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扫描电子显微镜的工作原理及应用 被引量:30
1
作者 凌妍 钟娇丽 +1 位作者 唐晓山 李栋宇 《山东化工》 CAS 2018年第9期78-79,83,共3页
扫描电子显微镜是一种微观形貌表征手段,具有视野大,分辨率高等优点。本文对扫描电子显微镜的二次电子、背散射电子及特征X射线三种常用信号的原理进行了简述,并利用二次电子模式及能谱对高温煅烧的沙白粉末进行了表征及探测,发现沙白... 扫描电子显微镜是一种微观形貌表征手段,具有视野大,分辨率高等优点。本文对扫描电子显微镜的二次电子、背散射电子及特征X射线三种常用信号的原理进行了简述,并利用二次电子模式及能谱对高温煅烧的沙白粉末进行了表征及探测,发现沙白单体的直径约在150~800 nm之间,沙白主要含Ca和O两种元素。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 沙白 二次电子 背散射电子 特征X射线
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扫描电镜与图像分析在储层研究中的联合应用 被引量:17
2
作者 曹寅 朱樱 黎琼 《石油实验地质》 CAS CSCD 2001年第2期221-225,共5页
该文主要论述采用新一代的扫描电镜和带有图像分析功能的能谱仪联合对砂岩和砂岩铸体进行分析。由于扫描电镜具有景深大、立体感强和分辨率高的特点 ,使砂岩分析可分别采用二次电子图像和背散射图像两种方法 ,不仅能获得砂岩的粒间孔隙... 该文主要论述采用新一代的扫描电镜和带有图像分析功能的能谱仪联合对砂岩和砂岩铸体进行分析。由于扫描电镜具有景深大、立体感强和分辨率高的特点 ,使砂岩分析可分别采用二次电子图像和背散射图像两种方法 ,不仅能获得砂岩的粒间孔隙、粒间胶结物、喉道连通性及配位数等信息 ,而且还可通过图像分析软件快速定量计算孔隙率。由此获得多种信息 ,再结合其他资料可对具体地区进行储层评价。 展开更多
关键词 二次电子 背散热电子 砂岩 铸体 喉道 配位数 图像分析 扫描电镜 储层 油气藏
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扫描电子显微镜成像信号分析 被引量:7
3
作者 陈长琦 干蜀毅 +1 位作者 朱武 王先路 《真空》 CAS 北大核心 2001年第6期42-44,共3页
介绍了扫描电子显微镜 (SEM)的基本工作原理 ,着重分析了在 SEM初始电子束作用下 ,各种成像信号产生的方式及其特点 ,确定二次电子信号因成像分辨率高、携带成像信息丰富而成为 SEM的最终信号源。针对此信号在实际应用中暴露出的缺陷 ,... 介绍了扫描电子显微镜 (SEM)的基本工作原理 ,着重分析了在 SEM初始电子束作用下 ,各种成像信号产生的方式及其特点 ,确定二次电子信号因成像分辨率高、携带成像信息丰富而成为 SEM的最终信号源。针对此信号在实际应用中暴露出的缺陷 ,介绍了解决办法 ,从而使 SEM的成像性能得以大幅提高 。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 成像信号 二次电子信号 工作原理 成像分辨率 信号处理 信号分析
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霍尔推进器中振荡鞘层对电子与壁面碰撞频率的影响研究 被引量:17
4
作者 于达仁 张凤奎 +1 位作者 李鸿 刘辉 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期1844-1848,共5页
利用二维粒子模拟方法研究振荡鞘层对近壁电导的影响.研究结果表明,当二次电子发射系数大于1时,鞘层处于振荡状态.在振荡鞘层状态下,电子与壁面的碰撞通量沿平行与壁面方向剧烈的周期性振荡,振荡的波长为电子静电波波长量级,电子与壁面... 利用二维粒子模拟方法研究振荡鞘层对近壁电导的影响.研究结果表明,当二次电子发射系数大于1时,鞘层处于振荡状态.在振荡鞘层状态下,电子与壁面的碰撞通量沿平行与壁面方向剧烈的周期性振荡,振荡的波长为电子静电波波长量级,电子与壁面的碰撞频率高出经典鞘层状态下电子与壁面碰撞频率1—2个数量级,此时的碰撞频率对通道中电流的贡献不可忽略.振荡鞘层相对与经典鞘层增大了电子与壁面的碰撞频率,但是振荡鞘层的存在,仍然会使一部分慢电子无法穿越鞘层的势垒而打到壁面. 展开更多
关键词 霍尔推进器 振荡鞘层 二次电子
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导电性较差样品的扫描电镜优化观测条件 被引量:16
5
作者 曹惠 《中国测试》 CAS 北大核心 2014年第3期19-22,共4页
为解决扫描电镜测试中样品的荷电问题,采用场发射扫描电镜(FESEM),以导电性较差样品如介孔硅SBA-15粉末、介孔SiO2纳米球、聚苯乙烯球及SBA-15/W等为研究对象,比较不同测试条件下的FESEM图片。结果表明,影响FESEM图像质量的因素较多,其... 为解决扫描电镜测试中样品的荷电问题,采用场发射扫描电镜(FESEM),以导电性较差样品如介孔硅SBA-15粉末、介孔SiO2纳米球、聚苯乙烯球及SBA-15/W等为研究对象,比较不同测试条件下的FESEM图片。结果表明,影响FESEM图像质量的因素较多,其中工作距离和加速电压是影响图片质量的主要因素;较小的工作距离、较低的加速电压、一定量背散射电子信号的加入、下探测器的选用(放大倍数小于5万倍)、减速观察模式及线平均扫描模式,是导电性较差样品FESEM图片的优化观测条件。 展开更多
关键词 冷场发射扫描电镜 低加速电压 减速模式 二次电子 背散射电子
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多级降压收集极中次级电子的研究 被引量:8
6
作者 贺庆 寇建勇 +2 位作者 孙瑜 李炳炎 廖复疆 《真空电子技术》 2004年第1期25-28,共4页
效率与电子回流率是考核多级降压收集极的重要指标,而多级降压收集极中次级电子的存在对效率和电子回流率有重要影响。因此,对次级电子的研究有重要意义。本文探讨了次级电子发射的物理原型,并根据其编制了相应的CAD程序,在对多级降压... 效率与电子回流率是考核多级降压收集极的重要指标,而多级降压收集极中次级电子的存在对效率和电子回流率有重要影响。因此,对次级电子的研究有重要意义。本文探讨了次级电子发射的物理原型,并根据其编制了相应的CAD程序,在对多级降压收集极的试算中,取得了较好的效果。 展开更多
关键词 多级降压收集极 效率 电子回流 次级电子
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扫描电镜中荷电效应的分析 被引量:14
7
作者 卢慧粉 宋庆军 +1 位作者 曹艳芬 孙秋香 《理化检验(物理分册)》 CAS 2014年第1期46-48,共3页
扫描电子显微镜要得到层次清晰、立体感强且分辨率高的高质量图像,荷电效应是一个重要的影响因素。对在扫描电子显微镜成像中荷电效应的成因及其解决办法进行了系统的分析。提出采用镀膜、降低加速电压及低真空的方法,可降低荷电效应的... 扫描电子显微镜要得到层次清晰、立体感强且分辨率高的高质量图像,荷电效应是一个重要的影响因素。对在扫描电子显微镜成像中荷电效应的成因及其解决办法进行了系统的分析。提出采用镀膜、降低加速电压及低真空的方法,可降低荷电效应的影响。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 荷电效应 二次电子
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环境扫描电子显微镜工作原理及实现 被引量:10
8
作者 干蜀毅 陈长琦 +1 位作者 朱武 王先路 《真空电子技术》 2003年第6期29-32,共4页
系统介绍了环境扫描电子显微镜(ESEM)的研制历程和采用的关键技术。从常规扫描电子显微镜(SEM)的基本工作原理出发,列出了SEM成像信号产生的方式及特点。针对SEM在实际应用中暴露出的缺陷,ESEM提出了解决问题的措施。多重狭缝的采用,使... 系统介绍了环境扫描电子显微镜(ESEM)的研制历程和采用的关键技术。从常规扫描电子显微镜(SEM)的基本工作原理出发,列出了SEM成像信号产生的方式及特点。针对SEM在实际应用中暴露出的缺陷,ESEM提出了解决问题的措施。多重狭缝的采用,使样品室内压强可以大幅提高;而气体二次电子探头(GSED)的发明,使作为成像信号的二次电子信号得到加强。 展开更多
关键词 环境扫描电子显微镜(ESEM) 多重狭缝 成像信号 二次电子 ET探头 环境二次电子探头 气体二次电子探头
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正极性电晕在空气中的起始判据 被引量:13
9
作者 郑跃胜 何金良 张波 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期752-757,共6页
将电晕损耗和电晕效应控制在合理的水平是高压输电线路设计的一项关键内容,而电晕放电的起始条件对于电晕控制来说至关重要。为此,针对同轴电极结构,介绍了一种考虑光电离的常用正电晕起始判据的推导和简化过程,阐明了判据中各个参数的... 将电晕损耗和电晕效应控制在合理的水平是高压输电线路设计的一项关键内容,而电晕放电的起始条件对于电晕控制来说至关重要。为此,针对同轴电极结构,介绍了一种考虑光电离的常用正电晕起始判据的推导和简化过程,阐明了判据中各个参数的物理含义,并且给出了表征光子在圆柱导体电离层内吸收过程的面积因子及其展开式。比较了由正电晕起始判据及其简化形式得到的计算结果,同时与Peek的实验结果做了比较。在很大的导体半径范围内,该起始判据与其简化形式在相同条件下的差异非常小,并且该判据的计算结果与Peek的实验结果也都非常符合。 展开更多
关键词 电晕 直流电晕 起晕场强 光电离 面积因子 二次电子
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场发射扫描电镜荷电现象的研究及参数优化 被引量:12
10
作者 高翔 朱紫瑞 +1 位作者 孙伟 郭娟 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期1008-1012,共5页
扫描电子显微镜主要用于样品显微结构的表征分析,在科研和实际工作中应用广泛。荷电现象是最常见的严重影响到SEM图像质量的现象之一,它会造成图像的反差异常、形变等,在导电性不好或很差的样品形貌表征中极为常见。文中以几种导电性较... 扫描电子显微镜主要用于样品显微结构的表征分析,在科研和实际工作中应用广泛。荷电现象是最常见的严重影响到SEM图像质量的现象之一,它会造成图像的反差异常、形变等,在导电性不好或很差的样品形貌表征中极为常见。文中以几种导电性较差样品,如陶瓷、倍他环糊精、Si O2、细菌等为对象,通过实验比对后发现,通过加速电压、探头选择、信号选择、图像采集方式等参数的调节能够有效减轻SEM图像的荷电现象,从而提高了图像质量,获得了更为真实的显微结构信息。 展开更多
关键词 场发射扫描电子显微镜 荷电现象 低加速电压 二次电子
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多级降压收集极CAD中的二次电子发射模型 被引量:9
11
作者 黄桃 杨中海 +3 位作者 金勇兵 金晓林 胡权 秦钰昆 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第5期1247-1250,共4页
多级降压收集极被广泛应用于提高微波放大器件效率。多级降压收集极中的二次电子发射对其效率有重要影响。该文探讨了真二次电子、弹性反射电子、非弹性反射电子3种二次电子发射模型,对发射率、发射角度以及能量分布情况进行了深入分析... 多级降压收集极被广泛应用于提高微波放大器件效率。多级降压收集极中的二次电子发射对其效率有重要影响。该文探讨了真二次电子、弹性反射电子、非弹性反射电子3种二次电子发射模型,对发射率、发射角度以及能量分布情况进行了深入分析,并对考虑二次电子后的收集极模拟计算收敛条件进行了讨论。上述结果在多级降压收集极CAD软件中得到应用,定量分析了其对多级降压收集极效率的影响。 展开更多
关键词 微波器件 多级降压收集极 二次电子:发射模型
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MgO二次电子发射功能薄膜的制备方法 被引量:10
12
作者 李晨 罗崇泰 +1 位作者 王多书 龙建飞 《真空与低温》 2009年第4期187-192,共6页
综述了具有二次电子发射功能的MgO薄膜的主要制备方法,包括电子束蒸发、磁控溅射、溶胶-凝胶、分子束外延和脉冲激光沉积法。阐述了各种方法在制备MgO薄膜方面的优点和不足,讨论了不同的制备方法对MgO薄膜结晶取向、表面形貌等性质的影... 综述了具有二次电子发射功能的MgO薄膜的主要制备方法,包括电子束蒸发、磁控溅射、溶胶-凝胶、分子束外延和脉冲激光沉积法。阐述了各种方法在制备MgO薄膜方面的优点和不足,讨论了不同的制备方法对MgO薄膜结晶取向、表面形貌等性质的影响。分析表明,利用磁控溅射法制备MgO薄膜可获得较高的二次电子发射率。 展开更多
关键词 MgO薄膜 二次电子 磁控溅射 结晶取向
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不同微槽结构绝缘子真空沿面闪络特性 被引量:10
13
作者 李逢 王勐 +4 位作者 任靖 方东凡 康军军 徐乐 杨尊 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期299-303,共5页
针对单极性脉冲电压下不同微槽结构绝缘子真空沿面闪络特性开展实验研究。根据二次电子运动特性,设计了多种微槽宽度,对比了微槽结构和平面结构的绝缘子耐压特性差异。槽宽为1mm的微槽样品耐压水平与平面结构样品耐压水平相当,槽宽小于... 针对单极性脉冲电压下不同微槽结构绝缘子真空沿面闪络特性开展实验研究。根据二次电子运动特性,设计了多种微槽宽度,对比了微槽结构和平面结构的绝缘子耐压特性差异。槽宽为1mm的微槽样品耐压水平与平面结构样品耐压水平相当,槽宽小于1mm的样品组耐压水平均高于平面结构样品,最高电压提高倍数约为1.4,说明一定尺寸范围内的微槽设计将提高绝缘子真空耐压水平。通过电场强度计算分析微槽结构对二次电子运动的影响过程可知,较大的微槽宽度可使电子限制在槽内运动,较小的微槽宽度将抑制初始电子的发展,最终二者都能达到抑制闪络的目的。通过显微镜观测各组样品表面特征,材料表面微观缺陷将可能降低材料耐压水平。 展开更多
关键词 真空沿面闪络 表面微槽 单极性脉冲电压 二次电子
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纯银材料的二次电子发射能谱研究 被引量:7
14
作者 杨晶 崔万照 +1 位作者 胡天存 张娜 《太赫兹科学与电子信息学报》 2014年第1期141-144,共4页
超高真空测试设备配备的能量分析仪可分析材料表面发射的二次电子能谱,区分真正的二次电子和背散射电子,并通过对能谱积分求得真二次电子系数。本文以纯净银箔材料为例,将电流法测试的二次电子系数(SEY)与能谱分析结果进行对比,误差不超... 超高真空测试设备配备的能量分析仪可分析材料表面发射的二次电子能谱,区分真正的二次电子和背散射电子,并通过对能谱积分求得真二次电子系数。本文以纯净银箔材料为例,将电流法测试的二次电子系数(SEY)与能谱分析结果进行对比,误差不超过6%,验证了电流法测试的正确性,并且分析了误差产生的原因。 展开更多
关键词 二次电子 二次电子发射 背散射电子 能谱
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介质材料带电对二次电子发射影响的研究 被引量:8
15
作者 陈益峰 杨生胜 +5 位作者 秦晓刚 柳青 史亮 孔风连 汤道坦 李存惠 《真空与低温》 2010年第3期167-170,共4页
航天器充放电效应故障大多都会引起卫星灾难性事故,对航天器在轨安全运行产生较大的影响。二次电子发射系数是决定卫星表面带电速率和充电平衡电位水平的重要材料特征参数。研究介质材料表面带电对二次电子发射影响的理论模型,分析表面... 航天器充放电效应故障大多都会引起卫星灾难性事故,对航天器在轨安全运行产生较大的影响。二次电子发射系数是决定卫星表面带电速率和充电平衡电位水平的重要材料特征参数。研究介质材料表面带电对二次电子发射影响的理论模型,分析表面正电位激发和负电位阻挡效应,并给出计算结果,为航天器充放电效应数值模拟和防护设计提供数据支持。 展开更多
关键词 充放电效应 二次电子 能量 表面电位
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高性能多功能介质二次电子发射特性研究平台 被引量:5
16
作者 何鋆 杨晶 +2 位作者 苗光辉 张娜 崔万照 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期69-73,共5页
介绍了一套高性能多功能介质二次电子发射特性研究平台和介质材料二次电子产额脉冲测量方法。该平台配备有三层栅网结构的收集器和30 eV^30 keV宽能量范围的电子枪,可在10-8 Pa超高真空下测量介质材料的二次电子发射特性,并具备XPS能谱... 介绍了一套高性能多功能介质二次电子发射特性研究平台和介质材料二次电子产额脉冲测量方法。该平台配备有三层栅网结构的收集器和30 eV^30 keV宽能量范围的电子枪,可在10-8 Pa超高真空下测量介质材料的二次电子发射特性,并具备XPS能谱分析、加热和氩离子溅射清洗原位处理分析功能。给出了测得的金和氧化铝材料的二次电子电流脉冲,通过判断电流脉冲波形随时间以及照射次数的变化,获得了介质材料带电饱和时间及材料厚度对带电量的影响。 展开更多
关键词 二次电子 二次电子产额 脉冲法 真空电子与技术
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低能电子束对抗蚀剂曝光的Monte Carlo模拟 被引量:7
17
作者 宋会英 张玉林 孔祥东 《微细加工技术》 2004年第4期1-6,共6页
考虑二次电子的产生和散射,利用MonteCarlo方法模拟了具有高斯分布特征的低能入射电子束斑在抗蚀剂中的散射过程,分别得到了电子束在抗蚀剂中的穿透深度和能量沉积的分布图。发现在能量小于2 5keV范围内的模拟结果与实验结果相吻合,这... 考虑二次电子的产生和散射,利用MonteCarlo方法模拟了具有高斯分布特征的低能入射电子束斑在抗蚀剂中的散射过程,分别得到了电子束在抗蚀剂中的穿透深度和能量沉积的分布图。发现在能量小于2 5keV范围内的模拟结果与实验结果相吻合,这比用传统的不考虑二次电子的Bethe公式得到的模拟结果更加符合实际的电子散射过程,精度更高。另外还发现电子束能量越低,曝光的分辨率和效率越高,这一结果也与实验相吻合。结果表明,二次电子的产生和散射对电子束曝光起了重要的作用,需考虑它们的影响。 展开更多
关键词 电子束 MONTE CARLO模拟 散射 二次电子
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高梯度绝缘子初步研究及Kapton绝缘性能分析 被引量:6
18
作者 屈立辉 刘列 +1 位作者 徐启福 文建春 《高压电器》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期253-255,259,共4页
为发展高梯度绝缘子,介绍了这种新型绝缘子的耐压机理,利用单电子理论对绝缘层厚度进行了初步的定量估计,从材料耐热性能、出气率、介电常数、耐辐射等几个方面对Kapton用于真空高压绝缘的优越性进行了讨论,利用经验公式绘制了Kapton材... 为发展高梯度绝缘子,介绍了这种新型绝缘子的耐压机理,利用单电子理论对绝缘层厚度进行了初步的定量估计,从材料耐热性能、出气率、介电常数、耐辐射等几个方面对Kapton用于真空高压绝缘的优越性进行了讨论,利用经验公式绘制了Kapton材料的二次电子发射数量随能量的变化关系曲线图,对实际设计微堆层绝缘子具有参考价值。 展开更多
关键词 高梯度绝缘子 二次电子 高压绝缘:缩聚类芳香族聚酰亚胺Kapton
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密封式中子管中电子电流形成过程 被引量:7
19
作者 金斗英 《吉林大学自然科学学报》 CAS CSCD 1998年第1期40-44,共5页
分析中子管中电子电流的形成过程.对于Philip型中子管,D+离子轰击靶产生的二次电子直射进入加速区,形成的电子电流仅是总电子电流的一部分.为完整地解释电子电流的形成,必须考虑到二次电子在加速电极内壁上的散射和新产生的二次电... 分析中子管中电子电流的形成过程.对于Philip型中子管,D+离子轰击靶产生的二次电子直射进入加速区,形成的电子电流仅是总电子电流的一部分.为完整地解释电子电流的形成,必须考虑到二次电子在加速电极内壁上的散射和新产生的二次电子进入加速区形成电子流的因素. 展开更多
关键词 中子管 电子电流 二次电子 电子散射 密封式
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二次电子和背散射电子发射对卫星表面电位的影响 被引量:7
20
作者 陈益峰 杨生胜 +3 位作者 李得天 秦晓刚 史亮 冯娜 《现代应用物理》 2014年第3期223-226,共4页
利用麦克斯韦函数描述空间等离子体能量分布特性,计算获得了空间等离子体中电子和离子充电电流密度、二次电子和背散射电子发射系数,并基于充放电平衡方程,建立了表面充电电位的计算方法。研究结果表明,二次电子和背散射电子在卫星表面... 利用麦克斯韦函数描述空间等离子体能量分布特性,计算获得了空间等离子体中电子和离子充电电流密度、二次电子和背散射电子发射系数,并基于充放电平衡方程,建立了表面充电电位的计算方法。研究结果表明,二次电子和背散射电子在卫星表面材料Kapton的充电电位中约占25%。 展开更多
关键词 表面充放电效应 二次电子 背散射电子 充电电位
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