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片上集成FMCW激光雷达研究进展(封面文章·特邀)
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作者 朱精果 袁野 +2 位作者 姜成昊 刘宇 赵政伟 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第8期1-17,共17页
随着硅基光电子集成技术快速发展,具有测距测速一体、探测精度高、抗干扰能力强的片上集成调频连续波(Frequency Modulated Continuous Wave,FMCW)激光雷达已成为研究热点,并在智能驾驶、航空航天、目标监测和公共安全等领域释放出越来... 随着硅基光电子集成技术快速发展,具有测距测速一体、探测精度高、抗干扰能力强的片上集成调频连续波(Frequency Modulated Continuous Wave,FMCW)激光雷达已成为研究热点,并在智能驾驶、航空航天、目标监测和公共安全等领域释放出越来越大的应用潜力。文中聚焦基于光学相控阵(Optical Phased Array,OPA)的片上集成FMCW激光雷达,介绍了系统工作原理及典型组成,针对国内外研究进展,概述分析了片上集成FMCW激光雷达的发展现状,同时从调频、发射、扫描、探测和处理等角度凝练了主要关键技术,并梳理了片上集成FMCW激光雷达在相关领域的应用前景和典型系统示例。最后,分析并展望了片上集成FMCW激光雷达面临的潜在挑战及发展趋势。 展开更多
关键词 激光雷达 调频连续波 光学相控阵 片上集成
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大气红外波段的片上集成式偏振光谱成像器件
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作者 周健宇 李全民 +1 位作者 王劲 黄胜弟 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第4期42-50,共9页
红外探测与遥感是气象观测的核心技术,红外辐射探测仪作为气象卫星的重要载荷,主要用于大气温度、湿度的定量化探测,其探测精度取决于光谱和偏振测量的通道数。常见的技术方案是通过组合滤光片与偏振片转轮实现光谱和偏振的探测,这造成... 红外探测与遥感是气象观测的核心技术,红外辐射探测仪作为气象卫星的重要载荷,主要用于大气温度、湿度的定量化探测,其探测精度取决于光谱和偏振测量的通道数。常见的技术方案是通过组合滤光片与偏振片转轮实现光谱和偏振的探测,这造成了系统体积大、功耗高、通道数少的问题。发展片上集成式偏振光谱成像器件是解决上述问题的有效方法,已有研究主要采用薄膜谐振腔或共振微结构的阵列化方案,但二者都无法兼顾光谱和偏振选择的要求。有鉴于此,提出了一种基于薄膜微结构耦合调控的设计新思路,以13μm附近的大气红外波段为例,实现了片上集成式的偏振光谱成像,6个通道的平均透过率和消光比分别达到了94%和30。该器件有望在将来被广泛应用于偏振光谱成像领域中,同时,由于该器件对基底折射率并不敏感,基底的选择也会更加自由。 展开更多
关键词 大气红外 片上集成 薄膜微结构 偏振光谱成像
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新型耐辐射摄像机的设计 被引量:6
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作者 韩春雷 张彦敏 陈兵 《舰船科学技术》 北大核心 2013年第6期113-116,122,共5页
通过与传统耐辐射摄像机的比较,揭示了基于新型高清晰度CMOS APS图像传感器技术的耐辐射摄像机所具有的优势。新型摄像机采用新型片上集成器件,借鉴传统耐辐射摄像机的优点,在满足现有技术要求的条件下,在清晰度、数字化、小型化方面进... 通过与传统耐辐射摄像机的比较,揭示了基于新型高清晰度CMOS APS图像传感器技术的耐辐射摄像机所具有的优势。新型摄像机采用新型片上集成器件,借鉴传统耐辐射摄像机的优点,在满足现有技术要求的条件下,在清晰度、数字化、小型化方面进行了有益的改进尝试。 展开更多
关键词 耐辐射 摄像机 CMOSAPS 单片集成
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高速薄膜铌酸锂相位调制器设计及制备
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作者 胡文良 尚成林 +2 位作者 潘安 齐志强 王晨晟 《光学与光电技术》 2024年第3期97-102,共6页
针对微波光子系统对片上高速调制器件的使用需求,基于铌酸锂材料的线性电光效应,研究通过开展片上器件的光电联合仿真设计,利用与CMOS工艺相兼容的半导体器件制备方法,将低损耗铌酸锂波导、高效耦合模斑转换器、高频微波信号传输线等片... 针对微波光子系统对片上高速调制器件的使用需求,基于铌酸锂材料的线性电光效应,研究通过开展片上器件的光电联合仿真设计,利用与CMOS工艺相兼容的半导体器件制备方法,将低损耗铌酸锂波导、高效耦合模斑转换器、高频微波信号传输线等片上光电器件集成在绝缘体上的铌酸锂(LNOI)晶圆上,实现调制器芯片的片上集成化;采用微光学耦合工艺实现芯片实现光纤阵列的光信号输入输出;采用引线键合方式实现芯片-薄膜电阻-射频接头的阻抗匹配和电信号低损传输;最后采用平行封焊完成芯片-光纤-管壳的气密性封装,以提高调制器的可靠性和环境适应性。测试得到器件光功率插损<6.5 dB,调制带宽>15 G(@3 dB),动态半波电压<6 V(@10 GHz),满足光电振荡器等相关微波光子器件的应用需求。 展开更多
关键词 薄膜铌酸锂 相位调制器 微波光子 片上集成 光电振荡器
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基于SHT10单片集成传感器温湿度检测模块设计 被引量:19
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作者 孙环 滕召胜 《国外电子测量技术》 2006年第6期43-46,共4页
测控系统中经常涉及到温度和湿度参数的检测,采用一体化集成的传感器对温湿度进行检测有利于提高系统的抗干扰能力和可靠性。SHT10正是集温度和湿度检测于一体的单片集成传感器。文中介绍SHT10传感器的基本特性和外部接口的时序要求,详... 测控系统中经常涉及到温度和湿度参数的检测,采用一体化集成的传感器对温湿度进行检测有利于提高系统的抗干扰能力和可靠性。SHT10正是集温度和湿度检测于一体的单片集成传感器。文中介绍SHT10传感器的基本特性和外部接口的时序要求,详细讨论以SHT10为信息源的温湿度模块的软硬件设计。 展开更多
关键词 SHT10 温湿度检测 单片集成传感器
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微波本振源噪声分析 被引量:6
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作者 刘宾容 《电讯技术》 北大核心 2003年第6期64-67,共4页
微波本振源在微波转发设备中是一个关键部件,在现代转发设备中采用大规模单片锁相式频率合成作为本振源,其输出谱线相位噪声直接影响到微波转发设备的输出谱线质量。文中对微波本振源相位噪声进行了描述及对它的几种相位噪声特点进行了... 微波本振源在微波转发设备中是一个关键部件,在现代转发设备中采用大规模单片锁相式频率合成作为本振源,其输出谱线相位噪声直接影响到微波转发设备的输出谱线质量。文中对微波本振源相位噪声进行了描述及对它的几种相位噪声特点进行了分析,并得出微波本振源环路总相位噪声功率谱密度表达式以及锁相环的环路带宽选择原则。 展开更多
关键词 微波本振源 相位噪声 功率谱密度 单片集成锁相环 环路带宽
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片间综合化互连时间触发通信调度方法 被引量:7
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作者 孔韵雯 李峭 +1 位作者 熊华钢 程子敬 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期253-262,共10页
未来先进的分布式综合化航空电子系统需要实现跨越计算体系结构的信息综合,对微小型智能器件间的综合化互连提出要求。通过构建一种具有开放式接口的芯片间综合化互连结构,提出一种相应的时间触发(TT)通信调度方法。首先建立片间综合化... 未来先进的分布式综合化航空电子系统需要实现跨越计算体系结构的信息综合,对微小型智能器件间的综合化互连提出要求。通过构建一种具有开放式接口的芯片间综合化互连结构,提出一种相应的时间触发(TT)通信调度方法。首先建立片间综合化互连模型和时间触发流量传输模型,给出负载均衡的选径方法;随后依据传输路径中各级节点各流量的发送时间偏移量计算流量传输的等待时间可行值,利用遗传算法优化调整各芯片发送端口的调度表相位,更新各流量在发送端口的时间偏移量,缩短最坏情况下的最大等待时间,得到具有全局优化意义的时间触发调度表。与使用Yices等SMT形式化求解器的TT调度表生成方法相比,本方法不会出现长时间不停机而无法判定的问题,且不论对于对称或非对称结构,案例研究表明本方法的可调度规模至少增加30%。此外,以流量传输等待时间占周期的比例作为归一化的传输延迟度量,与既有的基于特征任务的调度方法相比,案例研究表明本方法得到的传输延迟最多仅为后者的2%。 展开更多
关键词 片间综合化互连 时间触发通信 调度方法 等待时间 调度表
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太空设备用单片集成电路筛选方案研究
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作者 武荣荣 任翔 +2 位作者 曹阳 庞明奇 刘净月 《现代电子技术》 北大核心 2024年第10期101-106,共6页
随着太空研究进程不断加速,空天优势已经成为现代竞争中取胜的重要环节。如果偶然失效或者有质量隐患的元器件上装应用,会导致太空设备整机早期故障率大大增加。装备对太空设备用元器件的质量与可靠性提出了战略需求。文中基于太空设备... 随着太空研究进程不断加速,空天优势已经成为现代竞争中取胜的重要环节。如果偶然失效或者有质量隐患的元器件上装应用,会导致太空设备整机早期故障率大大增加。装备对太空设备用元器件的质量与可靠性提出了战略需求。文中基于太空设备的典型应用环境,在充分调研国内外元器件标准体系及质量控制模式的基础上,利用FMEA技术分析元器件的敏感因素。基于薄弱环节建立分级分类的筛选方案,支撑太空设备用元器件可靠性保证工作,避免早期失效或有质量隐患的元器件上装应用,满足太空设备对元器件质量、成本及研制周期的要求,助力空天装备快速、高质量和可持续发展。 展开更多
关键词 太空设备 单片集成电路 元器件 可靠性评价 FMEA技术 温度传感器
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基于片上肖特基二极管的高功率三倍频器设计 被引量:5
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作者 毋自贤 郭诚 +7 位作者 温潇竹 宋旭波 梁士雄 顾国栋 张立森 吕元杰 张安学 冯志红 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期647-654,共8页
提出了一种基于片上集成电容工艺和带阻滤波结构的高功率三倍频器设计方法。在倍频器输入端,首先对倍频器二极管的直流偏置馈电部分进行改进,在梁式引线结构基础上结合二氧化硅(SiO_(2))工艺实现了片上集成电容,同时解决了三倍频器的直... 提出了一种基于片上集成电容工艺和带阻滤波结构的高功率三倍频器设计方法。在倍频器输入端,首先对倍频器二极管的直流偏置馈电部分进行改进,在梁式引线结构基础上结合二氧化硅(SiO_(2))工艺实现了片上集成电容,同时解决了三倍频器的直流馈电和射频接地问题,实现电路功能集成的同时也提高了模型仿真精度。此外,在二极管的输入端采用带阻滤波器结构替代传统的低通滤波结构,在保证倍频器性能的同时进一步简化倍频器结构复杂度和尺寸。为进行验证,设计并加工测试了两款中心频率分别为110 GHz和220 GHz的双路功率合成三倍频器。实际测试结果表明,在输入功率500 mW条件下,110 GHz三倍频器的输出峰值功率达到了140 mW,峰值效率接近30%,带宽超过15 GHz;在输入功率300 mW条件下,220 GHz三倍频器的输出峰值功率达到了45 mW,峰值效率达到15%,带宽为15 GHz。两款倍频的测试结果均有优秀表现,验证了设计方法的有效性。 展开更多
关键词 倍频器 片上集成电容 带阻滤波器 波导匹配网络
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紫外光通信用日盲型LED研究进展
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作者 郭春辉 孙雪娇 +7 位作者 郭凯 张晓娜 王兵 魏同波 王申 苏晋荣 闫建昌 刘乃鑫 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期1849-1861,共13页
紫外光通信在激光雷达、战术通信、航空航天内部安全通讯和片上集成通信等领域有着重要应用前景。传统的紫外光通信LED光源的调制带宽窄、输出光功率低和制造工艺复杂等缺点限制了它在长距离、高速率通信和片上集成通信领域的广泛应用... 紫外光通信在激光雷达、战术通信、航空航天内部安全通讯和片上集成通信等领域有着重要应用前景。传统的紫外光通信LED光源的调制带宽窄、输出光功率低和制造工艺复杂等缺点限制了它在长距离、高速率通信和片上集成通信领域的广泛应用。实验表明,增加单个器件发光面积可提升光输出功率,但增加的器件电容对带宽提升是不利的,因此紫外光通信LED未来的重要研究方向是提升并优化带宽的同时增加器件的光功率密度。UVC Micro-LED器件有着光提取效率高、时间常数小、载流子寿命短、调制速率快及工作电流密度高等出色性能,因此在通讯领域受到科研界和工业界的广泛青睐。本文总结了紫外LED、特别是UVC MicroLED的相关研究进展,并重点介绍了它们在光通信及其片上集成互联方面的应用。研究发现,对UVC MicroLED及其阵列制备与性能提升加强研究,是未来提升自由空间和片上互联紫外通信系统性能的最佳解决方案之一。 展开更多
关键词 紫外光通信 微尺寸发光二极管 调制速率 片内集成光通信 光提取效率
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2μm波段片上光子集成器件的研究进展(特邀) 被引量:2
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作者 王希 刘英杰 +4 位作者 张子萌 王嘉宁 姚勇 宋清海 徐科 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第3期94-105,共12页
随着大数据业务的迅速发展,为应对持续增长的带宽需求,光纤通信窗口逐渐从传统C波段向C+L波段拓展。探索新波段也成为了光通信领域迫切需要解决的关键问题。位于近红外与中红外之间的2μm波段具有低传输损耗和宽增益谱范围等优势,有望... 随着大数据业务的迅速发展,为应对持续增长的带宽需求,光纤通信窗口逐渐从传统C波段向C+L波段拓展。探索新波段也成为了光通信领域迫切需要解决的关键问题。位于近红外与中红外之间的2μm波段具有低传输损耗和宽增益谱范围等优势,有望成为下一个光纤通信和空间激光通信的窗口。在商用光电子器件尚不成熟的情况下,实验室条件下已实现单波100 Gbit/s光传输记录。与此同时,2μm波段功能性器件的研究也成为备受关注的热点。文中重点介绍了2μm波段硅光子器件的研究进展,以及基于III-V族、铌酸锂薄膜、氮化硅、硫系玻璃等其他材料的一系列功能性器件,最后对2μm波段片上光子集成器的发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 2μm波段 集成光学 片上集成光子器件 光子集成
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基于级联AWG的光谱分析芯片设计
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作者 韩征 恽斌峰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第11期202-211,共10页
基于低损耗氮化硅光波导平台,采用一个1×6阵列波导光栅(AWG)与六个仅中心波长不同的1×25AWG两级级联的架构,优化设计了集成光谱分析芯片。仿真结果表明,该光谱分析芯片的工作带宽、波长分辨率、最小通道插损分别为75 nm、0.5... 基于低损耗氮化硅光波导平台,采用一个1×6阵列波导光栅(AWG)与六个仅中心波长不同的1×25AWG两级级联的架构,优化设计了集成光谱分析芯片。仿真结果表明,该光谱分析芯片的工作带宽、波长分辨率、最小通道插损分别为75 nm、0.5 nm和4.9 dB,且通道间最小相邻、非相邻串扰约为-27.7 dB、-23.0 dB,最大相邻、非相邻串扰约为-22.6 dB、-12.5 dB。 展开更多
关键词 片上集成光谱仪 阵列波导光栅 光谱分析芯片 色散器件 集成光学器件
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用于电源接收器和信号传感器的硅基集成电感的建模与设计优化 被引量:1
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作者 徐志伟 张屹华 +1 位作者 闵昊 郑增钰 《复旦学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期13-17,22,共6页
对于硅基集成电感进行的电磁效应分析 ,在适当的近似下 ,可以简化为电学和磁学集总参数的运算 ,基于此建立了硅基集成电感的电学方程模型 .开发了一个电源接收器的参数提取和设计优化器AntennaOptimiz er.利用这一工具 ,可以优化得到不... 对于硅基集成电感进行的电磁效应分析 ,在适当的近似下 ,可以简化为电学和磁学集总参数的运算 ,基于此建立了硅基集成电感的电学方程模型 .开发了一个电源接收器的参数提取和设计优化器AntennaOptimiz er.利用这一工具 ,可以优化得到不同电路的片上电源接收器的设计参数 ,应用于近距离无线通讯领域 .给出了计算所得值与实际测试值之间的比较 .结果表明该模型在作为电源接收器或信号传感器的低频应用范围内能较好地反映现实 . 展开更多
关键词 硅基集成天线 RF电路 集成电感 等效电路 电源接收器 信号传感器
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多芯片ESOP封装集成电路产品分层问题研究
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作者 伍江涛 《中国集成电路》 2022年第11期63-67,共5页
ESOP封装集成电路本身因为底部存在散热片,生产和使用过程中湿气容易从散热片边缘侵入集成电路内部,造成集成电路吸潮和回流焊时出现高温分层问题;多芯片集成电路集成了多个芯片、多种固晶胶水以及多次上芯的生产工艺过程,造成该类集成... ESOP封装集成电路本身因为底部存在散热片,生产和使用过程中湿气容易从散热片边缘侵入集成电路内部,造成集成电路吸潮和回流焊时出现高温分层问题;多芯片集成电路集成了多个芯片、多种固晶胶水以及多次上芯的生产工艺过程,造成该类集成电路内部各材料间作用力复杂,容易出现结合力降低造成的分层问题。将上述两种结构相结合的多芯片ESOP封装集成电路就存在更大的分层风险。通过上芯工艺设计、材料间可靠性性能研究验证和生产过程控制,可以解决多芯片ESOP封装集成电路分层问题,实现了该类封装产品的大批量稳定性生产。 展开更多
关键词 ESOP封装集成电路 多芯片集成电路 解决集成电路分层
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有机发光晶体管的关键材料和器件研究
15
作者 高海阔 苗扎根 +1 位作者 胡文平 董焕丽 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2022年第3期327-339,共13页
有机发光晶体管(organiclight-emitting transistor,OLET)是一种变革性的小型化有机光电器件,其在同一器件中集成了场效应晶体管和发光二极管的两种器件功能,在材料的基础物性研究、新型柔性显示/照明、有机电泵浦激光以及片上集成光电... 有机发光晶体管(organiclight-emitting transistor,OLET)是一种变革性的小型化有机光电器件,其在同一器件中集成了场效应晶体管和发光二极管的两种器件功能,在材料的基础物性研究、新型柔性显示/照明、有机电泵浦激光以及片上集成光电子器件等方面都具有着重要的研究意义.OLET独特的器件结构及工作模式使其对核心的关键材料和器件制备提出了新的要求,而高性能OLET器件的构筑需要从材料和器件两个方面同时进行优化与改善.近五年作者课题组和合作者在全面调研和分析OLET领域整体研究背景和存在基本科学问题基础上,聚焦于高迁移率发光有机半导体关键材料的开发和高效OLET器件(线光源和面光源发光模式)的构筑两个方面开展了初步的探索性研究,发展了系列特别是基于蒽和芴的高迁移率发光/激光有机半导体材料,构筑了高性能的单组分有机单晶OLET器件和新型平面OLET面光源发射显示器件,为进一步推动OLET及其相关领域发展奠定了重要的材料和器件研究基础. 展开更多
关键词 有机发光晶体管 核心关键材料 器件结构与工艺 基础物性研究 新型显示/照明 有机电泵浦激光 片上光电子集成
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单片开关电源TPS54350的失效分析
16
作者 程奇 刘岚 《电子设计工程》 2010年第3期81-83,共3页
分析和解决了开关电源TPS54350在小负载应用电路下的失效问题。通过对失效器件进行外观镜检、I-V曲线测试、X线检查,对典型应用电路的分析和异常测试波形分析找到了器件失效的根本原因。TPS54350典型应用电路在下电时存在反灌电流,且外... 分析和解决了开关电源TPS54350在小负载应用电路下的失效问题。通过对失效器件进行外观镜检、I-V曲线测试、X线检查,对典型应用电路的分析和异常测试波形分析找到了器件失效的根本原因。TPS54350典型应用电路在下电时存在反灌电流,且外接欠压保护电阻,由此引起的输入电压波动对输出使能ENA端间接干扰,从而使器件误启动,造成输出端电流反灌入器件,导致器件内部电路出现闩锁失效。采用TPS54550替换TPS54350(ENA端抗干扰能力更强),并去除UVLO端欠压保护电阻,解决失效问题,稳定地实现12 V转5 V,电流约为100 mA的小负载应用。 展开更多
关键词 开关电源器件 欠压保护 闩锁 反灌电流
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基于空间映射的硅基片上集成变压器神经网络建模
17
作者 夏峻 李小俊 董昌春 《科技创新与应用》 2021年第3期60-62,共3页
随着硅基CMOS工艺特征尺寸不断降低,提高CMOS器件工作速度的同时也降低了器件的功率驱动能力。以硅基CMOS工艺实现功率放大器需要以功率合成方式进行。片上集成变压器在功率合成方面应用广泛,由于缺乏合适的模型,因此在设计功率合成电... 随着硅基CMOS工艺特征尺寸不断降低,提高CMOS器件工作速度的同时也降低了器件的功率驱动能力。以硅基CMOS工艺实现功率放大器需要以功率合成方式进行。片上集成变压器在功率合成方面应用广泛,由于缺乏合适的模型,因此在设计功率合成电路时难以对变压器进行优化设计。文章提出了一种基于空间映射神经网络技术的片上集成变压器神经网络模型,模型结合等效电路和径向基神经网络。实验结果表明该模型能够快速给出不同几何参数变压器的S参数的同时具有非常高的精度。 展开更多
关键词 硅基 功率合成 片上集成变压器 空间映射 神经网络
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CMOS单片调制解调器的性能及其在通信设备中的应用
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作者 邢泽平 《电子元器件应用》 2002年第7期33-36,共4页
MC145442和MC145443是全双工低速调制解调器,利用它可以实现通过电话线传输的双向数据通信。由MODE、LB的电平可以使它工作在4种不同的工作方式。
关键词 CMOS 集成电路 调制解调器 通信 应用
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无透镜显微镜联合细胞诊断芯片集成系统的构建
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作者 张剑 张伟 +2 位作者 杨杰 邹声泉 王兵 《中华实验外科杂志》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期912-914,共3页
目的 建立并经鉴定可用来监测贴壁细胞生长和细胞染色过程的基于芯片组装而成的无透镜显微镜组件系统.方法 通过将样本放在一个厚1μm Si3N4基层在一个5兆像素、CMOS成像元件平面和2.2μm像素尺寸的MEMS巢式芯片上.采用样品与成像元件... 目的 建立并经鉴定可用来监测贴壁细胞生长和细胞染色过程的基于芯片组装而成的无透镜显微镜组件系统.方法 通过将样本放在一个厚1μm Si3N4基层在一个5兆像素、CMOS成像元件平面和2.2μm像素尺寸的MEMS巢式芯片上.采用样品与成像元件平面间的距离的变化,使直径≥15 μm的细胞成像.这套组件被用以培养和监测胆管癌细胞TFK-1的生长形态(2 d),并监测细胞的色素染色.结果 TFK-1细胞在培养0、24、48 h后,经组件拍摄的TFK-1细胞生长及细胞染色过程图像无论是静止细胞,还是成三角状伸展的细胞边缘影像,与4×物镜放大倍数的显微镜成像质量相当.结论 这套手提式的、经济方便的无透镜成像组件很适合用以集成一套基于细胞研究的芯片实验室系统. 展开更多
关键词 无透镜显微镜组件系统 胆管癌细胞 细胞生长 细胞染色
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Chip-integrated plasmonic flat optics for mid-infrared full-Stokes polarization detection 被引量:10
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作者 JING BAI CHU WANG +3 位作者 XIAHUI CHEN ALI BASIRI CHAO WANG YU YAO 《Photonics Research》 SCIE EI CSCD 2019年第9期1051-1060,共10页
Flat optics presents a new path to control the phase, amplitude, and polarization state of light with ultracompact devices. Here we demonstrate chip-integrated metasurface devices for polarization detection of mid-inf... Flat optics presents a new path to control the phase, amplitude, and polarization state of light with ultracompact devices. Here we demonstrate chip-integrated metasurface devices for polarization detection of mid-infrared light with arbitrary polarization states. Six high-performance microscale linear and circular polarization filters based on vertically stacked plasmonic metasurfaces(with total thickness <600 nm) are integrated on the same chip to obtain all four Stokes parameters of light with high accuracy. The device designs can be tailored to operate at any wavelength in the mid-infrared spectral region and are feasible for on-chip integration with mid-infrared(mid-IR) photodetectors and imager arrays. Our work will enable on-chip mid-IR polarimeters and polarimetric imaging systems, which are highly desirable for many applications, such as clinical diagnosis, target detection, and space exploration. 展开更多
关键词 red LCP RCP STOKES chip-integrated PLASMONIC FLAT OPTICS for MID-INFRARED full-Stokes polarization detection
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