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井筒揭穿突出危险煤层综合防突技术 被引量:3
1
作者 张裕峰 汤卫东 《煤炭技术》 CAS 北大核心 2009年第4期173-174,共2页
通过对青东煤矿煤层突出危险性分析,研究确定了井筒穿过具有突出危险性煤层时通过地面预注浆进行固化煤层,降低煤层的孔隙率和瓦斯放散初速度,提高煤体强度,使煤体不具有突出危险性,震动性爆破前巧妙将工作面施工成所揭煤层成平行,采用... 通过对青东煤矿煤层突出危险性分析,研究确定了井筒穿过具有突出危险性煤层时通过地面预注浆进行固化煤层,降低煤层的孔隙率和瓦斯放散初速度,提高煤体强度,使煤体不具有突出危险性,震动性爆破前巧妙将工作面施工成所揭煤层成平行,采用电磁高性能安全雷管进行远距离震动爆破,实现安全快速揭开煤层。 展开更多
关键词 突出危险性煤层 注浆 平行煤层 震动放炮 揭煤
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电极对平行缝焊的影响 被引量:12
2
作者 肖清惠 杨娟 +1 位作者 赵洋立 侯正军 《电子与封装》 2012年第9期6-9,共4页
平行缝焊作为电子元器件的主要封盖方式之一,普遍用于对水汽含量和气密性要求较高的集成电路封装中。影响平行缝焊的因素很多,如夹具的设计、盖板与管座的匹配、电极表面的状态、工艺参数的设置等。文章通过在SSEC(Solid State Equipmen... 平行缝焊作为电子元器件的主要封盖方式之一,普遍用于对水汽含量和气密性要求较高的集成电路封装中。影响平行缝焊的因素很多,如夹具的设计、盖板与管座的匹配、电极表面的状态、工艺参数的设置等。文章通过在SSEC(Solid State Equipment Company)M-2300型平行缝焊机上进行实验,分别从电极的材料、电极的角度、电极表面的光洁度和电极的位置等方面总结出电极的状态对平行缝焊成品率的影响,并提出有效的改进方法。 展开更多
关键词 封装 平行缝焊 电极
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气密性平行缝焊技术与工艺 被引量:11
3
作者 王贵平 李晓燕 《电子工艺技术》 2014年第1期42-44,共3页
气密性封焊的产品因其杰出的可靠性被广泛应用于军事应用。与储能焊、激光焊相比,平行缝焊具有可靠性高、密封性能优越、运行成本低及生产率高等特点,是微电子器件最常用的气密性封装方法之一。主要阐述了气密性平行缝焊技术与工艺,并... 气密性封焊的产品因其杰出的可靠性被广泛应用于军事应用。与储能焊、激光焊相比,平行缝焊具有可靠性高、密封性能优越、运行成本低及生产率高等特点,是微电子器件最常用的气密性封装方法之一。主要阐述了气密性平行缝焊技术与工艺,并对焊接工艺参数进行了详细分析,同时给出了气密性检测要求及针对性措施。 展开更多
关键词 平行缝焊 气密性 封装
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平行缝焊工艺抗盐雾腐蚀技术研究 被引量:10
4
作者 李茂松 何开全 +1 位作者 徐炀 张志洪 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期465-469,共5页
抗盐雾腐蚀是提高集成电路封装可靠性的重要手段之一。根据金属腐蚀机理,通过优化封焊工艺和AuSn合金焊料平行缝焊封盖工艺,以及在封盖后再次进行电镀修复损伤等措施,提高了平行缝焊集成电路的抗盐雾腐蚀能力。
关键词 集成电路封装 抗盐雾腐蚀 平行缝焊
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平行缝焊工艺的热效应研究 被引量:9
5
作者 李宗亚 陈陶 +1 位作者 仝良玉 肖汉武 《电子与封装》 2015年第3期1-4,17,共5页
平行缝焊作为一种高可靠性的气密性密封方法,在陶瓷封装行业中有着愈发重要的应用。封焊过程中瞬间产生的高能量在完成密封的同时,会对陶瓷外壳造成很高的热应力残留,可能会对器件可靠性产生影响。介绍了平行缝焊的工作原理及工艺参数,... 平行缝焊作为一种高可靠性的气密性密封方法,在陶瓷封装行业中有着愈发重要的应用。封焊过程中瞬间产生的高能量在完成密封的同时,会对陶瓷外壳造成很高的热应力残留,可能会对器件可靠性产生影响。介绍了平行缝焊的工作原理及工艺参数,并通过使用ANSYS软件对工艺过程中的各参数进行热仿真分析,研究平行缝焊工艺参数对陶瓷封装的热影响。 展开更多
关键词 平行缝焊 陶瓷封装 仿真
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平行缝焊焊缝质量的评判 被引量:8
6
作者 肖汉武 《电子与封装》 2015年第2期5-11,共7页
平行缝焊是微电子单片集成电路及混合电路气密封装的一种关键密封工艺,其中焊缝质量的优劣对平行缝焊产品的密封质量、可靠性影响较大。虽然平行缝焊只是在盖板边缘进行局部加温,对外壳的整体升温比较低,但如果工艺控制不当的话,缝焊过... 平行缝焊是微电子单片集成电路及混合电路气密封装的一种关键密封工艺,其中焊缝质量的优劣对平行缝焊产品的密封质量、可靠性影响较大。虽然平行缝焊只是在盖板边缘进行局部加温,对外壳的整体升温比较低,但如果工艺控制不当的话,缝焊过程中同样会引入较大的热应力,导致焊环与陶瓷结合部位开裂,最终造成筛选、鉴定试验过程中的气密性失效。针对平行缝焊工艺中焊点、焊缝质量的评判方法进行了讨论。 展开更多
关键词 平行缝焊 气密封装 盖板
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MCM-C金属气密封装技术 被引量:8
7
作者 何中伟 李寿胜 《电子与封装》 2006年第9期1-6,共6页
在介绍MCM-C常用金属气密封装方法的基础上,重点对MCM-C封装中工程实用性强、应用较多的平行缝焊密封工艺技术、链式炉钎焊密封工艺技术以及密封前的真空烘烤技术进行了较深入的研讨。实验结果表明,采用文中所述的MCM-C金属气密封装技... 在介绍MCM-C常用金属气密封装方法的基础上,重点对MCM-C封装中工程实用性强、应用较多的平行缝焊密封工艺技术、链式炉钎焊密封工艺技术以及密封前的真空烘烤技术进行了较深入的研讨。实验结果表明,采用文中所述的MCM-C金属气密封装技术所封装的金属外壳封装MCM-C、一体化PGA封装MCM-C产品,在经受规定的环境试验、机械试验后,其结构完整性、电学有效性、机械牢固性、封装气密性均能很好地满足要求。 展开更多
关键词 MCM-C 金属气密封装 平行缝焊 钎焊 真空烘烤
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平行缝焊与盖板 被引量:7
8
作者 侯正军 宋备刚 丁鹏 《电子与封装》 2008年第8期1-4,8,共5页
在一些特殊环境条件下使用的各种电子元器件,需要进行密封封装,以防止器件中的电路因潮气、大气中的离子、腐蚀气氛的浸蚀等引起失效。另外在封装时可以充以保护气体来降低封装环境湿度,进行气密性封装以延长器件的使用时间。文章通过在... 在一些特殊环境条件下使用的各种电子元器件,需要进行密封封装,以防止器件中的电路因潮气、大气中的离子、腐蚀气氛的浸蚀等引起失效。另外在封装时可以充以保护气体来降低封装环境湿度,进行气密性封装以延长器件的使用时间。文章通过在SSEC(Solid State Equipment Company)M-2300型平行缝焊机上进行缝焊实验发现,盖板与平行缝焊的关系是相当重要的。在管座性能稳定的情况下,盖板质量的好坏直接影响着器件的气密性。 展开更多
关键词 平行缝焊 气密性 盖板 蚀刻盖板
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倒装焊器件的密封技术 被引量:6
9
作者 李欣燕 李秀林 丁荣峥 《电子与封装》 2010年第9期1-4,共4页
倒装焊的底部填充属非气密性封装,并且受倒装焊凸点焊料熔点、底部填充有机材料耐温限制,使得倒装焊器件的密封结构设计和工艺设计受限。文章结合气密性器件使用要求,设计了两种不改变现行倒装焊器件制造工艺、器件总体结构[3]的密封技... 倒装焊的底部填充属非气密性封装,并且受倒装焊凸点焊料熔点、底部填充有机材料耐温限制,使得倒装焊器件的密封结构设计和工艺设计受限。文章结合气密性器件使用要求,设计了两种不改变现行倒装焊器件制造工艺、器件总体结构[3]的密封技术,经过分析论证以及工艺实验,确认其是可行的。密封的器件能够满足MIL-883G中有关气密性、内部水汽含量、耐腐蚀(盐雾)、耐湿以及机械试验等[6~7],密封结构、密封工艺均是在现有封装工艺条件基础上进行,具有非常强的可行性。 展开更多
关键词 倒装焊 气密性 陶瓷外壳 平行缝焊 合金焊料熔封 可靠性
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基于平行缝焊工艺的AuSn合金焊料封盖技术研究 被引量:5
10
作者 李茂松 欧昌银 +4 位作者 陈鹏 赵光辉 胡琼 黄大志 朱虹姣 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期349-353,共5页
为了解决聚合物粘结电路的质量与长期可靠性问题,提出了一种采用平行缝焊工艺对AuSn合金焊料熔封器件进行封盖的新方法。通过对平行缝焊工艺的深入研究,解决了该类器件封盖的气密性与外观质量问题,从而找到了一种有效解决熔封外壳组装... 为了解决聚合物粘结电路的质量与长期可靠性问题,提出了一种采用平行缝焊工艺对AuSn合金焊料熔封器件进行封盖的新方法。通过对平行缝焊工艺的深入研究,解决了该类器件封盖的气密性与外观质量问题,从而找到了一种有效解决熔封外壳组装的低温聚合物粘结电路水汽含量、抗剪强度、键合强度控制的新方法。 展开更多
关键词 封装 水汽控制 平行缝焊 气密性 合金封盖
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金属盖板镀层形貌对平行缝焊器件抗盐雾性能的影响
11
作者 马明阳 曹森 +2 位作者 杨振涛 张世平 欧彪 《电子与封装》 2024年第4期30-35,共6页
气密性封装是高可靠集成电路制造的关键技术。探讨了金属盖板表面镀层形貌对平行缝焊器件耐盐雾性能的影响。研究发现,平行缝焊后金属盖板表面出现的贯穿性裂纹是降低平行缝焊器件耐盐雾性能的关键因素。在相同封帽参数下,表面镀层为长... 气密性封装是高可靠集成电路制造的关键技术。探讨了金属盖板表面镀层形貌对平行缝焊器件耐盐雾性能的影响。研究发现,平行缝焊后金属盖板表面出现的贯穿性裂纹是降低平行缝焊器件耐盐雾性能的关键因素。在相同封帽参数下,表面镀层为长条形晶胞的盖板封帽后出现多条贯穿性裂纹,无法通过24 h盐雾试验后气密性检测。而表面镀层为均匀大小的圆形晶胞的盖板具备更高的抗封帽裂纹能力,封帽后无贯穿性裂纹出现,且可通过48 h盐雾试验后气密性检测。 展开更多
关键词 封装 平行缝焊 金属盖板 镀层形貌 盐雾试验 气密性检测
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平行缝焊微电子器件的光学检漏
12
作者 张泽丰 徐达 +2 位作者 谭亮 魏少伟 马紫成 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第3期285-291,共7页
光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测... 光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测结果的影响,分析了光学检漏的“充压”问题并给出解决方案,对比了光学检漏与氦质谱检漏的检测漏率。分析了光学检漏技术的优缺点,并通过实验验证了光学检漏的可行性及可靠性,为微电子器件的光学检漏应用提供参考。 展开更多
关键词 微电子器件 光学检漏 平行缝焊 密封 氦质谱检漏
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平行缝焊用盖板可靠性研究 被引量:5
13
作者 宁利华 赵桂林 +1 位作者 叶永松 胡鸣浩 《电子与封装》 2005年第10期24-25,48,共3页
本文主要阐述了平行缝焊用盖板影响封装可靠性的五个方面问题。并且讨论了它的解决办法。
关键词 平行缝焊 盖板 可靠性
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平行缝焊 被引量:4
14
作者 侯正军 陈玉华 《电子与封装》 2004年第2期27-30,共4页
本文阐述了平行缝焊的工作原理及优缺点,介绍了平行缝焊的过程和条件。
关键词 平行缝焊 工作原理 封装技术 电子器件
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HTCC产品气密性封装的平行缝焊工艺研究 被引量:5
15
作者 陈曦 甘志华 苗春蕾 《电子与封装》 2019年第10期8-12,共5页
平行缝焊作为气密性封装的一种重要封装形式,以其适用范围广、可靠性高等优势被广泛应用。在高温共烧陶瓷(High Temperature Co-fired Ceramics,HTCC)产品气密性封装应用时,有诸多因素可能会引起产品密封不合格,导致电路失效。从产品盖... 平行缝焊作为气密性封装的一种重要封装形式,以其适用范围广、可靠性高等优势被广泛应用。在高温共烧陶瓷(High Temperature Co-fired Ceramics,HTCC)产品气密性封装应用时,有诸多因素可能会引起产品密封不合格,导致电路失效。从产品盖板和底座的清洁度、预焊过程控制、封装夹具制作及封装参数的设置4个方面研究了平行缝焊工艺对HTCC产品气密性封装效果的影响。研究结果显示,为减少平行缝焊时陶瓷管壳所受到的热冲击,在脉冲周期内脉冲宽度要短,焊封能量应尽可能小,同时平行缝焊工艺中非封装参数影响的焊道质量也会影响HTCC产品气密性封装的效果。 展开更多
关键词 高温共烧陶瓷 气密性封装 平行缝焊
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采用平行缝焊机封盖的工艺研究 被引量:5
16
作者 关亚男 刘庆川 刘春岩 《微处理机》 2005年第1期9-10,共2页
本文主要介绍利用平行缝焊机封盖的工艺;并对调试过程中出现的盖板对位不准和漏气问题进行了分析和研究。
关键词 平行缝焊机 工艺
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浅谈电极对平行缝焊质量的影响 被引量:5
17
作者 姚秀华 刘笛 《电子与封装》 2010年第4期12-14,共3页
伴随着现代微电子技术的高速发展,对温度较敏感的电子元器件在设计中被普遍采用,为了满足这种电子元器件的封装要求,平行缝焊技术应运而生。平行缝焊是一种温升小、气密性高的高可靠性封装方式,普遍用于对水汽含量和气密性要求较高的集... 伴随着现代微电子技术的高速发展,对温度较敏感的电子元器件在设计中被普遍采用,为了满足这种电子元器件的封装要求,平行缝焊技术应运而生。平行缝焊是一种温升小、气密性高的高可靠性封装方式,普遍用于对水汽含量和气密性要求较高的集成电路封装中。影响平行缝焊质量的有诸多因素,如盖板和管壳之间的匹配、工艺参数的设置、电极表面的状态等。我们通过在SSEC(Solid State Equipment Company)M-2300型平行缝焊机上进行实验,总结出电极的状态对于平行缝焊的成品率有着直接的影响。 展开更多
关键词 封装 平行缝焊 电极
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基于低噪声放大器的平行缝焊质量控制方法
18
作者 杨宁宁 田英 +3 位作者 梅骏修 陈乙玮 刘国玮 韩立昌 《航天制造技术》 2023年第1期22-25,共4页
平行缝焊是陶瓷类管壳的主要封装形式,也是微组装产品的最后一道生产工序。因此,缝焊后的质量不仅要求产品具有低漏率值的焊接气密性,同时也需要具有良好的焊接结合力和外观形貌来保障内部裸芯片的功能稳定性以及产品后续的环境考核达... 平行缝焊是陶瓷类管壳的主要封装形式,也是微组装产品的最后一道生产工序。因此,缝焊后的质量不仅要求产品具有低漏率值的焊接气密性,同时也需要具有良好的焊接结合力和外观形貌来保障内部裸芯片的功能稳定性以及产品后续的环境考核达标。文章主要以解决影响缝焊质量的电极打火问题为基础,分别从夹持产品的工装结构设计、缝焊盖板的表面洁净度控制、缝焊工艺参数设置三方面进行分析,并提出降低电极打火的有效缝焊质量控制方法。 展开更多
关键词 平行缝焊 电极打火 缝焊质量
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平行缝焊盖板镀层结构的热分析 被引量:3
19
作者 蒋涵 徐中国 蒋玉齐 《电子与封装》 2022年第2期25-30,共6页
平行缝焊是陶瓷封装中应用最为广泛的高可靠性气密性封装方式之一。由于焊接过程中,盖板表面镀层会发生熔化、破坏等过程,可伐基底会被暴露在环境中,导致盐雾腐蚀失效。利用Abaqus有限元分析软件,选择2种代表性的可伐盖板镀层结构,分析... 平行缝焊是陶瓷封装中应用最为广泛的高可靠性气密性封装方式之一。由于焊接过程中,盖板表面镀层会发生熔化、破坏等过程,可伐基底会被暴露在环境中,导致盐雾腐蚀失效。利用Abaqus有限元分析软件,选择2种代表性的可伐盖板镀层结构,分析不同加载温度条件下可伐盖板及其表面镀层的温度分布。仿真结果表明,当可伐盖板采用Ni/Au的镀层结构时,控制焊接温度范围为1200~1400℃,有希望保证平行缝焊耐盐雾腐蚀可靠性,并给出其耐盐雾腐蚀机理。 展开更多
关键词 平行缝焊 陶瓷封装 仿真
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基于焊接数据分析的平行缝焊缺陷检测方法
20
作者 王伟乾 张慧俊 白晋铭 《电子工艺技术》 2023年第1期57-60,共4页
平行缝焊是一种用于对露点和气密性要求较高的微电子单片集成电路管壳进行气密性封装的封装工艺。影响缝焊质量的因素有很多,因此有多种针对平行缝焊缺陷检测的手段,通常是经过显微镜目检,氦质谱检漏和氟油粗检三种检测方式。通过对不... 平行缝焊是一种用于对露点和气密性要求较高的微电子单片集成电路管壳进行气密性封装的封装工艺。影响缝焊质量的因素有很多,因此有多种针对平行缝焊缺陷检测的手段,通常是经过显微镜目检,氦质谱检漏和氟油粗检三种检测方式。通过对不同焊接问题反馈的焊接数据进行数据分析,提出一种基于焊接数据分析的平行缝焊缺陷检测,可以有效提高缺陷检测的准确率和效率。 展开更多
关键词 平行缝焊 焊接数据分析 缺陷检测
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