论述了光学相控阵的原理,回顾了光学相控阵的发展历程,特别是近年来硅光子相控阵的研究进展。利用与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺线相兼容的绝缘体上硅(SOI)技术实现了大规模的集成,目前国外报道的最大的硅光子相控阵集成了4096个阵...论述了光学相控阵的原理,回顾了光学相控阵的发展历程,特别是近年来硅光子相控阵的研究进展。利用与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺线相兼容的绝缘体上硅(SOI)技术实现了大规模的集成,目前国外报道的最大的硅光子相控阵集成了4096个阵元。在硅光子上实现的二维光束扫描角度可以达到46°×36°,光束宽度只有0.85°×0.18°,天线的损耗小于3 d B,且旁瓣抑制大于10 d B。此外,采用微机电系统(MEMS)器件实现的光学相控阵的光束扫描速度超过0.5 MHz。阐述了各种方式实现光学相控阵的优缺点,并对未来发展前景进行了展望。最后,介绍了光学相控阵在激光雷达、成像、军事上的应用。展开更多
研究了新型光波导阵列电光快速扫描器的馈电特性和馈电方式.针对N I N(P I P)型结构和P I N型结构的光波导阵列电光扫描器,导出了相应的馈电电压公式,提出了一种能最大限度降低驱动电压的新方法,并据此研制了4波导P I N阵列扫描器的控...研究了新型光波导阵列电光快速扫描器的馈电特性和馈电方式.针对N I N(P I P)型结构和P I N型结构的光波导阵列电光扫描器,导出了相应的馈电电压公式,提出了一种能最大限度降低驱动电压的新方法,并据此研制了4波导P I N阵列扫描器的控制电源,成功地进行了电光扫描实验.展开更多
文摘论述了光学相控阵的原理,回顾了光学相控阵的发展历程,特别是近年来硅光子相控阵的研究进展。利用与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺线相兼容的绝缘体上硅(SOI)技术实现了大规模的集成,目前国外报道的最大的硅光子相控阵集成了4096个阵元。在硅光子上实现的二维光束扫描角度可以达到46°×36°,光束宽度只有0.85°×0.18°,天线的损耗小于3 d B,且旁瓣抑制大于10 d B。此外,采用微机电系统(MEMS)器件实现的光学相控阵的光束扫描速度超过0.5 MHz。阐述了各种方式实现光学相控阵的优缺点,并对未来发展前景进行了展望。最后,介绍了光学相控阵在激光雷达、成像、军事上的应用。