硅油填充术后的硅油取出联合折叠型人工晶状体缝线固定术的手术方法,并评价其临床效果。方法选取矫正视力〉0.1于2012年8月至2014年8月在唐山市眼科医院收治的32例(32只眼),因复杂性眼外... 目的探讨复杂性眼外伤行晶状体玻璃体切除及硅油填充术后的硅油取出联合折叠型人工晶状体缝线固定术的手术方法,并评价其临床效果。方法选取矫正视力〉0.1于2012年8月至2014年8月在唐山市眼科医院收治的32例(32只眼),因复杂性眼外伤而行晶状体、玻璃体切除、硅油填充术的无晶状体硅油填充眼,均行硅油取出联合折叠型人工晶状体缝线固定术。探讨手术技巧、疗效及术后并发症。术后随访3-6个月,平均(5.2±0.5)个月。结果32只眼一次悬吊成功。术中前房维持正常,眼压稳定,无驱逐性出血、视网膜脱离等情况发生。术后2只眼发生脉络膜脱离,2只眼眼压升高。术后第1天,23只眼的裸眼视力为0.1~0.8,占71.88%(23/32),术后1周、3、6个月裸眼视力0.1-0.8者分别为27只眼(84.38%,27,32),30只眼(93.75%,30/32)和31只眼(96.88%,31/32)。术后3个月裸眼视力较术前最佳矫正视力,差异无统计学意义(t=0.6930,P〉0.05)。结论硅油取出联合应用人工晶状体植入系统行折叠人工晶状体缝线固定术,手术效果可靠,术中术后并发症少,是治疗因眼外伤无晶状体硅油填充眼屈光矫正的安全有效的手术方法。 展开更多
关键词 硅油取出术 折叠型人工晶状体 晶状体玻璃体切除 眼外伤
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硅基片上激光雷达技术综述 被引量:5
9
作者 阳琴 陈孝林 +3 位作者 曾诚 徐诗月 杨峰 高剑波 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2023年第16期12-25,共14页
硅基光电子技术的发展可以将激光雷达系统发射模块和接收模块中分立的有源和无源器件集成在芯片上,使激光雷达体积更小、稳定性更强、成本更低,推动激光雷达在自动驾驶等领域的应用。首先,分析激光雷达的基本概念及测量原理。随后,根据... 硅基光电子技术的发展可以将激光雷达系统发射模块和接收模块中分立的有源和无源器件集成在芯片上,使激光雷达体积更小、稳定性更强、成本更低,推动激光雷达在自动驾驶等领域的应用。首先,分析激光雷达的基本概念及测量原理。随后,根据扫描方式的不同,将硅基片上激光雷达分为面阵闪光、光学相控阵、透镜辅助光束转向和慢光光栅等4类,并分别对其技术特点和研究进展进行阐述。最后,对目前硅基片上激光雷达的发展趋势进行了总结和展望。 展开更多
关键词 激光雷达 硅基光电子 面阵闪光 光学相控阵 透镜辅助光束转向
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高时空分辨率动态星模拟器设计 被引量:5
10
作者 李成浩 何煦 +2 位作者 姬琪 张晓辉 李宁 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期515-525,共11页
针对大口径空间天文望远镜稳像精度测试的难题,提出了一种高时空分辨率运动导星模拟方案。利用硅基液晶作为运动导星模拟源,结合光束准直系统为空间天文望远镜提供无穷远运动导星,并且通过在光路中加入物镜来提高模拟导星的运动分辨率... 针对大口径空间天文望远镜稳像精度测试的难题,提出了一种高时空分辨率运动导星模拟方案。利用硅基液晶作为运动导星模拟源,结合光束准直系统为空间天文望远镜提供无穷远运动导星,并且通过在光路中加入物镜来提高模拟导星的运动分辨率。针对望远镜像面结构的特殊分布,提出利用多路模拟的方法,分别为望远镜两侧精密导星仪以及巡天像面提供实时运动导星。最后,对影响运动导星模拟精度的各项误差进行分析,进而建立了误差模型。仿真结果表明:在运动导星模拟精度优于0.5″的概率为95%,时间分辨率为3 ms的前提下,动态星图星间角距误差小于0.04″,单星张角小于0.02″。通过实验验证了导星模拟模型的正确性,该模型基本满足空间天文望远镜稳像精度测试所需运动导星目标高时空分辨率的要求。 展开更多
关键词 空间望远镜 运动导星 稳像精度 硅基液晶 物镜 误差模型
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基于硅基液晶变焦透镜的相位恢复方法 被引量:4
11
作者 程鸿 吕倩倩 +2 位作者 张文君 邓会龙 高要利 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期176-182,共7页
针对传统的基于光强传输方程(TIE)相位恢复方法中需要通过移动待测物体或者CCD以实现光强图像采集所造成的速度慢、精确度低等问题,提出了一种新的基于硅基液晶(LCOS)变焦透镜的相位恢复方法。首先,在LCOS上加载具有不同焦距的透镜相位... 针对传统的基于光强传输方程(TIE)相位恢复方法中需要通过移动待测物体或者CCD以实现光强图像采集所造成的速度慢、精确度低等问题,提出了一种新的基于硅基液晶(LCOS)变焦透镜的相位恢复方法。首先,在LCOS上加载具有不同焦距的透镜相位分布图,使其实现变焦透镜的功能;然后通过本研究所设计的系统在同一成像平面上采集不同散焦距离的光强图像;最后求解TIE从而得到相位信息。该方法只需要改变LCOS上所加载的相位分布图即可形成不同的散焦图像,避免了传统方法中机械移动所造成的误差。模拟与实验结果均验证了所提方法的正确性和有效性。 展开更多
关键词 测量 相位恢复 光强传输方程 硅基液晶 变焦透镜
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单晶硅透镜铣磨工艺参数优化研究 被引量:4
12
作者 王亚霁 孙玉利 +4 位作者 墨洪磊 袁航 朱力敏 陆波 郭凌曦 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2021年第7期90-94,共5页
针对红外光学领域应用广泛的非球面单晶硅透镜,开展非球面法向磨削加工工艺研究。通过正交试验方法研究了砂轮转速、铣磨深度以及进给量等工艺参数对非球面铣磨加工表面粗糙度和材料去除率的影响规律,并通过灰关联分析,得到了一组针对... 针对红外光学领域应用广泛的非球面单晶硅透镜,开展非球面法向磨削加工工艺研究。通过正交试验方法研究了砂轮转速、铣磨深度以及进给量等工艺参数对非球面铣磨加工表面粗糙度和材料去除率的影响规律,并通过灰关联分析,得到了一组针对法向磨削法加工表面粗糙度和材料去除率双指标优化的工艺参数。研究结果表明通过提高砂轮转速能够显著降低非球面加工表面粗糙度,并改善非球面表面粗糙度分布的一致性;通过灰色关联分析,实现了非球面法向磨削加工表面粗糙度和材料去除率的双目标优化,在提高非球面元件的表面加工质量的同时也具有一定的加工效率;法向磨削法易在非球面表面形成螺旋线和放射状的磨削纹路,磨削纹路会对表面粗糙度的分布均匀性造成影响,因此应当注意抑制磨削纹路的生成。 展开更多
关键词 单晶硅透镜 非球面 工艺参数优化 表面粗糙度 材料去除率
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硅油取出联合人工晶状体悬吊术的临床观察 被引量:3
13
作者 王向华 李秋明 《眼科新进展》 CAS 北大核心 2013年第12期1162-1165,共4页
目的探讨玻璃体切割联合晶状体切除及硅油填充术后的硅油取出联合人工晶状体(intraocular lens,IOL)悬吊术的手术方法,并评价其临床效果。方法选取矫正视力】0.05的视网膜复位良好的无晶状体硅油填充眼64例(64眼),均行硅油取出联合IOL... 目的探讨玻璃体切割联合晶状体切除及硅油填充术后的硅油取出联合人工晶状体(intraocular lens,IOL)悬吊术的手术方法,并评价其临床效果。方法选取矫正视力】0.05的视网膜复位良好的无晶状体硅油填充眼64例(64眼),均行硅油取出联合IOL悬吊术,观察患者术后视力,包括裸眼视力和矫正视力;裂隙灯检查眼前节,包括角膜、前房、瞳孔、IOL;眼科B超检查玻璃体、视网膜;直接检眼镜、间接检眼镜及前置镜检查眼底情况。结果术中所有患者前房维持正常,眼压基本稳定,无爆发性出血、视网膜脱离等不良情况发生。术后出现中度角膜水肿伴后弹力层皱褶16眼,轻度角膜水肿48眼;房水闪辉(++)17眼,房水闪辉(+)39眼;轻度玻璃体混浊10眼;瞳孔较大、欠圆8眼。63眼术前的矫正视力:0.05~0.1者29眼,0.12~0.2者17眼,0.25~0.5者13眼,】0.5者4眼;术后1周矫正视力:0.05~0.1者25眼,0.12~0.2者19眼,0.25~0.5者14眼,】0.5者5眼;术后1个月矫正视力0.05~0.1者26眼,0.12~0.2者16眼,0.25~0.5者16眼,】0.5者5眼;术后1周、1个月的矫正视力与术前比较,差异均无统计学意义(均为P】0.05);1眼术后1个月时因增生性玻璃体视网膜病变致视网膜脱离复发,在保留悬吊的IOL情况下再次行玻璃体切割和硅油填充术,使视网膜复位。结论硅油取出联合IOL悬吊术是一种安全、有效的术式。 展开更多
关键词 硅油取出术 人工晶状体悬吊术 玻璃体切割 晶状体切除
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正交试验法研究影响铣磨球面表面粗糙度的因素 被引量:3
14
作者 徐海华 徐放 +2 位作者 赵逸群 谢启明 张宇 《新技术新工艺》 2013年第1期61-64,共4页
光学透镜的高效精密铣磨加工是透镜抛光的前提和基础,本文对透镜铣磨加工中影响其表面粗糙度的因素进行了研究。通过在OptoTech SM50CNC-TC数控机床上对球面硅透镜进行铣磨试验,采用正交试验的方法研究各种因素对硅透镜表面粗糙度的影响... 光学透镜的高效精密铣磨加工是透镜抛光的前提和基础,本文对透镜铣磨加工中影响其表面粗糙度的因素进行了研究。通过在OptoTech SM50CNC-TC数控机床上对球面硅透镜进行铣磨试验,采用正交试验的方法研究各种因素对硅透镜表面粗糙度的影响,找出了各铣磨参数对表面粗糙度的影响规律,确定了最优铣磨参数的匹配。 展开更多
关键词 正交试验 球面硅透镜 数控粗磨 表面粗糙度
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利用飞秒激光辐照结合湿法腐蚀方法制备高纵横比全硅槽的研究 被引量:3
15
作者 李艳娜 陈涛 +2 位作者 潘安 司金海 侯洵 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期141-147,共7页
利用飞秒激光辐照结合湿法腐蚀方法,制备了高纵横比硅基狭槽。首先利用透镜聚焦飞秒激光至硅片表面,在硅内部诱导结构变化;再结合氢氟酸(HF)溶液选择性腐蚀去除结构变化区域,从而制备出高纵横比硅基狭槽;最后,通过光学显微镜和扫描电子... 利用飞秒激光辐照结合湿法腐蚀方法,制备了高纵横比硅基狭槽。首先利用透镜聚焦飞秒激光至硅片表面,在硅内部诱导结构变化;再结合氢氟酸(HF)溶液选择性腐蚀去除结构变化区域,从而制备出高纵横比硅基狭槽;最后,通过光学显微镜和扫描电子显微镜对狭槽形貌进行表征,研究了狭槽纵横比对激光加工条件如激光功率、扫描速率和数值孔径的依赖特性。结果表明,激光加工条件对于制备高纵横比硅基狭槽存在最优选择。通过优化激光加工参数,可制备出深度为291μm,纵横比为25.3的硅基狭槽。相对于显微物镜,透镜的工作距离较大,加工过程可以避免镜片污染,且具有成本低,通光孔径大等优点。 展开更多
关键词 超快光学 飞秒激光 硅基狭槽 湿法腐蚀 透镜
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硅油取出联合白内障超声乳化及人工晶状体植入术 被引量:3
16
作者 李石磊 才娜 《国际眼科杂志》 CAS 2009年第11期2164-2165,共2页
目的:探讨硅油充填眼并发性白内障行硅油取出联合白内障超声乳化及人工晶状体植入术的临床效果。方法:对25例25眼硅油填充术后并发性白内障患者进行经睫状体扁平部切口取硅油联合白内障超声乳化及人工晶状体植入术。结果:术后随访3~12... 目的:探讨硅油充填眼并发性白内障行硅油取出联合白内障超声乳化及人工晶状体植入术的临床效果。方法:对25例25眼硅油填充术后并发性白内障患者进行经睫状体扁平部切口取硅油联合白内障超声乳化及人工晶状体植入术。结果:术后随访3~12(平均7)mo。手术后最佳矫正视力:光感~指数/眼数者3眼,0.02~0.1者4眼,0.1~0.2者10眼,>0.2者8眼。所有患者均无持续性角膜内皮失代偿、硅油泡残留、人工晶状体移位、玻璃体出血等并发症。结论:硅油取出联合白内障超声乳化及人工晶状体植入术是安全、有效的。 展开更多
关键词 硅油填充眼 白内障 联合手术 人工晶状体
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我国环形金刚石线锯技术在创新中发展 被引量:2
17
作者 郑超 《超硬材料工程》 CAS 2018年第5期55-62,共8页
近十年来,国产金刚石长线锯在单晶硅、多晶硅切片开方以及蓝宝石切片方面获得迅速发展,同时环形金刚石线锯也悄然紧隨其后,依靠线速度快,切割效率高,配套设备结构简单的独特优势,国内几家超硬材料工具企业大力投入,努力创新,并成功地应... 近十年来,国产金刚石长线锯在单晶硅、多晶硅切片开方以及蓝宝石切片方面获得迅速发展,同时环形金刚石线锯也悄然紧隨其后,依靠线速度快,切割效率高,配套设备结构简单的独特优势,国内几家超硬材料工具企业大力投入,努力创新,并成功地应用到国产大型KDP晶体切割(切宽1000mm)、大型LBO晶体切割、多晶硅截断开方、蓝宝石薄片切割(切宽150~220mm)和各种靶材切割等诸多方面。尤其用于多晶硅截断的环线截断机,今年初已经小批量应用到江浙一带的代工厂中。切割量虽然不多,却初显在多晶硅、单晶硅贵重材料切割方面的独特优势。与其配套的线切割机也从单一的立式机发展到诸多品种。 展开更多
关键词 环形金刚石线 切割机 单晶硅 多晶硅 蓝宝石 人工晶体 哉断机开方机
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T/R模块的激光封焊工艺研究 被引量:1
18
作者 冯志博 李湃 +3 位作者 刘启迪 张志阳 时鹏程 孟腾飞 《焊接技术》 2023年第4期64-67,I0008,共5页
随着雷达技术的发展,微波模块正在向小型化、轻量化、高可靠性的方向发展。在实际生产过程中,T/R模块封焊盖板和壳体容易产生裂纹和气孔等缺陷,使产品的气密性不达标。文中对T/R模块常用的硅铝合金激光封焊工艺进行了试验研究,分析了峰... 随着雷达技术的发展,微波模块正在向小型化、轻量化、高可靠性的方向发展。在实际生产过程中,T/R模块封焊盖板和壳体容易产生裂纹和气孔等缺陷,使产品的气密性不达标。文中对T/R模块常用的硅铝合金激光封焊工艺进行了试验研究,分析了峰值功率、脉宽、脉冲频率和离焦量对T/R模块焊接外观及气密性的影响,获得最优工艺参数。试验结果表明,工艺参数按照峰值功率为4.5 kW,脉宽为3.5 ms,焊接速度为2 mm/s,激光频率为15 Hz,离焦量为-1 mm时,能够获得较为优异的封焊质量,氦气漏气率优于5×10^(-6)Pa·m^(3)/s。最后总结了在生产过程中需要及时观察封焊质量来微调激光封焊的工艺参数,必要时更换新的激光保护镜片。试验结果对于指导激光封焊生产和工艺研究具有一定的意义。 展开更多
关键词 硅铝合金 激光封焊 气密性 激光保护镜片
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大尺寸硅基体633nm和3.5~4.1μm双波段高反射膜研制 被引量:2
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作者 岳威 韩永昶 +2 位作者 东野斯阳 武淑明 赵明艳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第7期1854-1857,共4页
硅由于透光区域较宽,便于光学系统使用而经常应用于中波红外光学系统中。但是,以其作为基底,镀制0°~22.5°入射、633 nm与3.5~4.1μm双波段的反射膜却具有相当大的难度,尤其是φ300 mm等大尺寸硅镜引起的牢固度问题。以红外... 硅由于透光区域较宽,便于光学系统使用而经常应用于中波红外光学系统中。但是,以其作为基底,镀制0°~22.5°入射、633 nm与3.5~4.1μm双波段的反射膜却具有相当大的难度,尤其是φ300 mm等大尺寸硅镜引起的牢固度问题。以红外光学和薄膜技术为背景,介绍了大尺寸硅基体反射膜的特性、制备及测试方法。由于红外区可选用的薄膜材料较少,兼顾膜层的制备、光谱特性及可靠性满足等方面因素,最终采用氟化镱(YbF3)作为低折射率材料。经过多次实验,采用速率控制、离子辅助等工艺方法,选取合适的基底温度,解决了在大尺寸硅基体上由于膜层过厚以及YbF3膜层严重应力作用而导致的膜层龟裂问题,最终研制成功符合使用要求,且可靠性和光谱特性皆优的双波段反射薄膜。 展开更多
关键词 红外光学 大尺寸硅镜 高反射膜 牢固度
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