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基于锗硅异质纳米晶的非易失浮栅存储器的存储特性
1
作者
闾锦
陈裕斌
+3 位作者
左正
施毅
濮林
郑有炓
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期770-773,共4页
利用自组织生长和选择化学刻蚀方法在超薄SiO2隧穿氧化层上制备了渐变锗硅异质纳米晶,并通过电容-电压特性和电容-时间特性研究了该纳米结构浮栅存储器的存储特性.测试结果表明,该异质纳米晶非易失浮栅存储器具有良好的空穴存储特性,这...
利用自组织生长和选择化学刻蚀方法在超薄SiO2隧穿氧化层上制备了渐变锗硅异质纳米晶,并通过电容-电压特性和电容-时间特性研究了该纳米结构浮栅存储器的存储特性.测试结果表明,该异质纳米晶非易失浮栅存储器具有良好的空穴存储特性,这是由于渐变锗硅异质纳米晶中Ge的价带高于Si的价带形成了复合势垒,空穴有效地存储在复合势垒的Ge的一侧.
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关键词
异质纳米晶
非易失浮栅存储器
电容-电压特性
自组织生长
选择化学刻蚀
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职称材料
非挥发浮栅存储器用PtAu纳米颗粒单层膜的制备
2
作者
闾锦
陈裕斌
+3 位作者
潘力佳
濮林
施毅
郑有炓
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2008年第2期81-84,共4页
将Langmuir-Blodgett(LB)膜等化学方法应用于非挥发浮栅存储器制备工艺中.采用反相微乳液方法合成的分散良好的PtAu纳米颗粒粒径约为5 nm,并应用LB膜方法在存储器隧穿氧化层上制备了PtAu纳米颗粒的单层膜.采用SEM对LB膜的表面形貌进行观...
将Langmuir-Blodgett(LB)膜等化学方法应用于非挥发浮栅存储器制备工艺中.采用反相微乳液方法合成的分散良好的PtAu纳米颗粒粒径约为5 nm,并应用LB膜方法在存储器隧穿氧化层上制备了PtAu纳米颗粒的单层膜.采用SEM对LB膜的表面形貌进行观测,研究了表面压对成膜质量的影响,结果表明在表面压为15 mN/m时可获得密度为1011cm-2均匀分布的PtAu纳米颗粒单层二维阵列,可应用于非挥发性金属纳米颗粒浮栅存储器,并成功拓展了LB膜等化学方法的应用范围.
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关键词
非挥发浮栅存储器
PtAu纳米颗粒
反相微乳液
LB膜
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职称材料
题名
基于锗硅异质纳米晶的非易失浮栅存储器的存储特性
1
作者
闾锦
陈裕斌
左正
施毅
濮林
郑有炓
机构
南京大学物理系固体微结构国家实验室
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期770-773,共4页
基金
国家自然科学基金(批准号:60225014
90606021
+1 种基金
60676006)
国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB0L1000)资助项目~~
文摘
利用自组织生长和选择化学刻蚀方法在超薄SiO2隧穿氧化层上制备了渐变锗硅异质纳米晶,并通过电容-电压特性和电容-时间特性研究了该纳米结构浮栅存储器的存储特性.测试结果表明,该异质纳米晶非易失浮栅存储器具有良好的空穴存储特性,这是由于渐变锗硅异质纳米晶中Ge的价带高于Si的价带形成了复合势垒,空穴有效地存储在复合势垒的Ge的一侧.
关键词
异质纳米晶
非易失浮栅存储器
电容-电压特性
自组织生长
选择化学刻蚀
Keywords
hetero-nanocrystals
nonvolatile
floating
-
gate
memory
capacitance-voltage
measurement
self-assembled
growth
selective
chemical
etching
分类号
TP333 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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职称材料
题名
非挥发浮栅存储器用PtAu纳米颗粒单层膜的制备
2
作者
闾锦
陈裕斌
潘力佳
濮林
施毅
郑有炓
机构
南京大学物理系固体微结构物理国家实验室
出处
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2008年第2期81-84,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(9060602160676006)
文摘
将Langmuir-Blodgett(LB)膜等化学方法应用于非挥发浮栅存储器制备工艺中.采用反相微乳液方法合成的分散良好的PtAu纳米颗粒粒径约为5 nm,并应用LB膜方法在存储器隧穿氧化层上制备了PtAu纳米颗粒的单层膜.采用SEM对LB膜的表面形貌进行观测,研究了表面压对成膜质量的影响,结果表明在表面压为15 mN/m时可获得密度为1011cm-2均匀分布的PtAu纳米颗粒单层二维阵列,可应用于非挥发性金属纳米颗粒浮栅存储器,并成功拓展了LB膜等化学方法的应用范围.
关键词
非挥发浮栅存储器
PtAu纳米颗粒
反相微乳液
LB膜
Keywords
nonvolatile
floating
gate
memory
PtAu
nanoparticle
reverse
microemulsion
Langmuir-Blodgett
(LB)
分类号
TP333 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于锗硅异质纳米晶的非易失浮栅存储器的存储特性
闾锦
陈裕斌
左正
施毅
濮林
郑有炓
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
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职称材料
2
非挥发浮栅存储器用PtAu纳米颗粒单层膜的制备
闾锦
陈裕斌
潘力佳
濮林
施毅
郑有炓
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2008
0
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职称材料
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