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高速气流喷射干式清洗理论及实验研究 被引量：1
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作者 庞昊斐 祝锡晶 赵轩达 《制造技术与机床》 北大核心 2016年第7期70-74,共5页
为进一步发展环保经济的清洗方式,提出一种高速气流喷射的干式清洗方法。建立了高速气流喷射条件下去除光滑表面球形微粒的物理模型,将拖拽力与粘附力的比值定义为无量纲的再悬浮参数F*并给出其值的计算方法。选取玻璃基板和单晶硅片为... 为进一步发展环保经济的清洗方式,提出一种高速气流喷射的干式清洗方法。建立了高速气流喷射条件下去除光滑表面球形微粒的物理模型,将拖拽力与粘附力的比值定义为无量纲的再悬浮参数F*并给出其值的计算方法。选取玻璃基板和单晶硅片为样本平面、单分散的聚苯乙烯微粒为样本微粒,进行高速气流喷射清洗实验,实验探讨了F*与去除效率的关系。结果表明:高速气流喷射法为去除光滑表面微粒的有效方式;再悬浮参数F*可以作为评估去除效率的有效依据。 展开更多
关键词 干式清洗 高速气流喷射 再悬浮参数 去除效率
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