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二维零位光栅及其在纳米计量技术中的应用 被引量:6
1
作者 胡翘 王文伟 +1 位作者 黄文浩 李尚志 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第1期137-140,共4页
本文提出了一种用二维零位光栅来实现超高分辨率的绝对测量方法。利用二维零位光栅作为整个系统的零点,可消除SPM仪器的累计误差。本文对二维零位原子光栅的原理,评价指标,评价指标极限的计算,作了详细介绍。本文给出了计算机仿... 本文提出了一种用二维零位光栅来实现超高分辨率的绝对测量方法。利用二维零位光栅作为整个系统的零点,可消除SPM仪器的累计误差。本文对二维零位原子光栅的原理,评价指标,评价指标极限的计算,作了详细介绍。本文给出了计算机仿真结果。 展开更多
关键词 spm 零位光栅 纳米计量 二维 超高分辨率
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Processing technique of target capsule's micro inflation hole with a scanning probe 被引量:7
2
作者 SUN Tao, YAN Yongda, GAO Dangzhong, TANG Yongjian, FU Yibei & DONG ShenPrecision Engineering Research Institute, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China Research Centre of Laser Fusion, Chinese Academy of Engineering Plysics, Mianyang 621900, China Institute of Nuclear Physics and Chemistry, Chinese Academy of Engineering Physics, Mianyang 621900, China 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2004年第1期77-84,共8页
To resolve inflation of inertial confinement fusion (ICF) target and encapsulation of micro inflation hole with adhesive, a scanning probe microscope (SPM) diamond microprobe was used as the cutting tool with SPM in c... To resolve inflation of inertial confinement fusion (ICF) target and encapsulation of micro inflation hole with adhesive, a scanning probe microscope (SPM) diamond microprobe was used as the cutting tool with SPM in contact mode. Some parameters influencing the quality of micro inflation hole, such as the scanning direction of the diamond tip, the scanning rate and the contact force are discussed. Accurate taper hole was achieved whose climension and precision could meet the requirements of inflation and encapsulation technique of micro hole. The experimental results show that using SPM diamond microprobe as the cutting tool and with special processing technique, the precision machining of target capsule's taper inflation hole can be realized. A novel operative technology for filling high Z gas to target is provided. 展开更多
关键词 target capsule scanning probe microscope (spm) diamond microprobe PROCESSING technique BRITTLE material.
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扫描探针显微镜的发展与应用 被引量:1
3
作者 曹世智 徐毅 +1 位作者 赵克功 许婕 《现代计量测试》 1998年第4期3-8,共6页
扫描隧道显微镜和原子力显微镜的发明大大促进了扫描探针显微镜的发展。本文介绍扫描隧道显微镜和原子力显微镜的基本工作原理、发展背景以及以扫描隧道显微镜和原子力显微镜为基础衍生出来的各种扫描探针显微镜的应用。扫描探针显微镜... 扫描隧道显微镜和原子力显微镜的发明大大促进了扫描探针显微镜的发展。本文介绍扫描隧道显微镜和原子力显微镜的基本工作原理、发展背景以及以扫描隧道显微镜和原子力显微镜为基础衍生出来的各种扫描探针显微镜的应用。扫描探针显微镜是一种新的探测仪器,它在三维方向上的分辨率均可以达到原子量级的水平,因此在微电子学、微机械学、计量学、化学和生物医学等领域中有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 扫描探针显微镜
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扫描探针显微镜在胶原纤维精细结构研究中的应用 被引量:5
4
作者 田云飞 赵纯培 +3 位作者 陈红 刘岁林 王英梅 李志强 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期83-86,共4页
作为一种新型的微区分析仪器 ,扫描探针显微镜已迅速普及和应用到了各门学科 ,而在生物领域的应用则相对比较落后。本文简要介绍了扫描探针显微镜这一新型表面测试技术在猪皮胶原精细结构研究中的应用方法 。
关键词 扫描探针显微镜 胶原纤维 精细结构 猪皮
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基于扫描探针显微镜(SPM)的高密度信息存储 被引量:3
5
作者 姜桂元 元文芳 +2 位作者 温永强 高鸿钧 宋延林 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1034-1040,共7页
随着信息技术的飞速发展,高密度信息存储的研究成为国际上备受关注的研究领域。扫描探针显微技术(SPM)通过改变材料的光、电、磁等局域特性可以实现纳米尺度的信息存储,成为提高信息存储密度的最有效手段之一。本文从信息存储材料和技... 随着信息技术的飞速发展,高密度信息存储的研究成为国际上备受关注的研究领域。扫描探针显微技术(SPM)通过改变材料的光、电、磁等局域特性可以实现纳米尺度的信息存储,成为提高信息存储密度的最有效手段之一。本文从信息存储材料和技术角度综述了基于SPM的高密度信息存储最近的研究进展,并讨论了其将来的研究与发展方向。 展开更多
关键词 高密度信息存储 扫描探针显微镜 存储材料
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结合胶的制备及微观形貌研究 被引量:1
6
作者 胥会 陈建 +2 位作者 代文超 罗少伶 谢纯 《弹性体》 CAS 2015年第6期29-35,共7页
利用溶剂法、炭黑(DZ13)制备结合胶,结果表明:当橡胶和炭黑的质量比为2∶1、炭黑粒径一定时,橡胶/甲苯溶液的质量浓度为0.02g/mL,反应时间为10h时制得的结合胶量最大;相对分子质量高的橡胶制得的结合胶质量分数更高。用扫描探针显微镜(S... 利用溶剂法、炭黑(DZ13)制备结合胶,结果表明:当橡胶和炭黑的质量比为2∶1、炭黑粒径一定时,橡胶/甲苯溶液的质量浓度为0.02g/mL,反应时间为10h时制得的结合胶量最大;相对分子质量高的橡胶制得的结合胶质量分数更高。用扫描探针显微镜(SPM)对天然橡胶、丁苯橡胶(SBS)、炭黑以及SBS结合胶的微观形貌进行研究。结果表明,将SBS和炭黑混合物溶解后进行分离,对分离物观察能看到结合胶的微观形貌。 展开更多
关键词 炭黑 天然橡胶 SBS橡胶 结合胶 扫描探针显微镜(spm)
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Effect of SPM Scanning Range on the Micromorphology Parameters
7
作者 Libing Liao Suozai Li (School of materials Science and engineering, China University of Geosciences, Beijing 100083, China) 《International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials》 SCIE EI CAS CSCD 1998年第1期36-38,共3页
The surface of a compact disk is analyzed by using SPM and the quantitative micromorphology analysissoftware SPMIAS developed by the author. Images at the same position but with different scanning ranges areobtained ... The surface of a compact disk is analyzed by using SPM and the quantitative micromorphology analysissoftware SPMIAS developed by the author. Images at the same position but with different scanning ranges areobtained under the same experimental conditions. Micromorphology parameters are calculated and compared, andthe relationship between the changing of the scanning range and the changing of micromorphology parameters issummarized. 展开更多
关键词 scanning probe microscope(spm) MICROMORPHOLOGY micromorphology parameters
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基于DSP的SPM反馈控制器设计 被引量:1
8
作者 丁喜冬 冯天恩 张进修 《计算机工程》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期275-277,共3页
反馈是扫描探针显微镜控制的核心技术,但目前SPM通常使用基于模拟电路的反馈,因而基于数字信号处理器的数字反馈控制器具有较高的实用价值。该文设计了一种基于DSP的SPM数字反馈控制器,并介绍了其软硬件的设计及算法的改进。测试表明,... 反馈是扫描探针显微镜控制的核心技术,但目前SPM通常使用基于模拟电路的反馈,因而基于数字信号处理器的数字反馈控制器具有较高的实用价值。该文设计了一种基于DSP的SPM数字反馈控制器,并介绍了其软硬件的设计及算法的改进。测试表明,该反馈控制器功能正常,稳定性和灵活性比模拟反馈控制器有较大的提高。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 反馈 控制器 数字信号处理
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振动与扫描速率综合影响SPM图像的实验研究
9
作者 陈津平 胡晓东 +2 位作者 陈峰 郭彤 胡小唐 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期242-246,共5页
探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0~ 7kHz频带内SPM机体的简... 探讨了外界激振对扫描探针显微镜 (SPM)图像的影响。针对DI扫描探针显微镜MultiModeTM SPM ,以Tektronix任意波形发生器AWG2 0 2 1驱动PC扬声器作为激振源 ,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统 ,研究了 0~ 7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响。实验表明 ,针尖 -样品副所受激振影响不同于SPM机体 ;0~ 1kHz频带内的激振影响显著 ,再高频段则影响甚微 ;外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果 ;针尖 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 spm图像 扫描速率 外界激振 粘弹性模型 扫描频率 固有频率 针尖-样品副
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扫描探针显微镜教学演示软件 被引量:1
10
作者 邬晓华 周发升 +1 位作者 王文伟 黄文浩 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第1期145-147,共3页
扫描探针显微镜(SPM)是纳米科学与技术领域中的强大工具。然而这些仪器大都原理新颖,操作复杂,价格昂贵,通常使用人员必须经过较长时间才能正确操作。本文介绍了一种计算机辅助教学(CAI)软件——扫描探针显微镜教学演示软... 扫描探针显微镜(SPM)是纳米科学与技术领域中的强大工具。然而这些仪器大都原理新颖,操作复杂,价格昂贵,通常使用人员必须经过较长时间才能正确操作。本文介绍了一种计算机辅助教学(CAI)软件——扫描探针显微镜教学演示软件。该软件将CAI技术和SPM技术结合在一起,主要运用文字说明,静态图像,三维动画,模拟仿真等方法,对SPM的初学者进行SPM的原理介绍和使用培训,可以大大缩短他们的学习时间,并能使其在较短的时间内对SPM有一个较为深入和全面的了解。该软件可供大专院校作为实验教学使用。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 计算机辅助教学 软件
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SPM微悬臂弹性常数校准技术
11
作者 闫永达 尹大勇 +2 位作者 孙涛 费维栋 董申 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第3期174-180,185,共8页
综述了扫描探针显微镜(SPM)的微悬臂梁弹性常数Kn的校准方法,主要包括物理尺寸法、动态测量法和静态测量法。物理尺寸法计算方便,可给出任何方向、任意形状的弹性常数表达式,但测量精度不高,适用于精度要求不高的场合;动态测量方法适用... 综述了扫描探针显微镜(SPM)的微悬臂梁弹性常数Kn的校准方法,主要包括物理尺寸法、动态测量法和静态测量法。物理尺寸法计算方便,可给出任何方向、任意形状的弹性常数表达式,但测量精度不高,适用于精度要求不高的场合;动态测量方法适用于任意形状悬臂,校准过程简单快捷,不易损坏悬臂;静态测量法采用外加设备如标准悬臂或者标准加压设备,操作过程麻烦,易损坏悬臂。但动态和静态测量法的精度较高,因此适用于要求提供精确力信号的场合。目前,静态测量法中采用标准弹簧校准的测量精度可达2%~5%,校准过程方便快捷,具有一定的发展潜力。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 微悬臂 弹性常数 校准 动态测量 静态测量
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基于微石英晶振的动态非接触静电力显微测量(EFM)技术 被引量:1
12
作者 王志勇 鲍剑斌 +1 位作者 张鸿海 郭文明 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期664-668,共5页
在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上 ,通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压 ,获得高分辨率动态非接触静电力显微镜。此装置可以分别利用微小针尖与样品间的范德华力与附加的可调静电力信号 ,同时获得样品表面微观形貌特... 在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上 ,通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压 ,获得高分辨率动态非接触静电力显微镜。此装置可以分别利用微小针尖与样品间的范德华力与附加的可调静电力信号 ,同时获得样品表面微观形貌特征和表面电特性 ,如表面电荷分布。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 静电力显微镜 石英晶振 微力传感器 微观形貌 电特性
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SPM抑振系数的理论与实验研究
13
作者 陈津平 胡小唐 +1 位作者 胡晓东 郭彤 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2006年第4期256-260,共5页
为分析外界振动对扫描探针显微镜(SPM)针尖-样品副的影响,提出“抑振系数”的概念.围绕SPM针尖-样品副的动态力学模型,对抑振系数的物理含义、影响因素等进行了理论分析.搭建了SPM激振、测振的实验系统,对不同的SPM扫描器、探针、样品... 为分析外界振动对扫描探针显微镜(SPM)针尖-样品副的影响,提出“抑振系数”的概念.围绕SPM针尖-样品副的动态力学模型,对抑振系数的物理含义、影响因素等进行了理论分析.搭建了SPM激振、测振的实验系统,对不同的SPM扫描器、探针、样品、针尖预应力以及针尖-样品副开/闭环对SPM抑振系数的影响进行了实验研究.在理论分析上和实验研究中,都证实SPM抑振系数与悬臂梁的有效质量、弹性系数、空气阻尼系数、针尖与样品的接触弹性系数和接触阻尼系数等相关,反映在实际SPM部件参数上,则较短的扫描器、较长的悬臂探针、较软的样品表面、较大的探针预应力、闭环控制的针尖-样品副等都是提高SPM抑振性的途经. 展开更多
关键词 振动 扫描探针显微镜 针尖-样品副 抑振系数 悬臂梁
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扫描探针显微镜图像处理通用软件包的设计
14
作者 郑紫英 林水潮 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第B09期128-130,共3页
扫描探针显微镜(SPM)是固体物体表面结构分析的重要手段.采用Visual Basic结合C语言编写动态链接库的方式设计了SPM图像处理的通用软件包.该软件包括SPM图像的显示、漂移校正、畸变校正、剖面线分析、傅里叶变换分析等,有效消除外界环... 扫描探针显微镜(SPM)是固体物体表面结构分析的重要手段.采用Visual Basic结合C语言编写动态链接库的方式设计了SPM图像处理的通用软件包.该软件包括SPM图像的显示、漂移校正、畸变校正、剖面线分析、傅里叶变换分析等,有效消除外界环境和仪器自身对SPM图像的干扰,丰富了SPM图的信息,并克服商品化仪器软件通用性差的缺点. 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 图像处理 VISUAL Basic
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扫描探针显微镜在机械教学中的应用
15
作者 岳睿 朱文胜 《中国教育技术装备》 2006年第11期47-48,共2页
介绍扫描探针显微镜教学演示软件。该软件将CAI技术和SPM技术结合在一起,主要运用文字说明,静态图像,三维动画,模拟仿真等方法,对SPM的初学者进行了SPM的原理介绍和使用培训,可以大大缩短他们的学习时间,并能使其在较短的时间内... 介绍扫描探针显微镜教学演示软件。该软件将CAI技术和SPM技术结合在一起,主要运用文字说明,静态图像,三维动画,模拟仿真等方法,对SPM的初学者进行了SPM的原理介绍和使用培训,可以大大缩短他们的学习时间,并能使其在较短的时间内对SPM有个较为深入和全面的了解。 展开更多
关键词 NANOVISUA 教学型扫描隧道显微镜 图像处理 扫描探针显微镜(spms) 原子力显微镜 教学效果
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扫描探针显微镜中数据格式的分析及转换程序的设计
16
作者 黄龙飞 丁喜冬 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期215-221,共7页
随着扫描探针显微镜技术发展和广泛应用,扫描探针显微镜的技术标准化问题在国内外受到越来越多的关注。然而在数据格式方面,由于所用硬件平台的不同等原因,各制造商所生产的扫描探针显微镜大多使用专用的数据格式。这些数据格式又往往... 随着扫描探针显微镜技术发展和广泛应用,扫描探针显微镜的技术标准化问题在国内外受到越来越多的关注。然而在数据格式方面,由于所用硬件平台的不同等原因,各制造商所生产的扫描探针显微镜大多使用专用的数据格式。这些数据格式又往往互不兼容,给数据后续的分析处理和交流共享带来不便。本文首先对扫描探针显微镜中数据格式的发展及应用较多的格式进行了分析,然后从扫描探针显微镜现有数据的类型、内容和特点出发,研究了规范扫描探针显微镜数据格式的基本要求和思路;经过比较和筛选提出了一种基于HDF5标准(hierarchical data format,HDF)的标准格式方案;并用C++语言实现了对该格式的操作及其与几种专用数据格式之间的相互转换,完成了格式方案和代码资源的开源共享。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 数据格式 标准化 格式转换 开源
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用于扩展SPM检测范围的精密定位系统
17
作者 孙涛 董申 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期669-672,共4页
本文介绍了所研制的二维微定位柔性系统和一维精密转动系统 ,进行了相关技术的研究并给出了设计参数。使SPM能够满足高精度下的大尺寸平面样品以及球形被测样品的全范围检测 ,扩大了扫描探针显微镜 (SPM)
关键词 扫描探针显微镜 精密定位技术 三维测量 检测范围
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原子力显微镜和皮革胶原纤维精细结构研究 被引量:4
18
作者 吉晓江 田云飞 +5 位作者 赵纯培 陈红 王英梅 李志强 陈敏 廖隆理 《现代仪器》 CAS 2002年第1期40-41,43,共3页
本文简要说明了原子力显微镜(AFM)的原理,和它在猪皮胶原纤维精细结构研究中的情况。
关键词 原子力显微镜 扫描探针显微镜 皮革 基础纤维 纳米分析 胶原纤维
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EXPERIMENTAL RESEARCH OF NANO-CUTTING BY USING SCANNING PROBE MICROCOPE
19
作者 Fu Huinan (Institute of Manufacturing Technology,Guangdong University of Technology) Xu Xipeng (Huaqiao University) 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2001年第4期297-299,304,共4页
An experimental study on cutting amorphous alloy at nanometer scale is conducted by applying the principle and technology of scanning probe microscope(SPM) It is revealed from the experiments that cutting inside SPM... An experimental study on cutting amorphous alloy at nanometer scale is conducted by applying the principle and technology of scanning probe microscope(SPM) It is revealed from the experiments that cutting inside SPM is an excellent and direct way to research the material removal process at small size Based on the experimental results,the chip formation mechanism for the cutting of amorphous alloy is discussed It is found that the deformation along the direction of chip flow occurs ahead of the appearance of localized shear,and a simplified geometrical model is proposed to illustrate the deformation. 展开更多
关键词 scanning probe microscope(spm) NANOTECHNOLOGY Cutting mechanism
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大气状态下SPM纳米加工系统的开发
20
作者 郭彤 胡晓东 胡小唐 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期22-23,共2页
对现有的商业化 SPM进行了一些必要的改造 ,使其适合于扫描探针加工的要求。讨论了在 DI公司多功能 SPM基础上开发纳米加工系统的可能性 ,并提供了一套完整的信号施加、过程监测和环境控制的方法 ,实现了矢量式的纳米氧化加工 ,得到了 3... 对现有的商业化 SPM进行了一些必要的改造 ,使其适合于扫描探针加工的要求。讨论了在 DI公司多功能 SPM基础上开发纳米加工系统的可能性 ,并提供了一套完整的信号施加、过程监测和环境控制的方法 ,实现了矢量式的纳米氧化加工 ,得到了 30 nm宽的氧化结构 。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 纳米加工 矢量式 环境控制
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